문맥 (context)
[청구항 1]
연마대상면에 금속막이 형성된 피가공체의 화학적 기계적 연마와 당해 연마가 이루어진 피가공체의 세정을 연속적으로 행하는 기판처리 장치에 있어서,
피가공체가 차례로 배치되고, 상기 금속막을 단계적으로 연마하는 복수의 연마 플래튼을 갖는 연마부와,
상기 각 연마 플래튼 사이에서의 피가공체의 반송을 동시에 행하는 연마부 반송 수단과,
최종 단계의 연마 플래튼에서 연마된 피가공체가 차례로 반입되어, 당해 피가공체를 세정하는 세정부와,
상기 연마부로부터 상기 세정부에 피가공체를 반송하는 중간 반송 수단과,
최종 단계의 상기 연마 플래튼에서 연마된 피가공체에 대한 세정처리가, 상기 최종 단계의 연마 플래튼에서의 연마가 완료되었을 때부터, 소정 시간 내에 개시되는 상태로 상기 연마부, 상기 세정부, 상기 연마부 반송 수단, 및 상기 중간 반송 수단의 동작을 제어하는 장치 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 기판처리 장치
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 소정 시간이 미리 취득된 상기 최종 단계의 연마 플래튼에서의 연마 완료 후의 경과 시간에 대한 제조 수율의 의존성에 기초하여설정되는것을특징으로 하는기판처리 장치.
[청구항 3]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,정부가, 상기 피가공체를 단계적으로 세정하는 복수의 세정 유닛을 구비하고,상기 장치 제어 수단이, 최종 단계의 연마 플래튼에서의 연마시간이 다른 연마 플래튼에서의 연마시간보다도 장시간이 되는 연마조건에 의해 각 연마 플래튼에서의 연마를 실시함과 아울러, 각 세정 유닛 사이에서 상기 피가공체의 반송 대기의 발생이 없는 세정 시간에서, 각 세정 유닛에서의 상기 연마된 피가공체의 세정을 실시하고, 또한, 상기 최종 단계의 연마 플래튼에서 피가공체의 연마가 개시되었을 때부터, 연마가 완료된 당해 피가공체의 상기 세정부로의 반송이 완료될 때까지의 시간이 최초의 세정처리가 행해지는 세정 유닛에서의 세정 시간보다도 크고, 또한, 상기 양 시간의 비가 무리수가 되는 조건에서, 상기 연마부, 상기 세정부, 상기 연마부 반송 수단,및상기중간반송수단을주기적동작시키는것을특징으로 하는기판처리 장치.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,상기 최종 단계의 연마 플래튼보다도 하류측에 위치하는 피가공체 반송 경로의 이상을 검출하는 수단을 더 구비하고, 상기 최종 단계의 연마 플래튼에서의 연마를 개시할 때에, 상기 피가공체 반송 경로의 이상이 있었을 경우, 상기 최종 단계의 연마 플래튼에서의연마의개시대기하는것을특징으로 하는기판처리 장치.
[청구항 5]
제 4 항에 있어서,상기 이상 검출 수단이 상기 최종 단계의 연마 플래튼보다도 하류측에 위치하는 피가공체 반송 경로의 각 부에서의 동작 개시 시각과, 동작 완료 시각에 기초하여이상검출하는것을특징으로 하는기판처리 장치.
[청구항 6]
제 4 항에 있어서,상기 이상 검출 수단이 이상을 검출한 경우에 경보를 발하는수단더구비한것을특징으로 하는기판처리 장치.
[청구항 7]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,연마 플래튼에서의 피가공체의 연마완료 예정 시각을 취득하는 수단과, 최종 단계의 연마 플래튼의 연마완료 예정 시각과, 다른 각 연마 플래튼의 연마완료 예정 시각과의 시간차를 연산하는 수단을 더 구비하고, 상기 시간차가 상기 소정 시간에 대응하는 허용범위 내에 없을 경우, 상기 장치 제어 수단이 상기 각 연마 플래튼에서의연마정지하는것을특징으로 하는기판처리 장치.
[청구항 8]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,연마 플래튼에서의 피가공체의 연마완료 예정 시각을 취득하는 수단과, 최종 단계의 연마 플래튼의 연마완료 예정 시각과, 다른 각 연마 플래튼의 연마완료 예정 시각과의 시간차를 연산하는 수단을 더 구비하고, 상기 시간차가 상기 소정 시간에 대응하는 허용범위 내에 없을 경우, 상기 장치 제어 수단이 상기 최종 단계의 연마 플래튼에서의연마조건변경하는것을특징으로 하는기판처리 장치.
[청구항 9]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,연마 플래튼에서의 피가공체의 연마완료 예정 시각을 취득하는 수단과, 최종 단계의 연마 플래튼의 연마완료 예정 시각과, 다른 각 연마 플래튼의 연마완료 예정 시각과의 시간차를 연산하는 수단을 더 구비하고, 상기 시간차가 상기 소정 시간에 대응하는 허용범위 내에 없을 경우, 상기 장치 제어 수단이 상기 다른 각 연마 플래튼에서의연마조건변경하는것을특징으로 하는기판처리 장치.
[청구항 10]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 최종 단계의 연마 플래튼에서 연마가 완료된 피가공체를 상기 연마부 반송 수단과 독립하여 다음 위치로 반송하는 최종 단계 반송 수단을 더 구비하고, 상기 장치 제어 수단이, 최종 단계의 상기 연마 플래튼에서 연마된 피가공체에 대한 세정처리가 상기 최종 단계의 연마 플래튼에서의 연마가 완료되었을 때부터 소정 시간 내에 개시되는 상태로, 상기 연마부, 상기 세정부, 상기 연마부 반송 수단,상기중간반송수단및상기최종단계반송수단의동작제어하는것을특징으로 하는기판처리 장치.
[청구항 11]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,최종 단계의 연마 플래튼에서 연마가 완료된 피가공체에 대하여, 당해 피가공체의 연마면의 전체면에 이온 함유액을 공급하는수단더구비한것을특징으로 하는기판처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판처리 장치에서 최종 단계의 연마 플래튼에서의 연마 완료 후 세정처리가 개시되는 '소정 시간'은 어떠한 기준에 기초하여 설정될 수 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판처리 장치에서 최종 단계 연마 완료 후 세정처리가 시작되는 '소정 시간'의 설정 기준을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 '소정 시간 내에 개시되는 상태'에 대한 언급이 있으며, 청구항 2에서 해당 소정 시간의 설정 기준을 명시하고 있다.
- 소정 시간 내에 개시되는 상태
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3근거 선택
evidence_selection청구항 2의 '상기 소정 시간이 미리 취득된 상기 최종 단계의 연마 플래튼에서의 연마 완료 후의 경과 시간에 대한 제조 수율의 의존성에 기초하여 설정되는 것' 구절을 선택한다.
- 상기 소정 시간이 미리 취득된 상기 최종 단계의 연마 플래튼에서의 연마 완료 후의 경과 시간에 대한 제조 수율의 의존성에 기초하여설정되는것
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4논리 통합
logical_integration청구항 2에 따르면, 소정 시간은 연마 완료 후 경과 시간에 따른 제조 수율의 의존성을 바탕으로 결정된다.
- 상기 소정 시간이 미리 취득된 상기 최종 단계의 연마 플래튼에서의 연마 완료 후의 경과 시간에 대한 제조 수율의 의존성에 기초하여설정되는것
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로, 소정 시간은 연마 완료 후 경과 시간에 대한 제조 수율의 의존성에 기초하여 설정된다.
- 상기 소정 시간이 미리 취득된 상기 최종 단계의 연마 플래튼에서의 연마 완료 후의 경과 시간에 대한 제조 수율의 의존성에 기초하여설정되는것
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 소정 시간이 미리 취득된 상기 최종 단계의 연마 플래튼에서의 연마 완료 후의 경과 시간에 대한 제조 수율의 의존성에 기초하여설정되는것
최종 답변 (final_answer)
미리 취득된 상기 최종 단계의 연마 플래튼에서의 연마 완료 후의 경과 시간에 대한 제조 수율의 의존성에 기초하여 설정될 수 있다.
핵심 해석 (core_interpretation)
연마 완료 후 세정까지의 대기 시간(소정 시간)을 제조 수율과 연관된 경과 시간의 의존성에 따라 최적화하여 설정함으로써 공정 효율을 관리하는 기술이다.