문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 로딩플레이트의 웨이퍼 지지면에는 웨이퍼를 진공흡착하기 위한다수의흡입공형성되어있는것을특징으로 하는웨이퍼 결함 검사장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 로딩플레이트는 원형으로 형성되어 상기 복수의 웨이퍼 지지면은 상기 로딩플레이트의 중심으로부터 반경방향을 따라 배치되며, 상기 복수의 웨이퍼 지지면은 상기 로딩플레이트의 중심으로부터 반경방향을 따라상방형성된것을특징으로 하는웨이퍼 결함 검사장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 로딩플레이트에는 웨이퍼를 이송하는 엔드 이펙터가 유출입 가능하도록 상기 웨이퍼 지지면에 대하여 오목한삽입부형성되어있는것을특징으로 하는웨이퍼 결함 검사장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,고리형으로 형성되어 상기 로딩플레이트를 감싸며 설치되며, 상기 로딩플레이트의 회전된 정도를 육안으로 식별할 수 있도록 각도 눈금이 표시되어 있는스케일부재더구비하는것을특징으로 하는웨이퍼 결함 검사장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 받침대는 지면의 진동을 제거하는 제진대인것을특징으로 하는웨이퍼 결함 검사장치.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 제1스테이지, 제2스테이지, 회전스테이지 및 현미경과 각각 전기적으로 연결되어 작동을 제어하는 컴퓨터와, 상기 컴퓨터와 전기적으로 연결되어 있는 화상을 출력하는모니터더구비하는것을특징으로 하는웨이퍼 결함 검사장치.
[청구항 8]
제1항에 있어서,웨이퍼의 내측의 결함을 관찰하기 위하여 소정의 형상으로 절단된 웨이퍼샘플이 장착되며, 상기 x축 및 y축 중 적어도 어느 하나의 축을 중심으로 회전가능하게 상기 로딩플레이트에 탈부착 가능하게 설치되어, 상기 웨이퍼샘플의 경사진 정도를 조절하는틸트스테이지더구비하는것을특징으로 하는웨이퍼 결함 검사장치.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 틸트스테이지는, 상기 x축을 중심으로 회전가능하게 상기 로딩플레이트에 설치되는 제1틸트부재와, 상기 y축을 중심으로 회전가능하게 상기 제1틸트부재에 설치되는제2틸트부재포함하여이루어진것을특징으로 하는웨이퍼 결함 검사장치.
[청구항 10]
제8항에 있어서,상기 웨이퍼샘플을 지지하기 위한 것으로서, 일방향으로 길게 형성되어 상기 틸트스테이지 상에 설치되는 지지바더구비하는것을특징으로 하는웨이퍼 결함 검사장치.
[청구항 11]
제10항에 있어서,상기 지지바에는 상기 웨이퍼샘플을 진공흡착하기 위한흡입공형성되어있는것을특징으로 하는웨이퍼 결함 검사장치.
[청구항 13]
제12항에 있어서,상기 틸트스테이지는 상기 x축을 중심으로 회전가능하게 상기 회전스테이지에 설치되는 제1틸트부재와, 상기 y축을 중심으로 회전가능하게 상기 제1틸트부재에 설치되는 제2틸트부재를 포함하여 이루어지며,상기 웨이퍼샘플을 지지하기 위한 것으로서, 일방향으로 길게 형성되어 상기 틸트스테이지 상에 설치되는 지지바더구비하는것을특징으로 하는웨이퍼 결함 검사장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
웨이퍼 결함 검사장에서 웨이퍼 샘플의 경사진 정도를 조절하기 위한 틸트스테이지는 어떠한 구성 요소들로 이루어져 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation웨이퍼 샘플의 경사도를 조절하는 틸트스테이지의 구성 요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 9를 통해 틸트스테이지의 하위 구성 요소를 추출한다.
- 상기 틸트스테이지는, 상기 x축을 중심으로 회전가능하게 상기 로딩플레이트에 설치되는 제1틸트부재와, 상기 y축을 중심으로 회전가능하게 상기 제1틸트부재에 설치되는제2틸트부재포함하여이루어진것을특징으로 하는
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3근거 선택
evidence_selection틸트스테이지의 구성을 직접적으로 명시한 '제1틸트부재'와 '제2틸트부재' 구절을 선택한다.
- 상기 틸트스테이지는, 상기 x축을 중심으로 회전가능하게 상기 로딩플레이트에 설치되는 제1틸트부재와, 상기 y축을 중심으로 회전가능하게 상기 제1틸트부재에 설치되는제2틸트부재포함하여이루어진것
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4논리 통합
logical_integration틸트스테이지는 x축 회전을 담당하는 제1틸트부재와 y축 회전을 담당하는 제2틸트부재로 구성됨을 확인한다.
- 상기 틸트스테이지는, 상기 x축을 중심으로 회전가능하게 상기 로딩플레이트에 설치되는 제1틸트부재와, 상기 y축을 중심으로 회전가능하게 상기 제1틸트부재에 설치되는제2틸트부재포함하여이루어진것
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5결론 도출
conclusion_formulation틸트스테이지의 구성 요소는 제1틸트부재와 제2틸트부재이다.
- 상기 틸트스테이지는, 상기 x축을 중심으로 회전가능하게 상기 로딩플레이트에 설치되는 제1틸트부재와, 상기 y축을 중심으로 회전가능하게 상기 제1틸트부재에 설치되는제2틸트부재포함하여이루어진것
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6답변 생성
answer_generation추출된 구성 요소를 리스트 형식으로 답변을 생성한다.
- 상기 틸트스테이지는, 상기 x축을 중심으로 회전가능하게 상기 로딩플레이트에 설치되는 제1틸트부재와, 상기 y축을 중심으로 회전가능하게 상기 제1틸트부재에 설치되는제2틸트부재포함하여이루어진것
최종 답변 (final_answer)
제1틸트부재, 제2틸트부재
핵심 해석 (core_interpretation)
웨이퍼 샘플의 경사 조절을 위해 x축과 y축 방향으로 각각 회전 가능한 두 개의 틸트부재(제1틸트부재, 제2틸트부재)를 결합하여 틸트스테이지를 구성하는 기술이다.