문맥 (context)
[청구항 1]
기판 상에 구비되는 게이트 핑거들
상기 게이트 핑거들의 적어도 하나의 단부들을 서로 연결시키는 게이트 배선
상기 게이트 핑거들 사이의 기판 표면 아래에 형성된 소오스/드레인 영역들
상기 기판 상에 상기 게이트 핑거들 및 게이트 배선의 측방과 이격되도록 배치되고, 상기 게이트 핑거들 및 게이트 배선의 일부분을 둘러싸는 형상을 갖는 도전성 라인; 및
상기 도전성 라인 하부면과 상기 기판이 서로 전기적으로 연결되도록, 상기 기판 상에 규칙적으로 배치되는 기판 콘택을 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 핑거 트랜지스터
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 게이트 핑거들, 게이트 배선 및 소오스/드레인 영역으로 이루어지는 하나의 mos 트랜지스터부에는하나의도전성라인배치되는것을특징으로 하는멀티 핑거 트랜지스터.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 도전성 라인은 가장자리에 위치하는 하나의 게이트 핑거의 외주변에서 상기 게이트 핑거와 서로 평행하고, 상기 게이트 배선의 양측의 외주변 일부를 감싸는형상갖는것을특징으로 하는멀티 핑거 트랜지스터.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 도전성 라인은 하나의 게이트 배선의 외주변에서 상기 게이트 배선의 연장 방향과 평행하고, 양쪽 가장자리에 위치하는 게이트 핑거들의 외주변 일부를 감싸는형상갖는것을특징으로 하는멀티 핑거 트랜지스터.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 도전성 라인은 하나의 게이트 배선의 외주변에서 상기 게이트 배선의 연장 방향과 평행하고, 상기 하나의 게이트 핑거의 외주변에서 상기 게이트 핑거의 연장 방향과 평행하게배치되는것을특징으로 하는멀티 핑거 트랜지스터.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 게이트 배선은 상기 게이트 핑거들의 양단부와 각각 접속하는 게이트 콘택들 및 상기 게이트 콘택들을 서로 연결시키면서 서로 평행하게 배치되는2개의게이트 라인포함하는것을특징으로 하는멀티 핑거 트랜지스터.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 게이트 배선은 상기 게이트 핑거들의 일단부와 각각 접속하는 게이트 콘택들 및 상기 게이트 콘택들을 서로 연결시키는하나의게이트 라인포함하는것을특징으로 하는멀티 핑거 트랜지스터.
[청구항 8]
제7항에 있어서,상기 도전성 라인은 상기 게이트 라인과 연결되어 있지 않은 게이트 핑거의 타단부와 대향하면서 상기 게이트 라인과 평행하게 배치되고, 상기 게이트 핑거들의 외주변 일부를 감싸는 형상갖는 것을멀티 핑거 트랜지스터.
[청구항 9]
제1항에 있어서,상기 소오스/드레인들은상기게이트핑거들을사이배치되는것을특징으로 하는멀티 핑거 트랜지스터.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 소오스들을 서로 전기적으로 연결시키기 위한소오스배선더포함되는것을특징으로 하는멀티 핑거 트랜지스터.
[청구항 11]
제9항에 있어서,상기 드레인들을 서로 전기적으로 연결시키기 위한 드레인배선더포함되는것을특징으로 하는멀티 핑거 트랜지스터.
[청구항 12]
제1항에 있어서,상기 게이트 핑거들, 게이트 배선 및 소오스/드레인 영역으로 이루어지는 하나의 mos 트랜지스터부는 기판의 가장자리 부위에 위치하고, 상기 도전성 라인은 적어도일단부가상기기판의가장자리배치되는것을특징으로 하는멀티 핑거 트랜지스터.
[청구항 13]
제12항에 있어서,상기 게이트 핑거들, 게이트 배선 및 소오스/드레인 영역으로 이루어지는 하나의 mos 트랜지스터부는 하나의 칩을 이루는 기판의 모서리 부위에 위치하고, 상기 도전성 라인은 양 단부가상기기판의가장자리배치되는것을특징으로 하는멀티 핑거 트랜지스터.
[청구항 14]
기판 상에 구비되는 게이트 핑거들
상기 게이트 핑거들의 일단부와 각각 접속되는 게이트 콘택들
상기 게이트 콘택들을 서로 연결시키는 제1 층 게이트 라인
상기 게이트 핑거들 사이의 기판 표면 아래에 서로 번갈아가며 형성된 소오스/드레인 영역
상기 기판 상에 상기 게이트 핑거들 및 게이트 배선의 측방과 이격되도록 배치되고, 상기 게이트 핑거들 및 게이트 배선의 일부분을 둘러싸는 형상을 갖는 제2 층 도전성 라인; 및
상기 제2 층 도전성 라인 하부면과 상기 기판이 서로 전기적으로 연결되도록, 상기 기판 상에 규칙적으로 배치되는 기판 콘택을 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 핑거 트랜지스터
[청구항 15]
제14항에 있어서,상기 게이트 핑거들, 게이트 콘택, 1층 게이트 라인 및 소오스/드레인 영역으로 이루어지는 하나의 mos 트랜지스터부에는하나의도전성라인배치되는것을특징으로 하는멀티 핑거 트랜지스터.
[청구항 16]
제14항에 있어서,상기 소오스들의 상부면과 접속하는 각각의 소오스 콘택들 및 상기 소오스 콘택들을 서로 연결시키기 위한3층소오스라인더포함되는것을특징으로 하는멀티 핑거 트랜지스터.
[청구항 17]
제14항에 있어서,상기 드레인들의 상부면과 접속하는 각각의 드레인 콘택들 및 상기 드레인 콘택들을 서로 연결시키기 위한 3층 드레인라인더포함되는것을특징으로 하는멀티 핑거 트랜지스터.
[청구항 18]
제14항에 있어서,상기 기판, 제1 및 제2층 도전성 라인 사이에는층간 절연막개재되는것을특징으로 하는멀티 핑거 트랜지스터.
[청구항 21]
제18항에 있어서,상기 게이트 핑거들, 게이트 배선 및 소오스/드레인 영역으로 이루어지는 하나의 mos 트랜지스터부는 기판의 가장자리 부위에 위치하도록 형성되고, 상기 도전성 라인은 적어도 일 단부가상기기판의가장자리배치시키는것을특징으로 하는멀티 핑거 트랜지스터.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 1항의 멀티 핑거 트랜지스터에서 도전성 라인과 기판이 전기적으로 연결되기 위해 기판 상에 배치되는 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 1항에서 도전성 라인과 기판 사이의 전기적 연결을 위해 기판 상에 배치되는 구성 요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1항의 구성 요소 중 도전성 라인과 기판의 연결 관계를 설명하는 부분을 추출한다.
- 상기 도전성 라인 하부면과 상기 기판이 서로 전기적으로 연결되도록, 상기 기판 상에 규칙적으로 배치되는 기판 콘택
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '기판 상에 배치되는 구성 요소'에 직접적으로 대응하는 구절을 선택한다.
- 상기 기판 상에 규칙적으로 배치되는 기판 콘택
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4논리 통합
logical_integration도전성 라인 하부면과 기판을 전기적으로 연결하는 주체가 '기판 콘택'임을 확인한다.
- 상기 도전성 라인 하부면과 상기 기판이 서로 전기적으로 연결되도록, 상기 기판 상에 규칙적으로 배치되는 기판 콘택
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5결론 도출
conclusion_formulation도전성 라인과 기판의 전기적 연결을 위해 기판 상에 배치되는 구성 요소는 '기판 콘택'이다.
- 상기 기판 상에 규칙적으로 배치되는 기판 콘택
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6답변 생성
answer_generation추출된 핵심 용어를 사용하여 최종 답변을 생성한다.
- 기판 콘택
최종 답변 (final_answer)
기판 콘택
핵심 해석 (core_interpretation)
멀티 핑거 트랜지스터에서 도전성 라인과 기판 사이의 전기적 통로를 형성하기 위해 기판 상에 규칙적으로 배치되는 기판 콘택의 역할을 정의하고 있다.