문맥 (context)
[청구항 1]
픽셀 어레이 영역이 형성된 실리콘 기판
상기 실리콘 기판 전면 상에 차례로 형성된 제1 에피층 및 제2 에피층
상기 실리콘 기판의 픽셀 어레이 영역에 형성된 제1 포토다이오드
상기 제1, 제2 에피층 각각에 상기 제1 포토다이오드 형성부분과 오버랩되어 형성된 제2 및 제3 포토다이오드
상기 제3 포토다이오드를 포함하는 제2에피층 전면 상에 형성된 다수의 금속배선을 구비한 층간절연막
상기 층간절연막 상에 형성된 패시베이션층; 및
상기 패시베이션층 상에 형성된 육각형 마이크로렌즈를 포함하여 구성되는 수직형 씨모스 이미지 센서
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 층간절연막에 구비된 다수의 금속배선은 이미지 센서 구동을 위한 금속배선 및 논리회로를 구동하기 위한 금속배선포함하는 것을특징으로 수직형 씨모스 이미지 센서.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 패시베이션막은산화막인것을특징으로 하는수직형 씨모스 이미지 센서.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 제1 포토다이오드는 적색(red) 광을 입사하는 포토다이오드이고, 제2 포토다이오드는 녹색(green) 광을 흡수하는 포토다이오드이고, 제3 포토다이오드는 청색(blue) 광을 흡수하는포토다이오드인것을특징으로 하는수직형 씨모스 이미지 센서.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 제1 내지제3의 포토다이오드 각각은플러그연결된것을특징으로 하는수직형 씨모스 이미지 센서.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
수직형 씨모스 이미지 센서에서 층간절연막에 구비된 다수의 금속배선은 어떠한 용도로 구성되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation수직형 씨모스 이미지 센서의 층간절연막에 포함된 다수의 금속배선이 수행하는 용도를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 층간절연막에 구비된 다수의 금속배선에 대한 구체적인 용도가 명시되어 있다.
- 상기 층간절연막에 구비된 다수의 금속배선은 이미지 센서 구동을 위한 금속배선 및 논리회로를 구동하기 위한 금속배선포함하는 것
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3근거 선택
evidence_selection금속배선의 용도로 언급된 '이미지 센서 구동을 위한 금속배선'과 '논리회로를 구동하기 위한 금속배선'을 선택한다.
- 이미지 센서 구동을 위한 금속배선 및 논리회로를 구동하기 위한 금속배선
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4논리 통합
logical_integration추출된 두 가지 용도를 결합하여 질문에 대한 답변을 구성한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation금속배선은 이미지 센서 구동 및 논리회로 구동을 위한 용도로 구성됨을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 리스트 형식으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
이미지 센서 구동을 위한 금속배선, 논리회로를 구동하기 위한 금속배선
핵심 해석 (core_interpretation)
수직형 씨모스 이미지 센서의 층간절연막 내 금속배선은 이미지 센서 자체의 구동과 논리회로의 구동이라는 두 가지 핵심적인 전기적 연결 기능을 수행한다.