문맥 (context)
[청구항 1]
서로 다른 원료 물질이 공급되는 다수의 공급통로가 형성된 공급관부와
상기 공급관부에 연결되고, 상기 다수의 공급통로와 연통되는 유로가 형성되며, 상기 유로와 연통되어 가스가 분사되는 가스 분사공이 형성된 인젝터부를 포함하고,
상기 유로에는 열전달부재가 적어도 하나 이상 더 구비되는 것을 특징으로 하는 가스 분사 장치
[청구항 2]
제 1항에 있어서,상기인젝터부에는 상기 원료 물질을 기화시키는가열수단구비되는것을특징으로 하는가스 분사 장치.
[청구항 3]
제 2항에 있어서,상기 가열수단은 코어히터 또는 램프히터인것을특징으로 하는가스 분사 장치.
[청구항 4]
제 1항에 있어서,상기 유로의 단면적은 상기 다수의 공급통로 중 최소의 단면적을 갖는공급통로의단면적대비이상인것을특징으로 하는가스 분사 장치.
[청구항 5]
제 1항에 있어서,상기 열전달부재는망볼인것을특징으로 하는가스 분사 장치.
[청구항 6]
제 1항에 있어서,상기인젝터부는 상면으로 승하강 및 회전을 위한 구동축이 구비되는 탑 플레이트와;상기 공급관부의 공급통로와 연통되는 유로가 형성되는 미들 플레이트와;하면으로 상기 유로와 연통되는 가스 분사공이 형성되는 바텀 플레이트를 포함하고, 상기 탑 플레이트, 미들 플레이트 및 바텀 플레이트가 순차적으로 적층되어구성되는것을특징으로 하는가스 분사 장치.
[청구항 7]
챔버와, 상기 챔버 내에 마련된 가스 분사 유닛과, 상기 가스 분사 유닛에 대향되도록 마련되어 기판이 안착되는 기판 지지대를 포함하고,
상기 가스 분사 유닛은,
서로 다른 원료 물질이 공급되는 다수의 공급통로가 형성된 공급관부와
상기 공급관부에 연결되고, 상기 다수의 공급통로와 연통되는 유로가 형성되며, 상기 유로와 연통되어 가스가 분사되는 가스 분사공이 형성된 인젝터부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 증착 장치
[청구항 8]
제 7항에 있어서,상기인젝터부에는 상기 원료 물질을 기화시키는가열수단구비되는것을특징으로 하는유기 박막 증착 장치.
[청구항 9]
제 7항에 있어서,상기 유로에는 열전달부재가적어도하나이상구비되는것을특징으로 하는유기 박막 증착 장치.
[청구항 10]
제 9항에 있어서,상기 열전달부재는망볼인것을특징으로 하는유기 박막 증착 장치.
지시문 (instruction)
본문의 내용을 파악하고 이를 바탕으로 질문에 답하라.
질문 (question)
가스 분사 장치의 인젝터부는 어떠한 구성 요소들로 이루어져 있으며, 이들은 어떠한 방식으로 적층되어 구성되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation가스 분사 장치의 인젝터부를 구성하는 요소와 이들의 적층 방식을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 6에서 인젝터부의 구성 요소인 탑 플레이트, 미들 플레이트, 바텀 플레이트와 이들의 적층 방식을 추출한다.
- 상기인젝터부는 상면으로 승하강 및 회전을 위한 구동축이 구비되는 탑 플레이트와;상기 공급관부의 공급통로와 연통되는 유로가 형성되는 미들 플레이트와;하면으로 상기 유로와 연통되는 가스 분사공이 형성되는 바텀 플레이트를 포함하고, 상기 탑 플레이트, 미들 플레이트 및 바텀 플레이트가 순차적으로 적층되어구성되는것을특징으로 하는가스 분사 장치
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3근거 선택
evidence_selection인젝터부의 구성 요소와 적층 구조를 명시한 청구항 6의 구절을 선택한다.
- 상기인젝터부는 상면으로 승하강 및 회전을 위한 구동축이 구비되는 탑 플레이트와;상기 공급관부의 공급통로와 연통되는 유로가 형성되는 미들 플레이트와;하면으로 상기 유로와 연통되는 가스 분사공이 형성되는 바텀 플레이트를 포함하고, 상기 탑 플레이트, 미들 플레이트 및 바텀 플레이트가 순차적으로 적층되어구성되는것을특징으로 하는가스 분사 장치
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4논리 통합
logical_integration인젝터부는 탑 플레이트, 미들 플레이트, 바텀 플레이트로 구성되며, 이들은 순차적으로 적층된 구조임을 결합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 따라 구성 요소 리스트와 적층 방식을 정리하여 결론을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
가스 분사 장치의 인젝터부는 다음과 같은 구성 요소들로 이루어져 있으며, 이들은 순차적으로 적층되어 구성된다.
- 탑 플레이트 (상면으로 승하강 및 회전을 위한 구동축 구비)
- 미들 플레이트 (공급관부의 공급통로와 연통되는 유로 형성)
- 바텀 플레이트 (하면으로 상기 유로와 연통되는 가스 분사공 형성)
핵심 해석 (core_interpretation)
가스 분사 장치의 인젝터부는 탑 플레이트, 미들 플레이트, 바텀 플레이트가 순차적으로 적층된 구조를 통해 유로 및 가스 분사공을 형성한다.