더미용 기판의 온도를 검출/측정하는 검출시트 및 온도측정시스템과 이들을 사용한 열처리장치 document_id 1020070110126

[청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 제1시트상물에는, 피측정물과 맞닿은 볼록부가 형성되고 있으며,상기 수정진동자는 상기 볼록부설치되어 있는제1검출시트. [청구항 3] 제 1항에 있어서,상기 수정진동자가상기제1시트상물돌출하도록설치되어 있는제1검출시트. [청구항 4] 제 1항에 있어서,상기 시트는,상기 제1시트상물의 내부에 설치되어, 상기 수정진동자와 접속되는 배선(配線)과;상기 배선이 외부회로와 접속하기 위한 출력단자(出力端子포함하는제1검출시트. [청구항 6] 제 5항에 있어서,상기 수정진동자(水晶振動子)의 고유진동수에 상당하는 발진주파수(發振周波數)를 출력하는 발진회로(發振回路)를 구비하고,상기 제1측정수단은, 상기 발진회로로부터 출력된 발진주파수에 근거해서 온도측정하는제1온도측정시스템. [청구항 8] 제 7항에 있어서,상기 제1시트상물에는, 기판을 맞닿아 지지하는 볼록부가 형성되어 있으며,상기 수정진동자는 상기 볼록부설치되어 있는열처리장치. [청구항 9] 제 8항에 있어서,기판과 상기 제1검출시트와의 사이에 형성되는 공간의 측방을 폐색하는 폐색수단(閉塞手段)과,상기 공간의 기체를 배출하기 위한 배출공구비하고 있는열처리장치. [청구항 10] 제 7항에 있어서,상기 수정진동자가상기제1시트상물돌출하도록설치되어 있는열처리장치. [청구항 11] 제 10항에 있어서,기판과 상기 제1검출시트와의 사이에 형성되는 공간의 측방을 폐색하는 폐색수단과,상기 공간의 기체를 배출하기 위한 배출공(排出孔구비하고 있는열처리장치. [청구항 12] 제 7항에 있어서,상기 수정진동자로부터 얻어진, 수정진동자의 고유진동수에 상당하는 주파수에 근거해서 온도를 측정하는 제1측정수단구비하고 있는열처리장치. [청구항 14] 제 13항에 있어서,상기 센서코일은, 상기 제2시트상물의 내부설치되어 있는제2검출시트. [청구항 15] 제 13항에 있어서,상기 제2시트상물에는, 더미용 기판을 맞닿아 지지하는 볼록부가 형성되고 있으며, 상기 센서코일은 상기 볼록부설치되어 있는제2검출시트. [청구항 16] 제 13항에 있어서,상기 센서코일은, 더미용 기판이 재치되었을 때에 상기 검온소자(檢溫素子대향하도록배치되어 있는제2검출시트. [청구항 17] 제 13항에 있어서,상기 제2시트상물의 내부에 설치되어, 상기 센서코일과 접속되는 배선과, 상기 배선이 외부회로와 접속하기 위한 출력단자구비하고 있는제2검출시트. [청구항 19] 제 18항에 있어서,상기 센서코일은, 상기 제2시트상물의 내부설치되어 있는제2온도측정시스템. [청구항 20] 제 18항에 있어서,상기 제2시트상물에는, 더미용 기판을 맞닿아 지지하는 볼록부가 형성되고 있고, 상기 센서코일은 상기 볼록부설치되어 있는제2온도측정시스템. [청구항 21] 제 18항에 있어서,상기 제2측정수단은, 상기 수정진동자의 고유진동수에 상당하는 주파수의 송신파를 상기 센서코일로부터 송신시키고, 또한 상기 센서코일이 수신한 전자파를 검출하는 송수신수단있는제2온도측정시스템. [청구항 23] 제 22항에 있어서,상기 센서코일은, 상기 제2시트상물의 내부설치되어 있는열처리장치. [청구항 24] 제 22항에 있어서,상기 제2시트상물에는, 기판을 맞닿아 지지하는 볼록부가 형성되고 있으며,상기 센서코일은, 상기 볼록부설치되어 있는열처리장치. [청구항 25] 제 24항에 있어서,기판과 상기 제2시트상물과의 사이에 형성되는 공간의 측방을 폐색하는 폐색수단과,상기 공간의 기체를 배출하기 위한 배출공구비하고 있는열처리장치. [청구항 26] 제 22항에 있어서,상기 센서코일이 수신한 전자파의 주파수에 근거해서 온도를 측정하는 제2측정수단구비하고 있는열처리장치.