수직 증착형 마스크 제조장치 document_id 1020070118785

[청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 인장 유닛은 중앙 개구부가 형성된 사각 프레임의 둘레 4측면에 각각 형성되며, 상기 벤딩 유닛은 상기 프레임의 좌, 우 측면에 형성된인장유닛구비됨을특징으로 하는수직 증착형 마스크 제조장치. [청구항 3] 제 1항에 있어서,상기인장력 측정수단은, 상기 클램프의 인장력 변화를 감지하는 압전소자와; 상기 측정된 클램프의 인장력이 기 설정된 값과 상이할 경우 상기 인장수단에 공급되는 공압을 조절하는 전공 레귤레이터가 포함되어구성됨을특징으로 하는수직 증착형 마스크 제조장치. [청구항 4] 제 1항에 있어서,상기 마스크 시트를 세워진 상태로 상기 인장 유닛에 이송하는 마스크 시트 수직 이송부가 더 포함되며, 상기 마스크 시트 수직 이송부는, 상기 마스크 시트를 이송하는 제 1캐리어와;상기 제 1캐리어 상측에 위치하여 마스크 시트를 흡착하는 제 1흡착부재와;상기 제 1캐리어를 상기 인장 유닛 방향으로 이동시키는 제 1가이드 레일과;상기 제 1캐리어 및 제 1가이드 레일 사이에 결합되며, 상기 제 1캐리어를 90˚ 하강 및 상승시키는 제 1플레이트가 포함되어구성됨을특징으로 하는수직 증착형 마스크 제조장치. [청구항 5] 제 4항에 있어서,상기 제 1플레이트 상에는 상기 제1 캐리어를 상기 인장 유닛 방향과 수직 방향으로 이동시키기 위한제2가이드레일더형성됨을특징으로 하는수직 증착형 마스크 제조장치. [청구항 6] 제 4항에 있어서,상기 제1 흡착부재의 전면에는 상기 마스크 시트를 흡착시키는적어도하나이상의흡착구형성됨을특징으로 하는수직 증착형 마스크 제조장치. [청구항 7] 제 4항에 있어서,상기 마스크 프레임을 세워진 상태로 상기 인장 유닛에 이송하는 마스크 프레임 수직 이송부가 더 포함되며,상기 마스크 프레임 수직 이송부는, 상기 마스크 프레임을 이송하는 제 2캐리어와;상기 제 2캐리어 상측에 위치하여 마스크 프레임을 흡착하는 제 2흡착부재와;상기 제 2캐리어를 상기 인장 유닛 방향으로 이동시키는 제 1가이드 레일과;상기 제 2캐리어 및 제 1가이드 레일 사이에 결합되며, 상기 제 2캐리어를 90˚ 하강 및 상승시키는 제 2플레이트가 포함되어구성됨을특징으로 하는수직 증착형 마스크 제조장치. [청구항 8] 제 7항에 있어서,상기 제 2플레이트 상에는 상기 제 2캐리어를 상기 인장 유닛 방향과 수직 방향으로 이동시키기 위한제3가이드레일더형성됨을특징으로 하는수직 증착형 마스크 제조장치. [청구항 9] 제 7항에 있어서,상기 제1 가이드 레일은 마스크 수직 이송부의 하부 단면에서 마스크 프레임 수직 이송부의 하부 단면까지 평행한 한 쌍의 홈이 형성된가이드형성됨을특징으로 하는수직 증착형 마스크 제조장치. [청구항 10] 제 7항에 있어서,상기 제 2흡착부재에는, 유리 기판을 흡착시키는 적어도 하나 이상의 흡착구와;상기 유리기판의 둘레에 마스크 프레임을 합착시키는마스크 프레임흡입부가포함됨을특징으로 하는수직 증착형 마스크 제조장치. [청구항 11] 제 10항에 있어서,상기 유리 기판에는 마스크 시트와 마스크 프레임을 정렬시키기 위한 적어도 하나 이상의 얼라인마크형성됨을특징으로 하는수직 증착형 마스크 제조장치. [청구항 12] 제 7항에 있어서,상기 제 2흡착부재에는 상기 마스크 프레임 흡입부에 흡착된 마스크 프레임의 탈착을 방지하기 위해다수의마스크 프레임고정블록더구비됨을특징으로 하는수직 증착형 마스크 제조장치. [청구항 13] 제 12항에 있어서,상기 마스크 프레임 고정블록 내부에는 상기 마스크 고정블록 외부로 돌출 가능한실린더구비됨을특징으로 하는수직 증착형 마스크 제조장치. [청구항 14] 제 1항에 있어서,상기 접합수단nan은레이저용접기구현됨을특징으로 하는수직 증착형 마스크 제조장치. [청구항 15] 제 4항 또는 제 7항에 있어서,상기 마스크 시트 수직 이송부 및 마스크 프레임 수직 이송부를 연결시키며 상기 마스크 시트 수직 이송부 및 마스크 프레임 수직 이송부를 동시에 이동되게 하는 연결부재더 포함하는수직 증착형 마스크 제조장치.