문맥 (context)
[청구항 2]
제 1항에 있어서,상기 수납 용기 개폐 시에 있어서 상기 기판 출입구 및 상기 개폐 장치를 둘러싼 개폐실을 구비하고, 상기 개폐실은 내부에 불활성 가스를 충전할 수있는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 3]
제 2항에 있어서,상기 개폐실에,기판상태검출장치구비하는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 4]
제 2항에 있어서,상기 개폐실에 불활성 가스를 공급하는 가스 공급 라인과, 상기 개폐실을 배기하는 배기 라인을 구비하고, 상기 가스 공급 라인은 상기 개폐 장치에 의해 상기 개체를 분리했을 때의 퇴피 방향과 반대 측에 설치되고, 상기 배기 라인은 상기 개폐 장치에 의해 상기 개체를 분리했을 때의 퇴피 방향과 동일한 측설치되는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 5]
제 4항에 있어서,상기 개폐실은, 상기 가스 공급 라인과 상기 기판 출입구와의 사이에루버구비하고있는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 8]
제 7항에 있어서,상기 재치부 위쪽에 상기 재치부에 대향하여 설치되는 제2 구획벽과, 상기 제2 구획벽에 설치되는 제2 개구와, 상기 제2 개구를 개폐하는제2개폐장치포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 9]
제 8항에 있어서,상기 제2 개폐 장치의 상면(上面)은, 상기 제2 개구를 폐색했을 때에 상기 수납 용기를 재치 가능하게형성되어있는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 10]
제 7항에 있어서,상기 개구를 개폐하는제2개폐장치구비하고있는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 11]
제 1항에 있어서,상기 수납 용기의 상기 개체를 상기 개폐 장치를 분리했을 때에, 상기 수납 용기와 기판 보지구와의 사이에서 상기 기판을 반송하는 기판 반송 장치가 설치되어 있는 예비실과,상기 예비실에 인접하여 설치되고, 상기 기판 보지구에 보지된 상기 기판을 처리하는 처리실과, 상기 예비실에 인접하여 설치되고, 상기 보관 선반 및 상기 반송 장치가 설치되어 있는보관실포함하고있는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 13]
제 12항에 있어서,상기 재치부의 하부를 덮는 커버를 구비하고, 상기 커버는 상기 승강기구의 동작에 응해승강하는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 14]
제 13항에 있어서,상기 커버는상기재치부의앞측배치되는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 15]
제 13항에 있어서,상기 커버는 상기 개폐 장치가 있는 쪽을 제외한 세측면설치되고있는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판 처리 장치에서 개폐 장치에 의해 개체가 분리될 때, 가스 공급 라인과 배기 라인은 각각 퇴피 방향을 기준으로 어느 측에 설치되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판 처리 장치에서 개체가 분리될 때의 퇴피 방향을 기준으로 가스 공급 라인과 배기 라인의 설치 위치를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4에서 가스 공급 라인과 배기 라인의 설치 위치에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 가스 공급 라인은 상기 개폐 장치에 의해 상기 개체를 분리했을 때의 퇴피 방향과 반대 측에 설치되고, 상기 배기 라인은 상기 개폐 장치에 의해 상기 개체를 분리했을 때의 퇴피 방향과 동일한 측설치되는것을특징으로 하는기판 처리 장치
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3근거 선택
evidence_selection가스 공급 라인은 퇴피 방향의 반대 측, 배기 라인은 퇴피 방향과 동일한 측에 설치된다는 구절을 선택한다.
- 상기 가스 공급 라인은 상기 개폐 장치에 의해 상기 개체를 분리했을 때의 퇴피 방향과 반대 측에 설치되고, 상기 배기 라인은 상기 개폐 장치에 의해 상기 개체를 분리했을 때의 퇴피 방향과 동일한 측설치되는것
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4논리 통합
logical_integration가스 공급 라인은 퇴피 방향의 반대 측에, 배기 라인은 퇴피 방향과 동일한 측에 위치함을 논리적으로 연결한다.
- 상기 가스 공급 라인은 상기 개폐 장치에 의해 상기 개체를 분리했을 때의 퇴피 방향과 반대 측에 설치되고, 상기 배기 라인은 상기 개폐 장치에 의해 상기 개체를 분리했을 때의 퇴피 방향과 동일한 측설치되는것
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 가스 공급 라인은 반대 측, 배기 라인은 동일한 측임을 도출한다.
- 상기 가스 공급 라인은 상기 개폐 장치에 의해 상기 개체를 분리했을 때의 퇴피 방향과 반대 측에 설치되고, 상기 배기 라인은 상기 개폐 장치에 의해 상기 개체를 분리했을 때의 퇴피 방향과 동일한 측설치되는것
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 가스 공급 라인은 상기 개폐 장치에 의해 상기 개체를 분리했을 때의 퇴피 방향과 반대 측에 설치되고, 상기 배기 라인은 상기 개폐 장치에 의해 상기 개체를 분리했을 때의 퇴피 방향과 동일한 측설치되는것
최종 답변 (final_answer)
가스 공급 라인은 퇴피 방향과 반대 측에 설치되고, 배기 라인은 퇴피 방향과 동일한 측에 설치된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
기판 처리 장치의 개폐 시 가스 공급과 배기 라인의 설치 위치를 퇴피 방향을 기준으로 구분하여 배치함으로써 가스 제어 효율을 최적화하는 기술이다.