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기판 처리 장치, 반도체 장치의 제조 방법 및 반응 용기 document_id 1020070127857

출원번호
1020070127857
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 가스 도입관은, 상기 기판의 처리면에 대하여 수직 방향으로 구획된 복수의 가스 도입 구획부를 가지고 있으며, 상기 가스 분출구는,상기가스도입구획부각각형성되어있는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 3] 제 2항에 있어서,상기 가스 분출구는, 상기 가스 도입 구획부 각각에1개씩형성되어있는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 4] 제2항에 있어서,상기 가스 분출구는, 상기 가스 도입 구획부의 상기 기판 처리면에 대한 수직 방향의 단면적과 동일한면적의개구면적있는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 5] 제 1항에 있어서,상기 가스 도입관은, 적어도 상기 가스 분출구로부터 가스 도입관 상류측 선단부까지의 거리를,상기가스 분출구의기판둘레방향양단간의거리형성되어있는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 6] 제 1항에 있어서,상기 가스 도입관은, 상기 기판 처리 영역에 위치하는측방전체영역형성되어있는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 7] 제 1항에 있어서,상기 반응관의 내부에서 기판을 처리하는 영역에 있어서 상기 반응관의 측면에는 가스 배기관이 설치되어 있고, 상기 가스 배기관에는, 상기 처리실로부터 상기 가스 배기관으로 가스를 배기하는 가스 배기구가 상기 기판 처리면에 대하여 수직 방향으로 적어도 복수 매의 기판에 걸쳐지는 크기로슬릿상설치되어있는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 8] 제 7항에 있어서,상기 가스 배기관은, 상기 기판의 처리면에 대하여 수직 방향으로 구획된 복수의 가스 배기 구획부를 가지고 있으며, 상기 가스 배기구는,상기가스 배기구획부각각형성되어있는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 9] 제 2항에 있어서,상기 가스 도입 구획부의 각 상류측에, 처리 가스 공급부 및 제1 불활성 가스 공급부가 접속되어 있고,상기 반응관 내에서 기판을 처리할 때에, 각 가스 도입 구획부에 대향하는 위치에 기판이 배치되는 경우에는 상기 처리 가스 공급부로부터 처리 가스를 공급하고, 각 가스 도입 구획부에 대향하는 위치에 기판이 배치되지 않는 경우에는 상기 불활성 가스 공급부로부터 불활성 가스를 공급하는가스제어부더포함하고있는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 10] 제 1항에 있어서,상기 가스 도입관을 사이에 끼우고 처리실 밖에 전극을 배치하고, 상기 가스 도입관에서 가스를 플라스마(plasma)화하는플라스마발생장치더포함한것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 11] 제 1항에 있어서,상기 반응관의 상방으로부터 상기 반응관 내에 불활성 가스를 공급하는제2불활성가스 공급부더포함한것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 12] 제 11항에 있어서,상기 반응관의 하방으로부터 상기 반응관 내에 불활성 가스를 공급하는제3불활성가스 공급부더포함한것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 13] 제 1항에 있어서,상기 반응관의 상방에가스 차단부더포함한것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 14] 제 13항에 있어서,상기 가스 차단부는,상기반응관의내벽구비되어있는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 15] 제 1항에 있어서,적어도 상기 가스 도입관 및 상기 가스 배기관의 상단 및 하단에 상기 반응관의 내벽면보다 내측으로 돌출하는돌출부가진것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 16] 제 15항에 있어서,상기 돌출부에는, 상기 기판의 처리면에 대하여 주위 방향 동일한 위치에절흠부설치하고있는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 17] 제 16항에 있어서,상기 돌출부의 상기 절흠부에 처리실 내의 온도를 검출하는온도검출기수납되어있는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 18] 제 1항에 있어서,상기 분출구는, 상기 기판의 직경에 대하여 상기 기판면에 대한 수평 방향의 폭이 1/2이하의크기형성되어있는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판 처리 장치에서 가스 제어부가 처리 가스와 불활성 가스를 공급하는 기준은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    기판 처리 장치의 가스 제어부가 처리 가스와 불활성 가스를 공급하는 결정 기준을 찾는 것이다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 9에서 가스 제어부의 기능과 가스 공급 조건에 관한 내용을 추출한다.

    • 상기 가스 도입 구획부의 각 상류측에, 처리 가스 공급부 및 제1 불활성 가스 공급부가 접속되어 있고
  3. 3근거 선택evidence_selection

    가스 종류별 공급 조건이 명시된 구절을 선택한다.

    • 각 가스 도입 구획부에 대향하는 위치에 기판이 배치되는 경우에는 상기 처리 가스 공급부로부터 처리 가스를 공급하고, 각 가스 도입 구획부에 대향하는 위치에 기판이 배치되지 않는 경우에는 상기 불활성 가스 공급부로부터 불활성 가스를 공급하는
  4. 4논리 통합logical_integration

    가스 도입 구획부에 기판이 배치되는지 여부가 가스 공급의 기준임을 파악한다.

    • 각 가스 도입 구획부에 대향하는 위치에 기판이 배치되는 경우에는 상기 처리 가스 공급부로부터 처리 가스를 공급하고, 각 가스 도입 구획부에 대향하는 위치에 기판이 배치되지 않는 경우에는 상기 불활성 가스 공급부로부터 불활성 가스를 공급하는
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    기판의 배치 여부에 따라 처리 가스 또는 불활성 가스를 선택적으로 공급한다는 결론을 도출한다.

    • 각 가스 도입 구획부에 대향하는 위치에 기판이 배치되는 경우에는 상기 처리 가스 공급부로부터 처리 가스를 공급하고, 각 가스 도입 구획부에 대향하는 위치에 기판이 배치되지 않는 경우에는 상기 불활성 가스 공급부로부터 불활성 가스를 공급하는
  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 대해 기판의 배치 여부를 기준으로 답변을 작성한다.

    • 각 가스 도입 구획부에 대향하는 위치에 기판이 배치되는 경우에는 상기 처리 가스 공급부로부터 처리 가스를 공급하고, 각 가스 도입 구획부에 대향하는 위치에 기판이 배치되지 않는 경우에는 상기 불활성 가스 공급부로부터 불활성 가스를 공급하는
최종 답변 (final_answer)
가스 제어부는 각 가스 도입 구획부에 대향하는 위치에 기판이 배치되는지 여부를 기준으로 가스를 공급하며, 기판이 배치되는 경우에는 처리 가스 공급부로부터 처리 가스를 공급하고, 기판이 배치되지 않는 경우에는 불활성 가스 공급부로부터 불활성 가스를 공급한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
가스 도입 구획부별로 기판의 배치 여부를 감지하여, 기판이 있는 곳에는 처리 가스를, 없는 곳에는 불활성 가스를 선택적으로 공급함으로써 효율적인 가스 제어를 수행하는 기술이다.