스탬프 표면처리 장치 및 방법 document_id 1020070133939

[청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 지그는 상기 스탬프가 각각 적재될 수 있는 다수개의 적재칸이 적층 형성되도록 하되, 상기 약액이 용이하게 순환될 수 있도록 일정 간격으로 이격되어 배열 설치되는다수개의지지대구성된것을특징으로 하는스탬프 표면처리 장치. [청구항 3] 제 1항에 있어서,상기 약액공급부는,상기 챔버의 일측벽에 관통 설치되어 챔버 내측으로 약액을 공급하는 약액공급관;상기 약액공급관에 설치되는 펌프; 및상기 약액공급관을 통해 배출되는 약액이 저장될 수 있도록 상기 챔버 내측에 설치되는 약액저장용기;를 포함하여구성되는것을특징으로 하는스탬프 표면처리 장치. [청구항 4] 제 3항에 있어서,상기 약액공급관은 약액이 다수개의 경로를 따라 분기되어 공급될 수 있도록다수개의분기관구성되는것을특징으로 하는스탬프 표면처리 장치. [청구항 5] 제 4항에 있어서,상기 약액은 상기 챔버 내의 약액저장용기로부터 용이하게 기화되어 확산될 수 있도록 캐리어솔벤트가 혼합되어 공급되는불소계열불활성 액체인것을특징으로 하는스탬프 표면처리 장치. [청구항 6] 제 1항에 있어서,상기 챔버 내측에는 상기 약액이 챔버 내에 강제 순환될 수 있도록순환수단더구비되는것을특징으로 하는스탬프 표면처리 장치. [청구항 7] 제 6항에 있어서,상기 순환수단은 상기 챔버 내의 가스가 상기 약액공급부가 설치된 측벽으로 토출되어 순환될 수 있도록 챔버의 상측부에 설치되는송풍팬인것을특징으로 하는스탬프 표면처리 장치. [청구항 8] 제 7항에 있어서,상기 챔버 내측에는 상기 지그에 배치된 스탬프가 격리되도록 불순물유입방지부를 구비하되, 상기 불순물유입방지부는 격리구역을 형성하는 다수개의 격리판과 상기 챔버 내의 약액 성분이 통과될 수 있도록 양측 격리판에 각각 설치되는필터구성된것을특징으로 하는스탬프 표면처리 장치. [청구항 9] 제 8항에 있어서,상기 가열부는 열기가 상기 스탬프 표면으로 용이하게 강제 순환될 수 있도록 상기 송풍팬의 토출구에 인접되게 챔버 상측부에 설치되는히터인것을특징으로 하는스탬프 표면처리 장치. [청구항 10] 제 1항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 있어서,상기 챔버 일측에는진공펌프더구비되는것을특징으로 하는스탬프 표면처리 장치. [청구항 11] 제 10항에 있어서,상기 챔버 일측에는 상기 챔버 내의 다른 반응성 가스가 반응하지 않도록 중화시킬 수 있게 불활성 퍼지가스를 공급하는퍼지가스공급부더구비되는것을특징으로 하는스탬프 표면처리 장치. [청구항 12] 제 11항에 있어서,상기 챔버 일측에는 상기 챔버 내측의 가스가 외부로 배출될 수 있게 배기관을 구비하되, 상기 배기관에는 배기팬과유독가스포집부재각각설치되는것을특징으로 하는스탬프 표면처리 장치.