문맥 (context)
[청구항 2]
제 1항에 있어서,상기 제1 테스트 구조물과 상기 제2 테스트 구조물 사이에 전류가 통하는지 여부를 측정하여 상기 다수개의 테스트 공유 콘택의 장축간의 브릿지(bridge) 여부를 테스트하는전류 측정부를더 포함하는테스트 장치.
[청구항 3]
제 1항에 있어서,테스트 공유 콘택들은 장축 및 단축을 가지며, 상기 각 테스트 공유 콘택 쌍들은장축방향인접하여형성된테스트 장치.
[청구항 4]
제 3항에 있어서,상기 제1 테스트 배선 및 상기 제2 테스트 배선은 상기 테스트 공유 콘택의 단축 방향연장된테스트 장치.
[청구항 5]
제 4항에 있어서,상기 제1 테스트 배선 및 상기 제2 테스트 배선은 각각 두개의 테스트 공유 콘택과 전기적연결되는테스트 장치.
[청구항 6]
제 1항에 있어서,상기 반도체 기판 상에는 스태틱 메모리 셀 영역 및 테스트 영역이 정의되며, 상기 다수개의 테스트 공유 콘택, 상기 제1 테스트 구조물 및 상기 제2 테스트 구조물은 상기 테스트 영역형성된테스트 장치.
[청구항 7]
제 6항에 있어서,태틱 메모리 셀 영역의 반도체 기판 상에는 다수개의 공유 콘택이 형성되고, 상기 다수개의 테스트 공유 콘택은 상기 다수개의 공유 콘택과 대응되게 형성된테스트 장치.
[청구항 9]
제 8항에 있어서,테스트 콘택들은 장축 및 단축을 가지며, 상기 테스트 콘택 쌍은장축방향인접하여형성된테스트 장치.
[청구항 10]
제 9항에 있어서,상기 제1 테스트 배선 및 상기 제2 테스트 배선은 상기 테스트 콘택의 단축 방향정렬된테스트 장치.
[청구항 11]
제 8항에 있어서,상기 반도체 기판 상에는 스태틱 메모리 셀 영역 및 테스트 영역이 정의되며, 상기 한 쌍의 테스트 콘택, 상기 제1 테스트 배선 및 상기 제2 테스트 배선은 상기 테스트 영역형성된테스트 장치.
[청구항 12]
제 11항에 있어서,태틱 메모리 셀 영역 상에는 한 쌍의 게이트 라인 및 한 쌍의 공유 콘택이 형성되고, 상기 한쌍의 테스트 게이트 라인은 상기 게이트 라인과 대응되며, 상기 한 쌍의 테스트 콘택은 상기 한쌍의 공유 콘택과 대응되게 형성된테스트 장치.
[청구항 15]
제 14항에 있어서,다수개의 테스트 공유 콘택은 단축 및 장축을 가지며, 상기 제1 테스트 구조물과 상기 제2 테스트 구조물 사이에 전류가 통하는지 여부를 측정하여 상기 다수개의 테스트 공유 콘택의 장축간의 브릿지(bridge) 여부를 테스트하는전류 측정부를더 포함하는반도체 집적 회로 장치.
[청구항 16]
제 14항에 있어서,테스트 공유 콘택들은 장축 및 단축을 가지며, 상기 각 테스트 공유 콘택 쌍들은장축방향인접하여형성된테스트 장치.
[청구항 17]
제 16항에 있어서,상기 제1 테스트 배선 및 상기 제2 테스트 배선은 상기 테스트 공유 콘택의 단축 방향정렬된테스트 장치.
[청구항 18]
제 17항에 있어서,상기 제1 테스트 배선 및 상기 제2 테스트 배선은 각각 두개의 테스트 공유 콘택과 전기적연결되는테스트 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
테스트 장치에서 전류 측정부가 수행하는 테스트의 목적은 무엇이며, 이를 위해 어떤 요소들 사이의 전류 통함 여부를 측정하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation전류 측정부의 테스트 목적과 전류 통함 여부를 측정하는 대상 요소를 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2를 통해 전류 측정부가 제1 테스트 구조물과 제2 테스트 구조물 사이의 전류 통함을 측정하며, 목적은 테스트 공유 콘택의 장축간 브릿지 여부를 테스트하는 것임을 확인한다.
- 상기 제1 테스트 구조물과 상기 제2 테스트 구조물 사이에 전류가 통하는지 여부를 측정하여 상기 다수개의 테스트 공유 콘택의 장축간의 브릿지(bridge) 여부를 테스트하는전류 측정부
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3근거 선택
evidence_selection테스트 목적과 측정 대상이 명시된 구절을 선택한다.
- 상기 제1 테스트 구조물과 상기 제2 테스트 구조물 사이에 전류가 통하는지 여부를 측정하여 상기 다수개의 테스트 공유 콘택의 장축간의 브릿지(bridge) 여부를 테스트하는전류 측정부
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4논리 통합
logical_integration전류 측정부는 제1 및 제2 테스트 구조물 사이의 전류 통함을 측정함으로써, 테스트 공유 콘택의 장축 간 브릿지 발생 여부를 판별한다.
- 상기 제1 테스트 구조물과 상기 제2 테스트 구조물 사이에 전류가 통하는지 여부를 측정하여 상기 다수개의 테스트 공유 콘택의 장축간의 브릿지(bridge) 여부를 테스트하는전류 측정부
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 따라 목적(브릿지 여부 테스트)과 측정 요소(제1 테스트 구조물과 제2 테스트 구조물 사이)를 정리한다.
- 상기 제1 테스트 구조물과 상기 제2 테스트 구조물 사이에 전류가 통하는지 여부를 측정하여 상기 다수개의 테스트 공유 콘택의 장축간의 브릿지(bridge) 여부를 테스트하는전류 측정부
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 제1 테스트 구조물과 상기 제2 테스트 구조물 사이에 전류가 통하는지 여부를 측정하여 상기 다수개의 테스트 공유 콘택의 장축간의 브릿지(bridge) 여부를 테스트하는전류 측정부
최종 답변 (final_answer)
테스트의 목적은 상기 다수개의 테스트 공유 콘택의 장축간의 브릿지(bridge) 여부를 테스트하는 것이며, 이를 위해 상기 제1 테스트 구조물과 상기 제2 테스트 구조물 사이의 전류 통함 여부를 측정한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
테스트 장치의 전류 측정부를 이용하여 제1 및 제2 테스트 구조물 간의 전류 흐름을 확인함으로써, 테스트 공유 콘택의 장축 사이에 의도치 않은 브릿지가 형성되었는지 여부를 검사하는 기술이다.