문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 지지부 이면에는 볼록부가 설치되고, 이 볼록부는 상기 지지편의 가장자리보다도 내측에서상기지지편상면접촉하도록구성되는열처리 장치.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 지지부 이면에는 오목부가 설치되고, 이 오목부는 상기 지지부 이면과 상기 지지편 가장자리의 접촉을 피하도록 상기 지지편의 가장자리에 대응하는 부분설치되는열처리 장치.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 지지편 상면의 상기 지지부 이면과 대향하는 부분의 면적은 지지부 이면의 면적과 동등이하인열처리 장치.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 지지부 상면에는 오목부가 설치되고, 상기 지지부는 기판을 지지한 상태에서 기판이 상기 지지부의 가장자리와는 접촉하지 않으며, 상기 지지부의 가장자리보다도 내측에서상기지지부접촉하도록구성되는열처리 장치.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 지지부는 판 형상 부재링 형상 부재로 이루어지는열처리 장치.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 지지구는 복수매의 기판을 대략 수평 상태에서 간극(間隙)을 갖고 복수단에 의해지지하도록구성되는열처리 장치.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,상기 지지부는 실리콘, 탄화규소, 석영 중 어느 하나로 이루어지고, 상기 지지편은 실리콘, 탄화규소, 석영 중하나로 이루어지는열처리 장치.
[청구항 9]
제 1 항에 있어서,상기 지지부의 재질과 상기 지지편의 재질이동일한열처리 장치.
[청구항 10]
제 1 항에 있어서,상기 지지부의 재질과 상기 지지편의 재질이상이한열처리 장치.
[청구항 11]
제 1 항에 있어서,상기 지지부는 실리콘제이며, 상기 지지편은 탄화규소제인열처리 장치.
[청구항 12]
제 1 항에 있어서,상기 반응로 내에서의 처리 분위기는 산화성분위기인열처리 장치.
[청구항 13]
제 1 항에 있어서,상기 지지편 상면에는 지지부 이면에 설치된 볼록부를 수용하는 오목부설치되는열처리 장치.
[청구항 14]
제 1 항에 있어서,상기 지지편 상면에는 지지부 이면에 설치된 오목부에 수용되는 볼록부가설치되는열처리 장치.
[청구항 17]
제 16 항에 있어서,상기 지지편 상면의 오목부또는 볼록부는 상기 지지편의 상면이며, 상기 지지편의 가장자리보다도 내측설치되는열처리 장치.
[청구항 19]
제 18 항에 있어서,상기 지지부이면 및 상기 지지편 상면, 또는 상기 지지부 이면 또는 상기 지지편 상면에는 상기 스페이서를 수용하는 오목부설치되는열처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
열처리 장치에서 지지부 이면에 설치된 볼록부와 지지편 상면의 구조적 관계를 설명하고, 지지편의 가장자리와 볼록부의 위치 관계를 기술하시오.
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation지지부 이면의 볼록부와 지지편 상면의 구조적 관계 및 지지편 가장자리와 볼록부의 위치 관계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 볼록부가 지지편 상면에 접촉한다는 점과 지지편 가장자리보다 내측에 위치한다는 점을 추출한다.
- 상기 지지부 이면에는 볼록부가 설치되고, 이 볼록부는 상기 지지편의 가장자리보다도 내측에서상기지지편상면접촉하도록구성되는
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3근거 선택
evidence_selection볼록부의 설치 위치(지지부 이면), 접촉 대상(지지편 상면), 그리고 가장자리와의 상대적 위치(가장자리보다 내측)에 관한 구절을 선택한다.
- 상기 지지부 이면에는 볼록부가 설치되고, 이 볼록부는 상기 지지편의 가장자리보다도 내측에서상기지지편상면접촉하도록구성되는
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4논리 통합
logical_integration볼록부는 지지부 이면에 설치되어 지지편 상면과 접촉하는 구조적 관계를 가지며, 위치상으로는 지지편의 가장자리보다 안쪽(내측)에 위치함을 통합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation볼록부는 지지부 이면에 설치되어 지지편 상면에 접촉하며, 지지편의 가장자리보다 내측에 위치한다는 결론을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 명시된 두 가지 관계(구조적 관계, 위치 관계)를 포함하여 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
볼록부는 지지부 이면에 설치되어 지지편 상면에 접촉하는 구조적 관계를 가지며, 위치 관계 측면에서는 지지편의 가장자리보다도 내측에 위치한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
지지부 이면의 볼록부가 지지편 상면에 접촉하되, 지지편의 가장자리와는 간격을 두기 위해 가장자리보다 내측에 배치되는 구조를 특징으로 한다.