전계 방출의 도움을 받는 마이크로방전 장치 document_id 1020077003550

[청구항 1] 방전 매체를 포함하는 마이크로방전 캐비티(cavity)(10, 30)와 상기 방전 매체에 접촉하는 음극(14, 36, 68)과 상기 음극으로부터 전기적으로 분리되고, 상기 음극과 상기 방전 매체에 대응하여 배치되는 양극(16, 36, 38)으로서, 상기 양극 및 상기 음극은 상기 양극 및 상기 음극이 여기되는 경우에 상기 방전 매체로부터 방출을 자극하는 것인, 양극과 상기 음극에 또는 상기 음극에 매우 가까이에 배치되는 전계 방출 나노구조(18) 를 포함하는 마이크로방전 장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 전계 방출 나노구조는 상기 음극배치되는 것인마이크로방전 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 전계 방출 나노구조는 상기 마이크로방전 캐비티 내배치되는 것인마이크로방전 장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 음극은 상기 마이크로방전 캐비티를 관통하는 공동음극포함하는 것인마이크로방전 장치. [청구항 5] 제3항에 있어서,상기 공동음극의 표면에 형성되는 리세스(32)들을 더 포함하고, 상기 전계 방출 나노구조는 상기 리세스들배치되는 것인마이크로방전 장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 음극은 상기 마이크로방전 캐비티를 관통하는 공동음극포함하는 것인마이크로방전 장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 공동음극으로부터 분리되어 가장 가까이에 있는 제 2 음극(20)을 더 포함하고, 상기 전계 방출 나노구조는 상기 제2 음극배치되는 것인마이크로방전 장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 양극은 스크린 양극포함하는 것인마이크로방전 장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 양극은 투명 전극포함하는 것인마이크로방전 장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 투명 전극은 주석첨가 산화인디움포함하는 것인마이크로방전 장치. [청구항 11] 제1항에 있어서,상기 양극은 고리형 전극포함하는 것인마이크로방전 장치. [청구항 12] 제1항에 있어서,상기 마이크로방전 캐비티는, 상기 마이크로방전 캐비티가 공동음극으로서 형성되도록 상기 음극을 포함하는 기판에서 형성되고,상기 양극은 상기 마이크로방전 캐비티를 밀봉하는 투명 전극으로서 형성되며; 상기 기판으로부터 상기 투명 전극을 전기적으로 분리시키도록 유전체층더 포함하는 것인마이크로방전 장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 공동음극의 표면에 형성되는 리세스들을 더 포함하고, 상기 전계 방출 나노구조는 상기 리세스들배치되는 것인마이크로방전 장치. [청구항 14] 제1항에 있어서,상기 마이크로방전 캐비티는, 상기 마이크로방전 캐비티가 공동음극으로서 형성되도록 상기 음극을 포함하는 기판에 형성되고,상기 양극은 스크린 전극으로서 형성되며; 상기 마이크로방전 장치는 상기 기판으로부터 상기 스크린 전극을 전기적으로 분리시키는 유전체층(22)과;상기 마이크로방전 캐비티의 방전 매체를 밀봉하는 투명 윈도우더 포함하는 것인마이크로방전 장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 공동음극의 표면에 형성되는 리세스(32)들을 더 포함하고, 상기 전계 방출 나노구조는 상기 리세스들배치되는 것인마이크로방전 장치. [청구항 16] 제1항에 있어서,상기 방전 매체는 원자 희(稀)가스, n2, 및 희가스-할라이드 분자(halide molecule)를 포함하는 그룹선택되는 것인마이크로방전 장치. [청구항 17] 제1항에 있어서,상기 음극에 있거나 가장 가까이에 있는 리세스들을 더 포함하고, 상기 전계 방출 나노구조는 상기 리세스들형성되는 것인마이크로방전 장치. [청구항 18] 제1항에 있어서,방전 매체를 포함하는 복수의 마이크로방전 캐비티와;상기 복수의 마이크로방전 캐비티에 의해 공유되는 공통음극(common cathode)을 포함하는 상기 음극포함하는마이크로방전 장치. [청구항 19] 제18항에 있어서,상기 공통음극의 표면에 형성되는 리세스들을 더 포함하고, 상기 전계 방출 나노구조는 상기 리세스들배치되는 것인마이크로방전 장치. [청구항 20] 기판(15)과; 상기 기판에 있는 마이크로방전 캐비티(10, 30)와 상기 마이크로방전 캐비티에 포함된 방전 매체와 상기 방전 매체로부터의 방출을 자극하는 전극들(14, 16, 36, 38)과 상기 방전 매체로부터의 방출을 돕는 전계 방출 나노구조(18) 를 포함하는 마이크로방전 장치 [청구항 21] 제20항에 있어서,상기 전계 방출 나노구조는 상기 마이크로방전 캐비티에 형성된 전계 방출 나노구조포함하는 것인마이크로방전 장치. [청구항 22] 제20항에 있어서,상기 전계 방출 나노구조는 상기 마이크로방전 캐비티 및 상기 전극들 중 하나에 가장 가까이 형성된 전계 방출 나노구조포함하는 것인마이크로방전 장치. [청구항 23] 제20항에 있어서,상기 방전 매체는 원자 희(稀)가스, n2, 및 희가스-할라이드 분자(halide molecule)를 포함하는 그룹선택되는 것인마이크로방전 장치. [청구항 24] 제20항에 있어서,상기 전계 방출 나노구조를 보호하도록 리세스들더 포함하는 것인마이크로방전 장치.