기판 유지 장치, 노광 장치 및 디바이스 제조방법 document_id 1020077004198

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 제 1 회수구에 접속되고, 상기 제 1 회수구를 통하여 상기 제 2 공간 내의 기체를 흡인하는 흡인 장치구비하는,기판 유지 장치. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 제 1 주벽부는, 상기 제 1 지지부로 지지된 상기 처리 기판의 에지부보다 내측에 설치되며,상기 제 1 회수구를 통하여 회수되는 액체는, 상기 처리 기판의 이면 중 제 1 주벽부보다 외측의 영역에 부착되어 있는 액체포함하는,기판 유지 장치. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 제 1 회수구는, 상기 제 1 주벽부의 둘레방향을 따라 상기 기재 상의 복수의 위치형성되어 있는,기판 유지 장치. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,상기 제 1 회수구는, 상기 제 1 지지부로 지지된 상기 처리 기판의 에지부보다 내측의 상기 기재 상형성되어 있는,기판 유지 장치. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 제 1 회수구는, 상기 제 1 주벽부의 둘레방향을 따른 복수의 위치에 소정 간격형성되어 있는,기판 유지 장치. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,상기 처리 기판은, 상기 제 1 공간이 부압이 된 상태에서 상기 제 1 지지부에 의해 흡착유지되는,기판 유지 장치. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,상기 제 1 주벽부는, 상기 제 1 지지부로 지지되는 상기 처리 기판에 형성된 절결부에 대응하는 오목부를 가지며, 상기 제 1 회수구는, 상기 오목부의 내측형성되어 있는,기판 유지 장치. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 제 1 회수구는, 상기 오목부의 중심 위치로부터 상기 제 1 주벽부의 둘레방향으로 소정 거리 어긋난 위치형성되어 있는,기판 유지 장치. [청구항 10] 제 1 항에 있어서,상기 제 1 주벽부의 외측에 그 제 1 주벽부와 대향하도록 배치된 제 2 주벽부를 구비하고,상기 측면부는, 상기 제 2 주벽부형성되어 있는,기판 유지 장치. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,상기 제 2 주벽부의 상면은, 상기 제 1 지지부로 지지된 상기 처리 기판의 이면대향하는,기판 유지 장치. [청구항 13] 제 10 항에 있어서,상기 제 1 주벽부와 상기 제 2 주벽부 사이의 상기 제 2 공간과, 상기 제 2 주벽부의 외측의 제 3 공간 사이에서 기체를 유통시키는 유로갖는,기판 유지 장치. [청구항 14] 제 13 항에 있어서,상기 유로는, 상기 제 2 주벽부의 일부에 형성된 구멍포함하는,기판 유지 장치. [청구항 15] 제 13 항에 있어서,상기 유로는, 상기 제 2 주벽부의 일부에 설치된 슬릿부포함하는,기판 유지 장치. [청구항 16] 제 13 항에 있어서,상기 유로는, 상기 제 2 주벽부와 상기 제 1 지지부로 지지된 상기 처리 기판 사이에 형성되는 간극포함하는,기판 유지 장치. [청구항 17] 제 10 항에 있어서,상기 제 2 주벽부의 외측의 공간에 면하여 형성되고, 상기 액침 영역으로부터 상기 제 2 주벽부의 외측 공간에 침입한 상기 액체를 회수하는 제 2 회수구갖는,기판 유지 장치. [청구항 18] 제 17 항에 있어서,상기 기재 상에 형성되며, 상기 제 1 지지부로 지지된 상기 처리 기판의 주위를 둘러싸도록 플레이트 부재를 유지하는 플레이트 유지부를 구비하고,상기 플레이트 유지부는, 상기 플레이트 부재의 이면측에 공간이 형성되도록 상기 플레이트 부재를 유지하고,상기 제 2 회수구는, 상기 플레이트 유지부에 유지된 플레이트 부재의 이면측형성되어 있는,기판 유지 장치. [청구항 19] 제 18 항에 있어서,상기 제 1 지지부로 지지된 상기 처리 기판과 상기 제 2 주벽부의 상면의 일부 영역이 대향하며, 상기 플레이트 부재와 상기 제 2 주벽부의 상면의 다른 영역대향하는,기판 유지 장치. [청구항 20] 제 19 항에 있어서,상기 플레이트 부재의 이면과 상기 제 2 주벽부의 상면 사이에 간극형성되어 있는,기판 유지 장치. [청구항 21] 제 18 항에 있어서,상기 플레이트 유지부는, 상기 플레이트 부재의 이면을 지지하는 제 2 지지부와, 상기 제 2 지지부를 둘러싸는 외벽부를 구비하며, 상기 플레이트 부재와 상기 외벽부와 상기 기재로 둘러싸인 제 4 공간을 부압으로 함으로써, 상기 플레이트 부재의 이면을 상기 제 2 지지부로 흡착 유지하고, 상기 제 2 회수구는, 상기 제 4 공간의 외측형성되어 있는,기판 유지 장치. [청구항 22] 제 18 항에 있어서,상기 플레이트 부재는 액체에 대해 발액성갖는,기판 유지 장치. [청구항 23] 제 18 항에 있어서,상기 제 1 회수구 및 상기 제 2 회수구는, 상기 제 1 지지부로 지지된 상기 처리 기판과 상기 제 2 지지부로 지지된 상기 플레이트 부재 사이를 지나 상기 액침 영역으로부터 침입한 상기 액체회수하는,기판 유지 장치. [청구항 25] 제 24 항에 있어서,상기 액체를 통한 노광 중에, 상기 제 1 회수구를 이용한 회수 동작정지시키는,노광 장치. [청구항 26] 제 24 항에 있어서,상기 액체를 통한 노광 종료 후, 상기 처리 기판을 상기 기판 유지 장치에 유지한 상태로 상기 제 1 회수구를 이용한 회수 동작행하는,노광 장치. [청구항 27] 제 26 항에 있어서,상기 기판 유지 장치를, 상기 처리 기판이 노광되는 제 1 위치와, 상기 제 1 위치와는 다른 제 2 위치 사이에서 이동시키는 구동 장치를 구비하고,상기 기판 유지 장치 이동 중에, 상기 제 1 회수구를 이용한 회수 동작행하는,노광 장치.