투영 광학 디바이스 및 노광 장치 document_id 1020077004795

[청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 플렉시블 구조는 배선포함하는,투영 광학 디바이스. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 플렉시블 구조는 상기 배선에 커플링된 굴곡부포함하는,투영 광학 디바이스. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 굴곡부는스프링인,투영 광학 디바이스. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,상기 플렉시블 구조는 로드 (rod) 부재와, 상기 로드 부재의 적어도 일 단부 상에 제공된 굴곡부포함하는,투영 광학 디바이스. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 로드 부재는 상기 로드 부재의 양 단부에 제공된 굴곡부갖는,투영 광학 디바이스. [청구항 9] 제 1 항에 있어서,상기 지지 디바이스는 상기 투영 광학계의 상위측으로부터 상기 투영 광학계지지하는,투영 광학 디바이스. [청구항 10] 제 1 항에 있어서,상기 지지 디바이스는 상기 투영 광학계의 아래로부터 상기 투영 광학계지지하는,투영 광학 디바이스. [청구항 11] 제 1 항에 있어서,상기 방진부는, 상기 투영 광학계의 광축 방향으로 진동을 감소시키며, 상기 플렉시블 구조의 일단부제공되는,투영 광학 디바이스. [청구항 12] 제 1 항에 있어서,상기 지지 디바이스의 상기 프레임은 상기 플렉시블 구조의 일단부에 부착되어, 상기 투영 광학계가 상기 플렉시블 구조를 통해상기프레임으로부터매달려있는,투영 광학 디바이스. [청구항 13] 제 12 항에 있어서,상기 액츄에이터는 상기 프레임에 접촉하지 않고 상기 투영 광학계를 위치지정시키는,투영 광학 디바이스. [청구항 14] 제 13 항에 있어서,상기 위치지정 디바이스는, 상기 프레임에 대해 상기 투영 광학계의 6 자유도 변위 정보를 측정하는 변위 센서구비하는,투영 광학 디바이스. [청구항 15] 제 1 항에 있어서,상기 지지 디바이스는 상기 투영 광학계의 일측면에 고정되는 플랜지부를 통해 상기 투영 광학계를 지지하고,상기 투영 광학계와 소정의 부재 사이의 위치 관계를 측정하기 위한 센서가 제공되고, 상기 플랜지부에 대해 키네마틱하게 지지되는 측정 유닛을 추가구비하는,투영 광학 디바이스. [청구항 16] 제 1 항에 있어서,상기 패턴이 형성된 부재는 상기 투영 광학계에 일체적고정되는,투영 광학 디바이스. [청구항 17] 제 16 항에 있어서,상기 투영 광학계에 대해 상기 패턴이 형성된 상기 부재를 미세 이동시키는 미세 이동 메커니즘을 추가구비하는,투영 광학 디바이스. [청구항 18] 제 1 항에 있어서,상기 지지 디바이스의 상기 프레임은 상기 플렉시블 구조의 일단부에 부착되어, 상기 투영 광학계가 상기 플렉시블 구조를 통해 상기 프레임으로부터 매달리도록 하고,방진 부재를 통해, 상기 프레임에 의해 지지되는 베이스, 및 상기 베이스 상에, 상기 패턴이 형성된 부재를 구동시키는 스테이지를 추가구비하는,투영 광학 디바이스. [청구항 19] 제 18 항에 있어서,상기 방진 부재는 피봇 (pivot) 과 굴곡부 중 하나포함하는,투영 광학 디바이스. [청구항 20] 제 18 항에 있어서,상기 스테이지의 이동에 의해 생성된 반력이 전달되지 않도록 상기 베이스 상에서 이동하는 카운터매스, 및상기 베이스 상에 상기 카운터매스를 지지하는 굴곡부더 구비하는,투영 광학 디바이스. [청구항 21] 제 1 항에 있어서,상기 투영 광학계는 하향 흐름 환경배치되는,투영 광학 디바이스. [청구항 22] 제 15 항에 있어서,상기 측정 유닛은 레이저 간섭계를 포함하고,상기 레이저 간섭계에 의해 사용된 레이저 빔의 광학 경로에 대해 가스를 국부 하향 흐름으로 수행하는 국부 가스 흐름계더 포함하는,투영 광학 디바이스. [청구항 23] 제 1 항에 있어서,상기 투영 광학계의 측면을 따라 배치되는 튜브, 및상기 튜브에 냉각액을 공급하는 액체 공급부더 구비하는,투영 광학 디바이스. [청구항 25] 제 1 항 및 제 3 항 내지 제 22 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 투영 광학계의 측면을 따라 온도 제어된 액체가 흐르도록 중력을 이용하여 상기 투영 광학계의 측면으로 온도 제어된 액체를 공급하는 액체 공급기더 구비하는,투영 광학 디바이스. [청구항 26] 제 25 항에 있어서,상기 액체 공급기는, 상기 투영 광학계의 상기 측면 주위를 감싸는 튜브, 및사이펀 (siphon) 원리에 의해 상기 튜브를 통해 상기 온도 제어된 액체를 순환시키는 액체 순환계구비하는,투영 광학 디바이스. [청구항 28] 제 25 항에 있어서,상기 액체 공급기는,상기 투영 광학계의 수직적으로 상위부에 근접하여 위치된 액체 저장기,상기 투영 광학계의 상기 측면 주위를 감싸고, 상기 액체 저장기와 소통되는 튜브, 및상기 액체 저장기로 리턴되는 상기 튜브를 관통하여 상기 액체를 통과시키는 액체 리턴 통로구비하는,투영 광학 디바이스. [청구항 29] 제 28 항에 있어서,상기 액체 리턴 경로는 상기 액체의 상기 온도를 제어하는 온도 제어계를 포함하고, 상기 온도 제어계는 상기 액체 저장기로 상기 액체를 펌핑하는 펌프포함하는,투영 광학 디바이스.