매설 고갈층을 가진 활성 감광 구조 document_id 1020077007119

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 축적 영역은 제1 전도형으로 도핑되며, 상기 채널 영역은제2전도형도핑되는것을특징으로 하는jfet 포토센서. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 축적 영역은 도핑된 n-형이며, 상기 축적 영역은 도핑된형인것을특징으로 하는jfet 포토센서. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 감광 소자는 jfet트랜지스터의매설게이트영역포함하는것을특징으로 하는픽셀 센서 셀. [청구항 6] 제4항에 있어서,상기 감광 소자의 제1 측면에 인접하여 상기 제1 측면 상부에 위치하며, 상기 채널 영역에 전압을 인가하기 위한 제1 접점; 및상기 채널 영역으로부터 독출 신호를 받기 위한제2접점더포함하는것을특징으로 하는픽셀 센서 셀. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 제2 접점nan은로우 선택 트랜지스터와전기적연결되는것을특징으로 하는픽셀 센서 셀. [청구항 8] 제4항에 있어서,상기 축적 영역의 전하를 리셋하기 위한회로더포함하는것을특징으로 하는픽셀 센서 셀. [청구항 9] 제4항에 있어서,상기 회로는 적어도 리셋 상태에서 상기 채널의 저항을 표시하는 제1 신호 및 집적 주기의 끝에 상기 채널의 저항을 표시하는 제2 신호를 수신하기 위한샘플및홀드 회로포함하는것을특징으로 하는픽셀 센서 셀. [청구항 10] 제5항에 있어서,픽셀 센서 셀의 필 팩터(fill factor)는50퍼센트이상인것을특징으로 하는픽셀 센서 셀. [청구항 11] 제5항에 있어서,상기 셀은 상기 채널 영역으로부터의 저항을 표시하는 신호를 연속적으로 독출할 수있는것을특징으로 하는픽셀 센서 셀. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 제1 접점nan은로우 선택 트랜지스터연결되는것을특징으로 하는픽셀 센서 셀. [청구항 14] 제13항에 있어서,채널 영역에 전기적으로 연결되며, 상기 채널 영역에 전압을 제공하기 위하여 조절되는제2접점더포함하는것을특징으로 하는픽셀 센서 셀. [청구항 15] 제12항에 있어서,픽셀 센서의 필 팩터는50퍼센트이상인것을특징으로 하는픽셀 센서 셀. [청구항 16] 제12항에 있어서,상기 전하 축적 영역은 상기 전하 축적 영역을 둘러싸는 필드를 효율적으로 형성할 수있는것을특징으로 하는픽셀 센서 셀. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기 하나 이상의 픽셀 센서 셀은 상기 채널 영역에 전압을 인가하기 위한 제1 터미널 접점 및 독출을 수행하기 위한제2터미널접점더포함하는것을특징으로 하는픽셀 센서 셀의 어레이. [청구항 19] 제18항에 있어서,상기 하나 이상의 픽셀 센서 셀은 상기 제2 터미널 접점으로부터 선택적으로 신호를 독출하기 위한제1로우 선택 트랜지스터더포함하는것을특징으로 하는픽셀 센서 셀의 어레이. [청구항 21] 제20항에 있어서,상기 포토센서는 기판의 최상면 아래에 매설된 jfet게이트영역포함하는것을특징으로 하는픽셀 센서 셀의 어레이. [청구항 22] 제20항에 있어서,상기 리셋 트랜지스터는 상기 축적 영역에 인접하여상기축적 영역상부형성되는것을특징으로 하는픽셀 센서 셀의 어레이. [청구항 23] 제22항에 있어서,상기 하나 이상의 픽셀 센서 셀은, 상기 축적 영역 반대편의 상기 리셋 트랜지스터의 한 측면 상에서 상기 리셋 트랜지스터에 인접하여 기판에 형성되는드레인 영역더포함하는것을특징으로 하는픽셀 센서 셀의 어레이. [청구항 24] 제23항에 있어서,상기 드레인 영역은 상기 리셋 트랜지스터의 활성화를 통하여 상기 축적 영역으로부터전하조절되는것을특징으로 하는픽셀 센서 셀의 어레이. [청구항 25] 제20항에 있어서,상기 하나 이상의 픽셀 센서 셀은 신호를 독출하기 위하여 상기 제2 터미널 접점에 연결되는로우 선택 트랜지스터더포함하는것을특징으로 하는픽셀 센서 셀의 어레이. [청구항 26] 제20항에 있어서,상기 하나 이상의 픽셀 센서 셀은 연속적으로 신호를 독출할 수있는것을특징으로 하는픽셀 센서 셀의 어레이. [청구항 28] 제27항에 있어서,상기 독출 회로는 신호를 상기 제1 및 제2 터미널 접점으로부터 독출 터미널로 선택적으로 게이팅(gating)하는로우 선택 트랜지스터포함하는것을특징으로 하는이미징 시스템. [청구항 29] 제27항에 있어서,상기 하나 이상의 픽셀 셀은 축적 영역에 축적된 전하를 리셋 상태로 리셋하는리셋 트랜지스터더포함하는것을특징으로 하는이미징 시스템. [청구항 30] 제29항에 있어서,상기 리셋 트랜지스터는 상기 축적 영역으로부터 인접한 드레인 영역 내로 전하를 전송하도록조절되는것을특징으로 하는이미징 시스템. [청구항 31] 제28항에 있어서,상기제1 및 제2 터미널 접점은 상기 픽셀 셀로부터 리셋 상태를 표시하는 리셋 신호를 생성할 수있는것을특징으로 하는이미징 시스템.