문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 제1가이드부의 상기 가이드면 및 상기 제2가이드부의 상기 가이드면 중 적어도 어느 하나는 상기 폴리싱테잎의 폭방향을 따라만곡되어있는것을특징으로 하는폴리싱장치.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 제1가이드부의 상기 가이드면 및 상기 제2가이드부의 상기 가이드면은 상기 폴리싱테잎의 공급방향에 수직인 단면에서 상이한곡률가지는것을특징으로 하는폴리싱장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 제1가이드부의 상기 가이드면 및 상기 제2가이드부의 상기 가이드면 중 하나는 적어도 상기 폴리싱테잎의 폭방향을 따라 만곡되는 만곡면을 구비하며,상기 제1가이드부의 상기 가이드면 및 상기 제2가이드부의 상기 가이드면 중 다른 하나는 상기 폴리싱테잎의 폭방향을 따라실질적평탄한것을특징으로 하는폴리싱장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 폴리싱테잎을 직접 상기 제1가이드부에 공급하도록 상기 공급릴로부터 상기 폴리싱테잎을 안내하기 위해, 상기 폴리싱테잎의 폭방향을 따라 실질적으로 평탄한 가이드면을 구비한 제3가이드부; 및 상기 폴리싱테잎을 상기 테이크업릴에 공급하도록 상기 제2가이드부로부터 직접 공급되는 상기 폴리싱테잎을 안내하기 위해, 상기 폴리싱테잎의 폭방향을 따라 실질적으로 평탄한 가이드면을 구비한제4가이드부중하나이상더포함하여이루어지는것을특징으로 하는폴리싱장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 제1가이드부는,상기 폴리싱테잎과 접촉하게 되는 사다리꼴 단면을 갖는 가이드부재; 및상기 가이드부재의 표면들을 따라 배치된 한쌍의롤러포함하는것을특징으로 하는폴리싱장치.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 폴리싱테잎을 폴리싱될 기판의 일부분에 대해 가압하기 위한하나이상의폴리싱헤드더포함하여이루어지는것을특징으로 하는폴리싱장치.
[청구항 8]
제7항에 있어서,상기 폴리싱헤드는 상기 폴리싱테잎을 폴리싱될 기판의 일부분에 대해 가압하기 위한탄성부재포함하여이루어지는것을특징으로 하는폴리싱장치.
[청구항 9]
제1항에 있어서,상기 폴리싱테잎을 폴리싱될 기판의 일부분에 대해 독립적으로 설정된 접촉 각도들로 가압하기 위한복수의폴리싱헤드더포함하여이루어지는것을특징으로 하는폴리싱장치.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 복수의 폴리싱헤드 각각은 상기 폴리싱테잎을 폴리싱될 기판의 일부분에 대해 가압하기 위한 탄성부재를 구비하고,상기 복수의 폴리싱헤드의 상기 탄성부재들은 상이한탄성가지는것을특징으로 하는폴리싱장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
폴리싱장치에서 제1가이드부와 제2가이드부의 가이드면이 폴리싱테잎의 공급방향에 수직인 단면에서 가질 수 있는 형상 및 곡률의 관계는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation폴리싱장치의 제1가이드부와 제2가이드부의 가이드면이 공급방향에 수직인 단면에서 가지는 형상 및 곡률의 관계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 제1가이드부와 제2가이드부의 가이드면이 공급방향에 수직인 단면에서 상이한 곡률을 가진다는 내용을 추출한다.
- 상기 제1가이드부의 상기 가이드면 및 상기 제2가이드부의 상기 가이드면은 상기 폴리싱테잎의 공급방향에 수직인 단면에서 상이한곡률가지는것을특징으로 하는폴리싱장치
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '공급방향에 수직인 단면'에서의 '곡률 관계'를 직접적으로 명시한 청구항 3의 구절을 선택한다.
- 상기 제1가이드부의 상기 가이드면 및 상기 제2가이드부의 상기 가이드면은 상기 폴리싱테잎의 공급방향에 수직인 단면에서 상이한곡률가지는것
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4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 바탕으로, 두 가이드면의 단면 형상과 곡률이 서로 일치하지 않고 다르게 형성되어 있음을 연결한다.
- 상기 제1가이드부의 상기 가이드면 및 상기 제2가이드부의 상기 가이드면은 상기 폴리싱테잎의 공급방향에 수직인 단면에서 상이한곡률가지는것
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5결론 도출
conclusion_formulation제1가이드부와 제2가이드부의 가이드면은 폴리싱테잎의 공급방향에 수직인 단면에서 서로 상이한 곡률을 가진다.
- 상기 제1가이드부의 상기 가이드면 및 상기 제2가이드부의 상기 가이드면은 상기 폴리싱테잎의 공급방향에 수직인 단면에서 상이한곡률가지는것
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6답변 생성
answer_generation질문에 대하여 두 가이드면이 상이한 곡률을 가진다는 점을 명확히 기술하여 답변을 생성한다.
- 상기 제1가이드부의 상기 가이드면 및 상기 제2가이드부의 상기 가이드면은 상기 폴리싱테잎의 공급방향에 수직인 단면에서 상이한곡률가지는것
최종 답변 (final_answer)
폴리싱장치에서 제1가이드부의 가이드면과 제2가이드부의 가이드면은 폴리싱테잎의 공급방향에 수직인 단면에서 상이한 곡률을 가진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
폴리싱테잎을 안내하는 제1가이드부와 제2가이드부의 가이드면이 공급방향에 수직인 단면상에서 서로 다른 곡률을 갖도록 설계되어 있다.