폴리싱장치 및 폴리싱방법 document_id 1020077012298

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 위치검출장치는 상기 톱링의 위치를 검출하기 위한거리측정센서포함하는것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 폴리싱면을 드레싱하기 위한 드레서; 및상기 폴리싱면의 높이의 변량을 얻기 위해 상기 드레서가 상기 폴리싱면과 접촉하게 될 때, 상기 드레서의 위치를 검출하기 위한 거리측정센서를 더 포함하여 이루어지고,상기 수직이동기구는, 상기 톱링의 위치가 상기 폴리싱면의 높이의 변량을 따르도록 상기 톱링을 이동하도록작동가능한것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 수직이동기구는,상기 톱링을 수직방향으로 이동시키기 위한 볼스크루; 및상기 볼스크루를 작동시키기 위한모터포함하는것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 모터는 ac서보모터포함하여이루어지는것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 6] 제4항에 있어서,상기 모터는, 상기 톱링의 하부면 또는 상기 톱링에 의해 유지되는 상기 기판의 하부면이 상기 폴리싱면과 접촉하게 될 때의 상기 모터의 토크보다 폴리싱 시의 상기 모터의 토크가 크도록최대 전류가지는것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 최대 전류는, 상기 톱링의 하부면 또는 상기 톱링에 의해 유지되는 상기 기판의 하부면이 상기 폴리싱면과 접촉하게 되기전감소되는것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 8] 제4항에 있어서,상기 위치검출장치는, 상기 모터의 전류를 검출하여, 상기 모터의 전류의 변량을 토대로, 상기 톱링의 하부면 또는 상기 톱링에 의해 유지되는 상기 기판의 하부면이 상기 폴리싱면과 접촉하게 될 때를 결정하도록 작동가능한전류검출장치포함하는것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 톱링의 위치가 상기 위치검출장치에 의해 검출될 때, 상기 기판으로서 더미 웨이퍼가 상기 톱링에 의해유지되는것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 리테이너링은,상기 롤링다이어프램을 내부에 하우징하는 실린더,상기 실린더 상에 상기 롤링다이어프램을 유지하도록 구성된 홀더, 및상기 실린더 내에서 수직방향으로 이동가능한 피스톤을 더 포함하되, 상기 피스톤은상기롤링다이어프램연결되는것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 톱링은,상기 하부부재 상에 상기 탄성멤브레인을 유지하도록 구성된 홀더를 포함하되, 상기 홀더는 후크를 구비하며,상기 홀더의 상기 후크와 맞물리도록 맞댐부(engagement portion)를 구비한스토퍼더포함하는것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 스토퍼는 원통형이고,상기 맞댐부는 상기 스토퍼의 원주방향으로부분적형성되는것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 맞댐부는 상기 스토퍼의 원주방향을 따라점진적지는것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 17] 제13항에 있어서,상기 톱링은,상기 기판의 주변부를 잡아주기 위한 리테이너링, 및상기 리테이너링과 상기 상부부재 및 상기 하부부재 중 하나 이상 사이에 폴리싱액이 도입되는 것을 방지하도록 구성된밀봉부재더포함하는것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 19] 제18항에 있어서,상기 산술유닛은, 한 폴리싱 공정 또는 복수 세트의 폴리싱공정에 대한 마모 정도를 소정의 임계값과 비교한 결과를 토대로, 폴리싱의 이상유무를 검출하도록작동가능한것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 20] 제18항에 있어서,상기 산술유닛은, 상기 1이상의 구성요소의 전체 마모 정도가 소정값에 도달하였는 지의 여부를 판정하도록작동가능한것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 21] 제18항에 있어서,상기 마모검출장치는, 상기 리테이너링의 마모를 검출하기 위한리테이너링마모검출장치포함하는것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 22] 제21항에 있어서,상기 기판을 상기 톱링바디와 주고 받도록 작동가능한 푸셔를 더 포함하여 이루어지고, 상기 리테이너링마모검출장치는 상기 푸셔내제공되는것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 23] 제22항에 있어서,상기 리테이너링의 하부면과 접촉하게 되는 리테이너링가이드, 및상기 톱링바디의 하부면 상에 상기 기판을 푸시하도록 작동가능한 푸시스테이지를 포함하고,상기 리테이너링마모검출장치는 상기 리테이너링가이드와 상기 푸시스테이지간의 거리를 측정하도록작동가능한것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 24] 제21항에 있어서,상기 기판이 상기 톱링바디에 의해 가압되는 가압력이 상기 리테이너링의 마모 정도에 따라변하는것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 25] 제18항에 있어서,상기 마모검출장치는, 상기 폴리싱패드의 마모를 검출하기 위한폴리싱패드마모검출장치포함하는것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 26] 제25항에 있어서,상기 폴리싱패드마모검출장치는, 상기 드레서가 상기 폴리싱면과 접촉하게 될 때의 상기 드레서의 위치를 측정하도록작동가능한것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 27] 제18항에 있어서,상기 드레서의 마모를 검출하기 위한드레서마모검출장치더포함하여이루어지는것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 28] 제27항에 있어서,상기 드레서마모검출장치는, 상기 드레서가 상기 폴리싱면과 접촉하게 될 때의 상기 드레서의 위치를 측정하도록 작동가능하며,상기 산술유닛은, 상기 드레서마모검출장치로부터의 신호를 토대로 단위시간당 상기 드레서에 의해 제거되는 상기 폴리싱패드의 양인 컷레이트(cut rate)를 연산하고, 상기 연산된 컷레이트를 토대로 상기 드레서의 마모 정도를 연산하도록작동가능한것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 29] 제28항에 있어서,드레싱 시간, 상기 드레서의 회전속도, 및 상기 폴리싱패드에 대해 상기 드레서를 가압하는 가압력 중 하나 이상이 상기 드레서의 마모 정도에 따라변경되는것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 30] 제18항에 있어서,상기 리테이너링은,압력챔버가 내부에 형성된 롤링다이어프램,상기 롤링다이어프램을 수직방향으로 팽창 또는 수축하도록 상기 압력챔버에 유체를 공급하기 위한 통로, 및상기 롤링다이어프램에 따라 수직방향으로 이동가능한 링부재를 포함하되, 상기 링부재는상기폴리싱면접촉하게되는것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 35] 제34항에 있어서,상기 리테이너링의 하부면과 접촉하게 되는 리테이너링가이드, 및상기 톱링바디의 하부면 상에 상기 기판을 푸시하도록 작동가능한 푸시스테이지를 포함하고,상기 리테이너링마모검출장치는 상기 리테이너링가이드와 상기 푸시스테이지간의 거리를 측정하도록작동가능한것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 37] 제36항에 있어서,상기 압력제어기구는,상기 폴리싱면과 접촉하게 되는 링부재;상기 폴리싱면에 대해 상기 링부재를 가압하도록 구성된 복수의 압력챔버; 및압력이 독립적으로 제어된 유체를 상기 복수의 압력챔버에 공급하기 위한복수의통로포함하는것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 38] 제36항에 있어서,상기 압력제어기구는,상기 폴리싱면과 접촉하게 되는 하부면과 테이퍼진 상부면을 구비한 하부링부재; 및상기 하부링부재에 가해지는 방사력을 하향력으로 변환하기 위해, 상기 하부링부재의 테이퍼진 상부면과 접촉하게 되는 테이퍼진 하부면을 구비한상부링부재포함하는것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 39] 제36항에 있어서,상기 압력제어기구는,상기 폴리싱면과 접촉하게 되는 하부면 및 테이퍼진 상부면을 구비한 하부링부재;상기 하부링부재에 가해지는 방사력을 하향력으로 변환하기 위해, 상기 하부링부재의 테이퍼진 상부면과 접촉하게 되는 테이퍼진 하부면을 구비한 상부링부재;상기 상부링부재를 상기 폴리싱면을 향해 가압하도록 구성된 1이상의 압력챔버;압력이 제어된 유체를 상기 1이상의 압력챔버에 공급하기 위한 1이상의 통로; 및상기 상부링부재의 수직운동을 제한하기 위하여, 상기 상부링부재와 접촉하게 되는제한부재포함하는것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 40] 제36항에 있어서,상기 압력제어기구는, 정적시스템에서 균일하지 않은 일정한 압력 분포를 만들기 위하여, 상기 리테이너링이 상기 톱링바디의 회전에 따라 상기 폴리싱면을 가압하는 압력을 제어하도록작동가능한것을특징으로 하는폴리싱장치. [청구항 41] 제40항에 있어서,상기 압력제어기구는, 상기 폴리싱면의 회전방향으로 하류에 위치한 부분이 상기 폴리싱면의 회전방향으로 상류에 위치한 부분보다 높은 압력 하에 가압되도록, 상기 리테이너링이 상기 폴리싱면을 가압하는 압력을 제어하도록작동가능한것을특징으로 하는폴리싱장치.