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기판 유지 기구 및 플라즈마 처리 장치 document_id 1020080004033

출원번호
1020080004033
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 기판 위치 어긋남 검출 구멍은, 상기 프레임부의 4개의 각부(角部형성되는것을특징으로 하는기판 유지 기구. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 오목부의 하면에는, 이 오목부가 형성되어 있는 영역 내에서 상기 기판을 유지하는다수의볼록부가마련되어있는것을특징으로 하는기판 유지 기구. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 위치 어긋남 허용량은, 상기 탑재대에 피처리 기판을 유지했을 때에 상기 탑재대의 기판 유지면이 노출되지 않는범위설정하는것을특징으로 하는기판 유지 기구. [청구항 6] 제 4 항에 있어서,상기 탑재대는, 서셉터와, 상기 서셉터 상에 마련되고, 상기 기판 유지면에서 상기 피처리 기판을 유지하는 기판 유지부와, 상기 서셉터 및 상기 기판 유지부의 주위를 둘러싸도록 배치되는 외부 프레임부를 구비하고,상기 위치 어긋남 검출용 돌기는상기외부프레임부의상부형성되는것을특징으로 하는기판 유지 기구. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기 기판 유지면의 사이즈는, 상기 피처리 기판의 사이즈보다 치수 2a만큼 작은 것으로 하고, 상기 위치 어긋남 허용량을 치수 b라고 하면, 각 치수 a, b의관계인것을특징으로 하는기판 유지 기구. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 외부 프레임부의 상부의 높이를 h1로 하고, 상기 위치 어긋남 검출용 돌기의 상부의 높이를 h2로 하고, 상기 기판 유지면의 높이를 h라고 하면, 상기 각 높이 h1, h, h2의관계인것을특징으로 하는기판 유지 기구. [청구항 9] 제 6 항에 있어서,상기 위치 어긋남 검출용 돌기는 상기 피처리 기판의 가장자리를 따라프레임형상형성되는것을특징으로 하는기판 유지 기구. [청구항 10] 제 6 항에 있어서,상기 위치 어긋남 검출용 돌기는 장기말(駒) 형상으로 형성하고,상기 장기말 형상의 위치 어긋남 검출용 돌기를 상기 피처리 기판의 가장자리를 따라복수마련한것을특징으로 하는기판 유지 기구. [청구항 11] 제 4 항에 있어서,상기 위치 어긋남 검출용 돌기는 착탈 가능하게마련한것을특징으로 하는기판 유지 기구. [청구항 12] 제 6 항에 있어서,상기 기판 유지부는, 하부 유전체층과 상부 유전체층 사이에 전극판을 유지하여 구성하고, 상기 전극판에 소정의 전압을 인가함으로써 발생하는 정전 흡착력에 의해 상기 기판 유지면에상기피처리 기판을흡착유지하는것을특징으로 하는기판 유지 기구.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판 유지 기구에서 위치 어긋남 허용량이 설정되는 기준은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    기판 유지 기구에서 위치 어긋남 허용량이 설정되는 기준이 무엇인지 청구항 문맥을 통해 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 5에서 위치 어긋남 허용량에 관한 정의를 확인한다.

    • 상기 위치 어긋남 허용량은, 상기 탑재대에 피처리 기판을 유지했을 때에 상기 탑재대의 기판 유지면이 노출되지 않는범위설정하는것을특징으로 하는기판 유지 기구.
  3. 3근거 선택evidence_selection

    위치 어긋남 허용량의 설정 기준을 직접적으로 명시한 청구항 5의 구절을 선택한다.

    • 상기 위치 어긋남 허용량은, 상기 탑재대에 피처리 기판을 유지했을 때에 상기 탑재대의 기판 유지면이 노출되지 않는범위설정하는것
  4. 4논리 통합logical_integration

    탑재대에 기판을 유지할 때 기판 유지면이 외부로 노출되지 않도록 하는 범위가 곧 허용량의 기준임을 도출한다.

    • 상기 위치 어긋남 허용량은, 상기 탑재대에 피처리 기판을 유지했을 때에 상기 탑재대의 기판 유지면이 노출되지 않는범위설정하는것
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    질문에 대한 답변으로, 기판 유지면이 노출되지 않는 범위를 기준으로 설정됨을 정리한다.

    • 상기 위치 어긋남 허용량은, 상기 탑재대에 피처리 기판을 유지했을 때에 상기 탑재대의 기판 유지면이 노출되지 않는범위설정하는것
  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.

    • 상기 탑재대에 피처리 기판을 유지했을 때에 상기 탑재대의 기판 유지면이 노출되지 않는범위설정하는것
최종 답변 (final_answer)
상기 탑재대에 피처리 기판을 유지했을 때에 상기 탑재대의 기판 유지면이 노출되지 않는범위설정하는것
핵심 해석 (core_interpretation)
기판 유지 기구에서 위치 어긋남 허용량은 피처리 기판이 탑재대에 놓였을 때 기판 유지면이 외부로 노출되지 않도록 하는 범위를 기준으로 설정된다.