기판 유지 장치 document_id 1020080006629

[청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 복수의 접촉 부재는 기설정된 간격으로 떨어져있는것을특징으로 하는기판 유지 장치. [청구항 3] 제 1항에 있어서,상기 유체원은 온도가 제어된유체를상기제1압력챔버및상기제2압력챔버안각각공급하는것을특징으로 하는기판 유지 장치. [청구항 4] 제 1항에 있어서,상기 접촉 부재의 상기 탄성 멤브레인의 하부면 내에 연통부가 형성되되, 상기 연통부는 상기 제1압력챔버로 공급되는상기유체를상기기판의접촉면접촉하도록하는것을특징으로 하는기판 유지 장치. [청구항 5] 제 1항에 있어서,상기 접촉 부재는 상기 탄성 멤브레인을 분리가능하게 유지시키는유지 부재포함하는것을특징으로 하는기판 유지 장치. [청구항 6] 제 5항에 있어서,상기 접촉 부재의 상기 유지 부재는 상기 지지 부재 상에 분리가능하게장착되는것을특징으로 하는기판 유지 장치. [청구항 7] 제 1항에 있어서,상기 접촉 부재의 상기 탄성 멤브레인의 원주 에지로부터 반경 방향으로 돌출하는 돌출부가 상기 탄성 멤브레인의 하부면상제공되는것을특징으로 하는기판 유지 장치. [청구항 8] 제 1항에 있어서,상기 접촉 부재는 상기 기판의 중앙부에 대응하는 위치에 배치된 중앙 접촉 부재와, 상기 중앙 접촉 부재의 외측에 배치된외측접촉부재포함하는것을특징으로 하는기판 유지 장치. [청구항 9] 제 8항에 있어서,상기 외측 접촉 부재는 상기 기판의 외측 주위부에 대응하는위치장착되는것을특징으로 하는기판 유지 장치. [청구항 10] 제 9항에 있어서,상기 기판의 주위 부분을 유지시키기 위하여 상기 톱 링 본체에 고정되거나 상기 톱 링 본체와 일체형으로 성형되는리테이너링더포함하는것을특징으로 하는기판 유지 장치. [청구항 11] 제 10항에 있어서,상기 톱 링 본체는 상기 탄성 패드의 외주면과 상기 리테이너 링 사이에 형성된 갭 안으로 세정액을 공급하는 세정액 통로를 포함하되, 상기 세정액 통로는상기톱링본체형성되는것을특징으로 하는기판 유지 장치. [청구항 12] 제 10항에 있어서,상기 리테이너 링은, 상기 리테이너 링과 상기 톱 링 본체 사이에 탄성 부재를 개재하지 않고,상기톱링본체고정되는것을특징으로 하는기판 유지 장치. [청구항 13] 제 1항에 있어서,상기 접촉 부재의 상기 탄성 멤브레인은 부분적으로 상이한두께가지는것을특징으로 하는기판 유지 장치. [청구항 14] 제 1항에 있어서,상기 접촉 부재의 상기 탄성 멤브레인은 부분적으로비탄성부재포함하는것을특징으로 하는기판 유지 장치. [청구항 15] 제 1항에 있어서,상기 지지 부재는절연물질지는것을특징으로 하는기판 유지 장치. [청구항 16] 제 1항에 있어서,기판의 폴리싱시, 상기 탄성 패드의 하부면보다 위에 배치되어, 상기 기판이 끌어당겨지는 경우, 상기 탄성 패드의 상기 하부면과 동일한 면이 되도록 배치되는흡입부더포함하는것을특징으로 하는기판 유지 장치.