문맥 (context)
[청구항 1]
처리 용기내에 설치되고, 측쪽 측의 개구부로부터 거의 수평에 반입된 기판을 가열 처리하기 위한 가열실과,
상기 가열실내에, 기판과 대향하도록 설치된 가열 처리용의 열판과, 열판을 가열하기 위한 가열 수단과,
상기 열판을 냉각하기 위한 냉각 수단과,
상기 처리 용기내에 설치되어 상기 가열실의 개구부와 인접하는 대기 위치와 상기 열판에 대향하는 가열 처리 위치의 사이에 기판을 반송하는 반송 수단과,
기판의 가열 처리를 끝낸 후 다음의 기판이 상기 가열실내에 반입되기 전에 열판을 강온 시키도록 상기 냉각 수단을 제어하고 다음의 기판을 상기 가열실내에 반입한 후, 가열 처리 온도 그리고 열판을 승온하도록 상기 가열 수단을 제어하는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 가열 처리 장치
[청구항 2]
청구항 1에 있어서,상기 제어 수단은 기판이 상기 가열실내에 반입된 후, 상기 열판을 가열 처리 온도보다 높은 온도까지 승온하고 그 다음에 가열 처리 온도에 유지하도록상기가열수단제어하는것을특징으로 하는가열 처리 장치.
[청구항 3]
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 열판은 카본제인것을특징으로 하는가열 처리 장치.
[청구항 4]
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 기판은 상기 반송 장치에 의해 상기 가열실내에 반입된 높이 위치인 채가열처리되는것을특징으로 하는가열 처리 장치.
[청구항 5]
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 반송 수단nan은복수라인와이어인것을특징으로 하는가열 처리 장치.
[청구항 9]
처리 용기내에 설치되고 측쪽 측으로부터 기판을 반입출하기 위한 개구부와 기판을 아래쪽 측으로부터 가열하도록 설치된 열판을 가지는 가열실을 구비한 가열 장치에 이용되는 컴퓨터 프로그램을 격납한 기억 매체이며,
상기 컴퓨터 프로그램은, 청구항 6 또는 청구항 7에 기재된 가열 방법을 실시하도록 스텝군이 짜여지고 있는 것을 특징으로 하는 기억 매체
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
가열 처리 장치에서 제어 수단이 다음 기판을 반입하기 전과 반입한 후 각각 수행하는 열판의 온도 제어 동작은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation가열 처리 장치에서 제어 수단이 기판 반입 전과 후 각각 수행하는 열판의 온도 제어 동작을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 기판 반입 전의 동작과 반입 후의 동작에 관한 제어 수단의 설명을 추출한다.
- 기판의 가열 처리를 끝낸 후 다음의 기판이 상기 가열실내에 반입되기 전에 열판을 강온 시키도록 상기 냉각 수단을 제어하고 다음의 기판을 상기 가열실내에 반입한 후, 가열 처리 온도 그리고 열판을 승온하도록 상기 가열 수단을 제어하는 제어 수단
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3근거 선택
evidence_selection질문에 직접적으로 대응하는 '반입 전 강온 동작'과 '반입 후 승온 동작' 구절을 선택한다.
- 다음의 기판이 상기 가열실내에 반입되기 전에 열판을 강온 시키도록 상기 냉각 수단을 제어하고 다음의 기판을 상기 가열실내에 반입한 후, 가열 처리 온도 그리고 열판을 승온하도록 상기 가열 수단을 제어
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4논리 통합
logical_integration반입 전에는 냉각 수단을 제어하여 열판을 강온시키고, 반입 후에는 가열 수단을 제어하여 열판을 승온시킨다는 논리적 관계를 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation기판 반입 전에는 열판을 강온시키고, 기판 반입 후에는 열판을 승온시키는 동작을 수행함을 결론짓는다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대하여 반입 전과 후의 동작을 명확히 구분하여 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
제어 수단은 다음 기판을 반입하기 전에 냉각 수단을 제어하여 열판을 강온시키고, 다음 기판을 반입한 후에는 가열 수단을 제어하여 열판을 승온시킨다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 기판의 교체 주기(반입 전/후)에 맞춰 냉각 수단과 가열 수단을 순차적으로 제어함으로써 열판의 온도를 강온 및 승온시키는 가열 처리 장치의 제어 프로세스를 특징으로 한다.