기판 처리 장치 및 기판 처리 시스템 document_id 1020080012249

[청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 복수의 안착 구동부는 각기 해당하는 상기 복수의 기판 안착부승강 시키는기판 처리 장치. [청구항 3] 청구항 2에 있어서,상기 안착 구동부 각각은 해당 기판 안착부에 접속된 안착 구동축과, 상기 안착 구동축을 회전 및 승강 시키거나 회전시키는동력부를포함하는기판 처리 장치. [청구항 4] 청구항 1에 있어서,상기 복수의 안착 구동부를 수납 고정하는 수납 부재와, 상기 복수의 기판 안착부에 각기 거치되고 기판을 지지하는복수리프트 핀부를더 포함하는기판 처리 장치. [청구항 5] 청구항 4에 있어서,구동부는 상기 수납 부재의 중심 영역에 접속 결합된 메인 구동축과 상기 메인 구동축을 회전 및 승강시키는 메인동력부를포함하는기판 처리 장치. [청구항 6] 청구항 4에 있어서,상기 기판 안착부 각각은 판 형태의 안착 몸체부와, 상기 안착 몸체부를 가열하는 가열 수단과, 상기 안착 몸체부에 마련된 복수의 핀홈을 구비하고, 상기 복수의 리프트 핀부 각각은 상기 복수의 핀홈에 거치되는 복수의 리프트 핀구비하는기판 처리 장치. [청구항 7] 청구항 4에 있어서,상기 복수의 기판 안착부 하측 영역에 위치하여 상기 복수의 리프트핀부를 지지하는 리프트 판을 더 포함하고, 상기 수납 부재는 상기 리프트 판에 착탈 되어 상기 리프트 판을 승강 및 회전시키는 판 회전부포함하는기판 처리 장치. [청구항 8] 청구항 1에 있어서,상기 복수의 기판 안착부에 각기 대응배치되고 기판을 지지하는 복수의 리프트 핀부; 및상기 복수의 리프트핀부를 지지 고정시키는 리프트 판더 포함하는기판 처리 장치. [청구항 9] 청구항 8에 있어서,상기 기판 안착부 각각은 판 형태의 안착 몸체부와, 상기 안착 몸체부를 가열하는 가열 수단과, 상기 안착 몸체부에 마련된 복수의 핀홈을 구비하고, 상기 복수의 리프트핀부 각각은 상기 복수의 핀홈을 관통하는 복수의 리프트 핀구비하는기판 처리 장치. [청구항 10] 청구항 8에 있어서,상기 복수의 안착 구동부를 수납 고정하는 수납 부재를 더 구비하고, 상기 메인 구동부는 상기 리프트 판의 중심과 상기 수납 부재의 중심 영역에 접속 결합된 메인 구동축과 상기 메인 구동축을 승강 및 회전시키는 메인동력부를포함하는기판 처리 장치. [청구항 11] 청구항 7 또는 청구항 8에 있어서,상기 리프트 판은 상기 챔버의 측벽면에서 내측으로 돌출된 돌기부고정되는기판 처리 장치. [청구항 12] 청구항 1에 있어서,구동부는 메인 구동축과 상기 메인 구동축을 회전 및 승강시키는 메인 동력부를 포함하고, 상기 메인 구동축과 상기 복수의 안착 구동부를 연결 고정시키는 복수의 연결부더 포함하는기판 처리 장치. [청구항 13] 청구항 1에 있어서,상기 챔버는 복수의 기판 출입구구비하는기판 처리 장치. [청구항 14] 청구항 1에 있어서,상기 기판 안착부에 안착된 기판에 공정 가스를 제공하는 가스 공급부더 구비하는기판 처리 장치. [청구항 16] 청구항 15에 있어서,상기 기판 처리 장치는 상기 복수의 기판 안착부에 각기 거치되고 기판을 지지하는 복수의 리프트 핀부와, 상기 복수의 기판 안착부 하측 영역에 위치하여 상기 복수의 리프트 핀부를 지지하는 리프트 판과, 상기 복수의 안착 구동부를 수납 고정하고, 상기 리프트 판부를 회전 및 승강시키는 수납 부재를 더 구비하고, 상기 메인 구동부는 상기 수납 부재의 중심 영역에 접속 결합된 메인 구동축과 상기 메인 구동축을 회전 및 승강시키는 메인동력부를포함하는기판 처리 시스템. [청구항 17] 청구항 15에 있어서,상기 기판 처리 장치는 상기 복수의 기판 안착부에 각기 대응배치되고 기판을 지지하는 복수의 리프트 핀부와, 상기 복수의 리프트핀부를 지지 고정시키는 리프트 판과, 상기 복수의 안착 구동부를 수납 고정하는 수납 부재를 더 구비하고, 상기 메인 구동부는 상기 리프트 판의 중심과 상기 수납 부재의 중심 영역에 접속 결합된 메인 구동축과, 상기 메인 구동축을 회전시키는 메인동력부를포함하는기판 처리 시스템. [청구항 18] 청구항 15 내지 청구항 17 중 어느 한 항에 있어서,상기 이송 장치에 부착된 로드락 챔버더 포함하는기판 처리 시스템. [청구항 19] 청구항 15 내지 청구항 17 중 어느 한 항에 있어서,상기 이송 장치는 복수의 기판을 이송하는 이송부구비하는기판 처리 시스템.