기판처리장치 document_id 1020080012449

[청구항 2] 제1항에 있어서,로봇은 기판을 지지함과 동시에 수평방향으로 전후진 가능하게 설치된 제1 지지부를 갖고,상기 제1 지지부는 상기 기판재치부와의 기판 주고받기시에 상기 기판재치부에 대하여 제1 축방향에 평행한 제1 전후진방향으로 전후진하고, 상기 처리부에 대한 기판의 반입 및 반출시에 상기 제1 축방향과 직교하는 제2 축방향에 평행한 제2 전후진방향으로 전후진하는기판처리장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 처리부는,상기 제2 축방향과 평행한 방향에서 상기 메인로봇의 일방측(一方側)으로 나란하게 배치되는 제1 처리부와,상기 제2 축방향과 평행한 방향에서 상기 메인로봇의 타방측(他方側)으로 나란하게 배치되는 제2 처리부포함하는기판처리장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 제1 처리부 및 제2 처리부 중 적어도 한쪽은 기판의 이면을 세정하는 이면세정처리부포함하는기판처리장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 제1 처리부 및 제2 처리부는 상기 이면세정처리부포함하는기판처리장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 제1 처리부의 상기이면세정처리부는, 복수 단으로 배치된 복수의 이면세정유닛을 포함하고, 상기 제2 처리부의 상기 이면세정처리부는 복수 단으로 배치된 복수의 이면세정유닛포함하는기판처리장치. [청구항 7] 제4항에 있어서,상기 제1 처리부는 상기 이면세정처리부를 포함하고, 상기 제2 처리부는 기판의 표면을 세정하는 표면세정처리부포함하는기판처리장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 제1 처리부의 상기이면세정처리부는 복수 단으로 배치된 복수의 이면세정유닛을 포함하고, 상기 제2 처리부의 상기 표면세정처리부는 복수 단으로 배치된 복수의 표면세정유닛포함하는기판처리장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기인덱서블록은,기판을 수납하는 수납용기가 재치되는 용기재치부와,연직방향의 축 둘레로 회전함과 동시에 상기 용기재치부에 재치된 수납용기와 상기 수수영역 사이에서 기판을 반송하는 인덱서로봇을 포함하고,상기 인덱서로봇은, 기판을 지지함과 동시에 수평방향으로 전후진 가능하게 설치된 제2 지지부를 갖고, 상기 제2 축방향에 평행으로이동가능하게설치되는기판처리장치. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 반전유닛은 상기 기판재치부의 직상(直上) 또는 직하(直下)에 적층되도록 배치되고,상기 메인로봇은, 승강 동작함으로써 상기 반전유닛과 상기 기판재치부 사이에서 기판반송하는기판처리장치. [청구항 11] 제1항에 있어서,상기 반전유닛은,기판을 제3 축에 수직인 상태로 파지하는 제1 파지기구와,기판을 상기 제3 축에 수직인 상태로 파지하는 제2 파지기구와,상기 제1 파지기구 및 제2 파지기구를 상기 제3 축의 방향과 겹쳐지도록 지지하는 지지부재와,상기 지지부재를 상기 제1 파지기구 및 제2 파지기구와 함께 상기 제3 축에 수직인 제4 축 둘레로 일체적으로 회전하게 하는 회전장치포함하는기판처리장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 제1 파지기구 및 제2 파지기구는 상기 제3 축에 수직인 일면 및 타면(他面)을 갖는 공통의 반전파지부재를 포함하고,상기 제1 파지기구는,상기 공통의 반전파지부재의 상기 일면에 설치되어 기판의 외주부를 지지하는 복수의 제3 지지부와,상기 공통의 반전파지부재의 상기 일면에 대향하도록 설치된 제1 반전파지부재와,상기 공통의 반전파지부재에 대향하는 상기 제1 반전파지부재의 면에 설치되어 기판의 외주부를 지지하는 복수의 제4 지지부와,상기 제1 반전파지부재와 상기 공통의 반전파지부재가 상기 제3 축의 방향에서 서로 이격된 상태와 상기 제1 반전파지부재와 상기 공통의 반전파지부재가 서로 근접한 상태로 선택적으로 이행하도록 상기 제1 반전파지부재 및 상기 공통의 반전파지부재 중 적어도 한쪽을 이동하게 하는 제1 구동기구를 포함하며,상기 제2 파지기구는,상기 공통의 반전파지부재의 상기 타면으로 설치되어 기판의 외주부를 지지하는 복수의 제5 지지부와,상기 공통의 반전파지부재의 상기 타면으로 대향하도록 설치된 제2 반전파지부재와,상기 공통의 반전파지부재에 대향하는 상기 제2 반전파지부재의 면에 설치되어 기판의 외주부를 지지하는 복수의 제6 지지부와,상기 제2 반전파지부재와 상기 공통의 반전파지부재가 상기 제3 축의 방향에서 서로 이격된 상태와 상기 제2 반전파지부재와 상기 공통의 반전파지부재가 서로 근접한 상태로 선택적으로 이행하도록 상기 제2 반전파지부재 및 상기 공통의 반전파지부재 중 적어도 한쪽을 이동하게 하는 제2 구동기구포함하는기판처리장치.