도포 장치 document_id 1020080017362

[청구항 1] 기판에 유동성 재료를 도포하는 도포 장치로서, 기판을 유지하는 기판 유지부와, 상기 기판의 주면을 향해 유동성 재료를 연속적으로 토출하는 복수의 노즐과, 상기 복수의 노즐을 상기 기판의 상기 주면에 평행한 주주사 방향으로 상기 기판에 대하여 상대적으로 이동함과 더불어, 상기 주주사 방향으로의 이동이 행해질 때마다 상기 기판을 상기 복수의 노즐에 대하여 상기 주면에 평행 또한 상기 주주사 방향에 수직인 부주사 방향으로 상대적으로 이동하는 노즐 주사 기구와, 상기 기판에의 비도포시에 상기 복수의 노즐로부터의 유동성 재료가 시험 도포되는 시험 도포면을 갖는 시험 도포부와, 상기 시험 도포부를 상기 복수의 노즐의 상기 주주사 방향에 있어서의 상대 이동의 경로에 대하여 진퇴시킴으로써, 시험 도포시에 상기 복수의 노즐과 상기 시험 도포면 사이의 거리를, 도포시의 상기 복수의 노즐과 상기 기판의 상기 주면 사이의 거리와 동일하게 하는 시험 도포부 진퇴 기구와, 상기 복수의 노즐의 상기 주주사 방향으로의 상대 이동에 의해 상기 시험 도포면에 도포된 유동성 재료의 패턴의 화상을 취득하는 촬상부와, 상기 촬상부에 의해 취득된 화상에 의거하여 상기 복수의 노즐의 상기 부주사 방향에 있어서의 피치를 검출하는 피치 검출부와, 상기 복수의 노즐의 상기 부주사 방향에 있어서의 피치를 조정하는 피치 조정 기구와, 상기 시험 도포부의 상기 시험 도포면을 새로운 시험 도포면과 교환하는 시험 도포면 교환기구를 구비한 것을 특징으로 하는 도포 장치 [청구항 2] 청구항 1에 있어서,시험 도포시에, 상기 시험 도포면이 상기 복수의 노즐의 상기 주주사 방향에 있어서의 상대 이동의 경로의 일부배치되는,도포 장치. [청구항 3] 청구항 1에 있어서,상기 기판 유지부를 상기 기판의 상기 주면에 수직인 회전축을 중심으로 회전하는 기판 회전 기구와, 상기 주주사 방향에 있어서 상기 시험 도포면으로부터 이격하여 설치되는 또 하나의 시험 도포면에 도포된 유동성 재료의 패턴의 화상을 취득하는 또 하나의 촬상부와,상기 촬상부 및 상기 또 하나의 촬상부에 의해 취득된 유동성 재료의 패턴의 화상, 및, 상기 촬상부 및 상기 또 하나의 촬상부에 의해 취득된 상기 기판의 상기 주면 상의 위치 결정용 표지의 화상에 의거하여 상기 노즐 주사 기구 및 상기 기판 회전 기구를 제어함으로써 상기 기판의 상기 복수의 노즐에 대한 상대 위치를 조정하는 기판 위치 조정부더 구비하는,도포 장치. [청구항 4] 청구항 3에 있어서,또 하나의 시험 도포면을, 상기 시험 도포면과는 개별적으로 새로운 시험 도포면과 교환하는 또 하나의 시험 도포면 교환기구더 구비하는,도포 장치. [청구항 5] 청구항 1에 있어서,검출부에 의해, 상기 부주사 방향에 관해 서로 인접하는 2개의 노즐간의 각 거리가 검출되고,상기 피치 조정 기구에 의해, 상기 복수의 노즐의 모두 또는 1개를 제외한 다른 모두가 상기 부주사 방향으로 개별적으로 이동됨으로써 상기 각 거리조정되는,도포 장치. [청구항 6] 청구항 1 내지 5 중 어느 한 항에 있어서,조정 기구를 구동하는 구동부와, 상기 피치 검출부의 검출 결과에 근거하여 상기 구동부를 제어하는 조정 기구 제어부더 구비하는,도포 장치. [청구항 7] 청구항 1 내지 5 중 어느 한 항에 있어서,상기 시험 도포부가, 수지 테이프의 일부를 유지하는 테이프 유지부이고, 상기 시험 도포면이, 상기 수지 테이프의 상기 일부의 주면이며, 상기 시험 도포면 교환기구가, 상기 수지 테이프를 상기 시험 도포부로 풀어내는 테이프 공급부구비하는,도포 장치. [청구항 8] 청구항 7에 있어서,상기 시험 도포부가, 상기 수지 테이프의 상기 시험 도포면을 상기 기판의 상기 주면에 평행한 유지 평면 상에 고정하는 테이프 고정부구비하는,도포 장치. [청구항 9] 청구항 7에 있어서,조정 기구를 구동하는 구동부와,상기 피치 검출부의 검출 결과에 근거하여 상기 구동부를 제어하는 조정 기구 제어부더 구비하는,도포 장치. [청구항 10] 청구항 1 내지 5 중 어느 한 항에 있어서,상기 시험 도포면이, 유동성 재료에 대한 젖음성이 상기 기판의 상기 주면과 동등한 시험편의 주면이고, 상기 시험 도포부가, 상기 시험편유지하는시험편 유지부인, 도포 장치. [청구항 11] 청구항 10에 있어서,상기 시험 도포부가, 상기 시험편의 상기 시험 도포면에 접촉하여 상기 시험 도포면에 수직인 방향에 있어서의 상기 시험 도포면의 위치를 결정하는 시험 도포면 접촉부를 구비하고, 상기 시험 도포면 교환기구가, 상기 시험편의 상기 시험 도포면과는 반대측에 있어서 복수의 대기 시험편을 유지함과 더불어 상기 시험편을 상기 복수의 대기 시험편을 통해 상기 시험 도포면 접촉부를 향해 가압하는 시험편 수용부와, 상기 시험 도포부로부터 상기 시험편을 취출하는 시험편 취출부구비하는,도포 장치. [청구항 12] 청구항 10에 있어서,조정 기구를 구동하는 구동부와,상기 피치 검출부의 검출 결과에 의거하여 상기 구동부를 제어하는 조정 기구 제어부더 구비하는,도포 장치.