기판처리장치 document_id 1020080018770

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 반출입기구는,복수 매의 기판을 일괄하여 파지하는 복수 매 파지핸드와,이 복수 매 파지핸드를 상기 수용기파지부에 파지된 수용기에 대하여, 수평방향을 따른 진퇴방향을 따라 진퇴시키는 핸드진퇴기구와,상기 복수 매 파지핸드를 상기 진퇴방향을 따른 연직면을 따라 적어도 90° 선회시키는 핸드선회기구포함한기판처리장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 복수매 파지핸드는, 각각 1매의 기판을 파지하는 복수의 핸드요소를 갖추고 있으며, 각 핸드요소는, 핸드요소 정렬방향의 일방측에 제1기판파지부를 가지고, 핸드요소 정렬방향의 타방측에 제2기판파지부를 가지고 있으며,상기 반출입기구는, 상기 핸드요소를 표리반전(表裏反轉)하도록, 상기 복수 매 파지핸드를 회전시키는 핸드회전기구더 포함한기판처리장치. [청구항 4] 제2항에 있어서,상기 반출입기구는,수직자세의 복수 매의 기판을 하부로부터 지지하는 지지가이드더 포함한기판처리장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 지지가이드는, 각 핸드요소에 대하여 한 쌍의 기판파지홈을 가지고 있으며,상기 반출입기구는, 상기 지지가이드를 구동함으로써, 상기 한 쌍의 기판파지홈의 어느 한 쪽을 기판의 파지를 위해서 선택하는 가이드구동기구더 포함한기판처리장치. [청구항 6] 제2항에 있어서,상기 부반송기구는,수직자세에서 수평방향으로 적층된 상태의 복수 매의 기판을 일괄하여 파지하는 이동재치지지부(移載支持部)를 가지고, 이 이동재치지지부를 상하이동시키고, 이 상하이동에 의하여, 상기 반출입기구 사이에서 수직자세의 복수 매의 기판을 상기 이동재치위치로 일괄하여 주고 받는 이동재치기구와,수직자세의 복수 매의 기판을 수평방향으로 정렬시켜 파지하는 수평반송파지부를 가지고, 상기 이동재치위치에서 상기 이동재치지지부와 상기 수평반송파지부의 사이로 수직자세의 복수 매의 기판을 일괄하여 주고 받고, 상기 기판주고받기위치에서 상기 주반송기구와 상기 수평반송파지부 사이로 수직자세의 복수 매의 기판을 일괄하여 주고 받고, 상기 이동재치위치와 상기 기판주고받기위치 사이로 상기 수평반송파지부를 수평이동하는 수평반송기구포함한기판처리장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 이동재치기구는, 상기 복수 매 파지핸드의 진퇴방향에 관해서 상기 반출입기구의 반대측배치되어 있는기판처리장치. [청구항 8] 제6항에 있어서,상기 이동재치기구는, 상기 이동재치지지부를 수직자세의 기판이 적층된 수평방향을 따라 소정 거리 범위로 이동시키는 지지부 수평이동기구더 포함하는기판처리장치. [청구항 9] 제6항에 있어서,상기 이동재치지지부는, 수직자세에서 수평방향으로 적층된 복수 매의 기판을 양측으로부터 파지하는 한 쌍의 지지가이드축을 포함하고,상기 지지가이드축은, 지지가이드축의 둘레방향의 서로 다른 위치에서, 기판에 접촉하는 접촉부와, 상기 한 쌍의 지지가이드축의 사이를 기판이 통과할 수 있도록 상기 한 쌍의 지지가이드축간에 간격을 확보하는 퇴피부를 가지고 있으며,상기 이동재치기구는, 상기 한 쌍의 지지가이드축을 각 축방향 주위로 회동시키는 가이드회동기구더 포함한기판처리장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 접촉부는, 상기 지지가이드축의 둘레방향의 서로 다른 위치에 배치된 제1접촉부 및 제2접촉부포함한기판처리장치. [청구항 11] 제6항에 있어서,상기 수평반송기구는, 상기 수평반송파지부를 연직축(鉛直軸) 주위로 적어도 90°의 범위에서 회전시키는 수평회전기구더 포함한기판처리장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 수평회전기구가 상기 수평반송파지부를 연직축 주위로 적어도 180°의 범위회전시키는기판처리장치. [청구항 13] 제6항에 있어서,상기 수평반송파지부는 상기 이동재치지지부에서의 기판파지 피치의 반의 피치로 형성된 복수의 기판파지홈가지는기판처리장치. [청구항 14] 제6항에 있어서,상기 수평반송파지부는, 수직자세에서 수평방향으로 적층된 복수 매의 기판을 지지하는 제1가이드와, 수직자세에서 수평방향으로 적층된 복수 매의 기판을 지지하는 제2가이드를 포함하고,상기 수평반송기구는, 상기 제1가이드를 상기 제2가이드에 대하여 상대적으로 승강시키는 가이드승강기구더 포함한기판처리장치. [청구항 15] 제1항에 있어서,상기 주반송기구는, 제1기판주고받기위치 및 제2기판주고받기위치와, 상기 기판처리부 사이에서, 복수 매의 기판을 일괄하여 반송하는 것이며,상기 부반송기구는,복수 매의 기판을 일괄하여 파지하는 이동재치지지부를 가지고, 상기 이동재치위치에서, 상기 이동재치지지부와 상기 반출입기구 사이로 복수 매의 기판을 일괄하여 주고 받는 이동재치기구와,복수 매의 기판을 파지하기 위한 제1반송파지부를 가지고, 상기 이동재치위치에서 상기 이동재치지지부와 상기 제1반송파지부의 사이로 복수 매의 기판을 일괄하여 주고 받고, 상기 제1기판주고받기위치에서 상기 주반송기구와 상기 제1반송파지부 사이로 복수 매의 기판을 일괄하여 주고 받고, 상기 이동재치위치와 상기 제1기판주고받기위치와의 사이로 상기 제1반송파지부를 이동하는 제1기판이동기구와,복수 매의 기판을 파지하기 위한 제2반송파지부를 가지고, 상기 이동재치위치에서 상기 이동재치지지부와 상기 제2반송파지부 사이로 복수 매의 기판을 일괄하여 주고 받고, 상기 제2기판주고받기위치에서 상기 주반송기구와 상기 제2반송파지부와의 사이로 복수 매의 기판을 일괄하여 주고 받아서, 상기 이동재치위치와 상기 제2기판주고받기위치와의 사이로 상기 제2반송파지부를 이동하는 제2기판이동기구포함한기판처리장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 제1기판이동기구는, 상기 기판처리부에 의하여 처리된 후의 기판을, 상기 제1기판주고받기위치에서 상기 주반송기구로부터 받아서, 상기 이동재치위치에서 상기 이동재치기구로 건네고,상기 제2기판이동기구는, 상기 기판처리부에 의하여 처리되기 전의 기판을, 상기 이동재치위치에서 상기 이동재치기구로부터 받아서, 상기 제2기판주고받기위치에서상기주반송기구로건네는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 주반송기구는, 복수 매의 기판을 일괄하여 파지하는 기판척을 포함하고,상기 기판처리장치는, 상기 주반송기구의 기판척을 세정하기 위한 척세정유닛과, 상기 기판처리부에서의 처리후의 기판을 상기 제1기판주고받기위치에 반송한 후에, 상기 제2기판주고받기위치로부터 상기 기판처리부로 기판을 반송하고, 그 후에, 상기 척세정유닛과 상기 기판척이 세정되도록 상기 주반송기구의 동작을 제어하는 반송제어유닛더 포함한기판처리장치. [청구항 18] 제16항에 있어서,상기 제1반송파지부에 파지된 복수 매의 기판 중의 일부인 제1기판군을 상기 이동재치지지부로 건네고, 이 이동재치지지부로부터 상기 제1기판군을 상기 반출입기구로 건네며, 그 후에, 상기 제1반송파지부에 파지된 복수 매의 기판 중의 다른 일부인 제2기판군을 상기 이동재치지지부로 건네고, 이 이동재치지지부로부터 상기 제2기판군을 상기 반출입기구로 건네도록, 상기 반출입기구, 상기 이동재치기구 및 상기 제1기판이동기구를 제어하는 단계와,상기 반출입기구로부터 상기 이동재치지지부로 제3기판군을 건네고, 상기 이동재치지지부로부터 상기 제2반송파지부로 상기 제3기판군을 건네며, 그 후에, 상기 반출입기구로부터 상기 이동재치지지부로 제4기판군을 건네고, 또한 이 제4기판군을 상기 이동재치지지부로부터 상기 제2반송파지부로 건네서 이 제2반송파지부에 상기 제3기판군 및 제4기판군을 파지시키도록, 상기 반출입기구, 상기 이동재치기구 및 상기 제2기판이동기구를 제어하는 단계를 실행하는 이동재치제어유닛더 포함한기판처리장치. [청구항 19] 제15항에 있어서,상기 제2기판주고받기위치에 있어서, 상기 제2반송파지부와 상기 주반송기구 사이에서의 기판의 주고받기를 중개하는 중개기구더 포함한기판처리장치. [청구항 20] 제15항에 있어서,상기 이동재치기구의 이동재치지지부는, 수직자세에서 수평방향으로 적층된 상태의 복수 매의 기판을 일괄하여 파지하고, 상기 이동재치기구는, 상기 이동재치위치에서, 상기 이동재치지지부와 상기 반출입기구 사이로 수직자세의 복수 매의 기판을 일괄하여 주고 받는 것이며,상기 제1반송파지부는, 수직자세의 복수 매의 기판을 수평방향으로 정렬시켜 파지하기 위한 것이며, 제1기판이동기구는, 상기 이동재치위치에서 상기 이동재치지지부와 상기 제1반송파지부 사이로 수직자세의 복수 매의 기판을 일괄하여 주고 받고, 상기 제1기판주고받기위치에서 상기 주반송기구와 상기 제1반송파지부와의 사이로 수직자세의 복수 매의 기판을 일괄하여 건네며,상기 제2반송파지부는, 수직자세의 복수 매의 기판을 수평방향으로 정렬시켜 파지하기 위한 것으로서, 제2기판이동기구는, 상기 이동재치위치에서 상기 이동재치지지부와 상기 제2반송파지부의 사이로 수직자세의 복수 매의 기판을 일괄하여 주고 받고, 상기 제2기판주고받기위치에서 상기 주반송기구와 상기 제2반송파지부와의 사이로수직자세의복수매의기판일괄하여받는기판처리장치. [청구항 22] 제21항에 있어서,상기 제1기판이동기구는, 상기 기판처리부에 의하여 처리된 후의 기판을, 상기 제1기판주고받기위치에서 상기 주반송기구로부터 받아, 상기 이동재치위치에서 상기 이동재치기구로 건네는 것이며,상기 제2기판이동기구는, 상기 기판처리부에 의하여 처리되기 전의 기판을, 상기 이동재치위치에서 상기 이동재치기구로부터 받아, 상기 제2기판주고받기위치에서 상기 주반송기구로 건네는기판처리장치. [청구항 23] 제22항에 있어서,상기 주반송기구는, 복수 매의 기판을 일괄하여 파지하는 기판척을 포함하며,상기 기판처리장치는, 상기 주반송기구의 기판척을 세정하기 위한 척세정유닛과, 상기 기판처리부에서의 처리후의 기판을 상기 제1기판주고받기위치로 반송한 후에, 상기 제2기판주고받기위치로부터 상기 기판처리부로 기판을 반송하고, 그 후에, 상기 척세정유닛에서 상기 기판척이 세정되도록 상기 주반송기구의 동작을 제어하는 반송제어유닛더 포함한기판처리장치. [청구항 24] 제22항에 있어서,상기 제1반송파지부에 파지된 복수 매의 기판 중의 일부인 제1기판군을 상기 이동재치지지부로 건네고, 이 이동재치지지부로부터 상기 제1기판군을 상기 반출입기구로 건네며, 그 후에, 상기 제1반송파지부에 파지된 복수 매의 기판 중 다른 일부인 제2기판군을 상기 이동재치지지부로 건네고, 이 이동재치지지부로부터 상기 제2기판군을 상기 반출입기구로 건네도록, 상기 반출입기구, 상기 이동재치기구 및 상기 제1기판이동기구를 제어하는 단계와,상기 반출입기구로부터 상기 이동재치지지부로 제3기판군을 건네고, 상기 이동재치지지부로부터 상기 제2반송파지부로 상기 제3기판군을 건네며, 그 후에, 상기 반출입기구로부터 상기 이동재치지지부로 제4기판군을 건네고, 이 제4기판군을 상기 이동재치지지부로부터 상기 제2반송파지부로 더 건네며, 상기 제2반송파지부에 상기 제3기판군 및 제4기판군을 파지시키도록, 상기 반출입기구, 상기 이동재치기구 및 상기 제2기판이동기구를 제어하는 단계를 실행하는 이동재치제어유닛더 포함한기판처리장치. [청구항 25] 제21항에 있어서,상기 제2기판주고받기위치에 있어서, 상기 제2반송파지부와 상기 주반송기구사이에서의 기판의 주고받기를 중개하는 중개기구더 포함한기판처리장치.