기판 가장자리 식각장치 및 이를 이용한 기판 가장자리식각방법 document_id 1020080021069

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 다수의 기판안치부는 상기 기판안치대의상면형성되는것을특징으로 하는기판 가장자리 식각장치 [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 기판안치대에는 상하를 관통하는다수의배기홀형성된것을특징으로 하는기판 가장자리 식각장치 [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 다수의 배기홀nan은상기다수의기판안치부의사이형성되는것을특징으로 하는기판 가장자리 식각장치 [청구항 5] 제1항에 있어서,기판의 가장자리 하면을 노출시키기 위하여 상기 기판안치부의 주변부를 따라트렌치형성된것을특징으로 하는기판 가장자리 식각장치 [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 기판가림부재는절연재질인것을특징으로 하는기판 가장자리 식각장치 [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 기판가림부재의 상기걸림단의 저면에는 상기 가스공급수단의 상기 관통부의 주변에 거치되는 다수의 지지부가돌출형성된것을특징으로 하는기판 가장자리 식각장치 [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 기판가림부재의 상기걸림단에는 제1정렬수단이 형성되고, 상기 가스공급수단의 상기 관통부의 주변에는 상기 제1정렬수단과 결합하는제2정렬수단형성되는것을특징으로 하는기판 가장자리 식각장치 [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 제1정렬수단과 상기 제2정렬수단은 정렬핀 또는 정렬홈인것을특징으로 하는기판 가장자리 식각장치 [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 기판가림부재의 상기 몸체부의 측벽에는 상기 가스공급수단의 상기 관통부의 내벽과 접하는 다수의 돌출부가 형성되고, 상기 다수의 돌출부에 의하여 상기 몸체부가정위치유지하는것을특징으로 하는기판 가장자리 식각장치 [청구항 11] 제1항에 있어서,상기 가스공급수단의 저면에는 상기 중공부와 연통하는다수의분사홀형성된것을특징으로 하는기판 가장자리 식각장치 [청구항 12] 제1항에 있어서,상기 가스공급수단에는 rf전원연결되는것을특징으로 하는기판 가장자리 식각장치 [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 기판안치대는 접지되거나 제2의 rf전원연결되는것을특징으로 하는기판 가장자리 식각장치 [청구항 14] 제1항에 있어서,상기 가스공급수단은 접지되고 상기 기판안치대에는 rf전원연결되는것을특징으로 하는기판 가장자리 식각장치 [청구항 15] 제1항에 있어서,상기 챔버의 외부에는 상기 가스공급수단과 연결되는원격플라즈마 발생장치설치되는것을특징으로 하는기판 가장자리 식각장치 [청구항 16] 제1항의 기판 가장자리 식각장치를 이용하여 기판의 가장자리를 식각하는 방법에 있어서,상기 다수의 기판안치부의 각각에 기판을 안치하는 제1단계;상기 기판안치대를 상승시켜서 상기 기판가림부재의 상기 몸체부로 상기 기판의 중앙부를 가리고 가장자리만을 노출시키는 제2단계;상기 가스공급수단을 통해 상기 기판안치대의 상부로 식각가스를 분사하여 상기 기판의 가장자리를 식각하는제3단계포함하는것을특징으로 하는기판 가장자리 식각방법 [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 제2단계에서는 상기 기판가림부재가 상기 기판안치대에 안치된 기판에 밀착하거나,상기기판가림부재와상기기판의간격이하인것을특징으로 하는기판 가장자리 식각방법 [청구항 18] 제16항에 있어서,상기 제2단계에서는 상기 기판의 가장자리가 0.1~5mm의폭노출되는것을특징으로 하는기판 가장자리 식각방법 [청구항 19] 제16항에 있어서,상기 제3단계에서상기식각가스인것을특징으로 하는기판 가장자리 식각방법 [청구항 20] 제16항에 있어서,상기 제3단계에서 상기 식각가스는 10~100,000sccm의유량분사되는것을특징으로 하는기판 가장자리 식각방법 [청구항 21] 제16항에 있어서,상기 제3단계는,상기 가스공급수단에 rf전력을 인가하여 상기 식각가스를 플라즈마 상태로 여기시키는과정포함하는것을특징으로 하는기판 가장자리 식각방법 [청구항 22] 제21항에 있어서,상기rf전력은상기 기판안치대의 면적에 대하여 100mw/cm2 내지 5w/cm2의비율인가되는것을특징으로 하는기판 가장자리 식각방법 [청구항 23] 제16항에 있어서,상기 제3단계는, 외부의 원격플라즈마 발생장치에서 플라즈마 상태로 여기된 상기 식각가스를 공급하는과정포함하는것을특징으로 하는기판 가장자리 식각방법 [청구항 24] 제16항에 있어서,상기 제3단계의 공정압력은 10mtorr내지인것을특징으로 하는기판 가장자리 식각방법 [청구항 27] 제26항에 있어서,상기 트레이에서 상기 기판이 안치되는영역형성된것을특징으로 하는기판 가장자리 식각장치 [청구항 28] 제26항에 있어서,상기 트레이에서 상기 기판이 안치되는 영역의 주변부에는 다수의 제1배기홀이 형성되고, 상기 기판안치대에는 상기 다수의 제1배기홀과 연통하는다수의제2배기홀형성된것을특징으로 하는기판 가장자리 식각장치