마그네트론 스퍼터링 장치 document_id 1020080030858

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 마그넷 모듈 구동부는,상기 마그넷 모듈이 상기 스퍼터링 타겟의 표면과 평행한 평면 상에서 상기 마그넷 모듈의 길이방향과 평행한 방향 및 직교하는 방향으로동시이동되도록하는것을특징으로 하는마그네트론 스퍼터링 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 마그넷 모듈 구동부는,스퍼터링 할 때 상기 마그넷 모듈이 정지되지 않고연속적이동되도록하는것을특징으로 하는마그네트론 스퍼터링 장치. [청구항 4] 제2항에 있어서,상기 마그넷 모듈 구동부는, 상기 마그넷 모듈이 상기 스퍼터링 타겟의 중앙부 구간에서 이동하는 속력 이상의 속력으로 상기 스퍼터링 타겟의 가장자리부 구간을 통과하도록 상기 마그넷 모듈을 구동시키는제1구동유닛포함하는것을특징으로 하는마그네트론 스퍼터링 장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 제1구동유닛은,제1프레임과, 상기 제1프레임에 결합되는 제1모터와, 상기 제1모터의 출력축에 결합되는 구동스프로킷과, 상기 구동스프로킷과 상기 마그넷 모듈의 길이 방향과 직교하는 방향으로 이격되며 상기 제1프레임에 회전가능하게 결합되는 종동스프로킷과, 상기 구동스프로킷의 회전 구동력을 상기 종동스프로킷으로 전달하도록 상기 구동스프로킷과, 상기 종동스프로킷에 결합되는 제1체인과, 상기 제1체인의 순환시, 상기 마그넷 모듈이 상기 제1체인이 결합되어 있는 형상에 대응되는 이동경로를 따라 구동스프로킷 및 종동스프로킷 사이에서 순환되되, 상기 마그넷 모듈이 그 길이방향과 평행한 상태를 유지하면서 순환되도록 상기 마그넷 모듈 및 상기 제1체인에 결합되는전달유닛포함하는것을특징으로 하는마그네트론 스퍼터링 장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 전달유닛은,상기 제1체인의 외측면에 결합되는 제1고정부재와,상기 마그넷 모듈의 길이방향 및 상기 제1체인의 길이방향과 직교하는 방향을 회전축으로 회전가능하도록 상기 제1고정부재에 결합되며, 상기 마그넷 모듈에 고정되는제2고정부재포함하는것을특징으로 하는마그네트론 스퍼터링 장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 제1고정부재는, 내부에 형성된 원통 형상의 중공부와, 상기 중공부와 상기 제1고정부재의 일측면을 관통하며 형성되는 관통공을 가지며,상기 제2고정부재는, 상기 중공부에 대응되는 원통 형상으로 형성되며 상기 중공부에 회전가능하게 배치되는 디스크부와, 상기 디스크부의 일측면으로부터 연장 형성되며 상기 관통공에 배치되는 연결부와, 상기 연결부의 일측면으로부터 연장 형성되며 상기 마그넷 모듈에 고정되는고정부포함하는것을특징으로 하는마그네트론 스퍼터링 장치. [청구항 8] 제5항에 있어서,상기 제1구동유닛은,상기 구동스프로킷과 상기 마그넷 모듈의 길이방향으로 이격되며, 상기 제1프레임에 회전가능하게 결합되는 제1보조스프로킷과, 상기 제1보조스프로킷과 상기 마그넷 모듈의 길이 방향과 직교하는 방향으로 이격되며, 상기 제1프레임에 회전가능하게 결합되는 제2보조스프로킷과, 상기 제1보조스프로킷 및 상기 제2보조스프로킷에 결합되는 제2체인과,상기 마그넷 모듈 및 상기 제2체인에 결합되는보조전달유닛더포함하는것을특징으로 하는마그네트론 스퍼터링 장치. [청구항 9] 제5항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1모터는 출력축의 회전속도가 조절될 수 있는가변모터인것을특징으로 하는마그네트론 스퍼터링 장치. [청구항 10] 제4항에 있어서,상기 마그넷 모듈 구동부는 상기 마그넷 모듈을 상기 마그넷 모듈의 길이 방향으로 직선이동시키는제2구동유닛더포함하는것을특징으로 하는마그네트론 스퍼터링 장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 제2구동유닛은,제2프레임과,상기 제2프레임에 결합되는 제2모터와,상기 마그넷 모듈의 길이방향으로 길게 형성되며 상기 제2프레임에 대하여 회전가능하도록 상기 제2모터의 출력축에 결합되는 리드 스크류와, 상기 마그넷 모듈의 길이방향으로 직선이동가능하도록 상기 리드 스크류에 결합되며 상기 제1프레임에 고정되는 너트포함하는 것을특징으로 마그네트론 스퍼터링 장치. [청구항 12] 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 마그넷 모듈은,일 방향으로 길게 뻗은 형상으로 형성된 마그넷 지지판;상기 마그넷 지지판의 중앙부에 상기 마그넷 지지판의 길이방향으로 일렬로 배치되며, 자극의 방향이 동일하게 형성된 복수의 중심 마그넷; 및상기 복수의 중심 마그넷와 일정거리 이격되게 상기 복수의 중심 마그넷을 감싸도록 상기 마그넷 지지판의 주변부에 배치되며, 자극의 방향이 상기 중심 마그넷과 다르게 형성된복수의주변마그넷구비하는것을특징으로 하는마그네트론 스퍼터링 장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 주변 마그넷은,상기 마그넷 지지판의 길이방향의 중앙부분에서는 상기 중심 마그넷과 가깝게 배치되고, 상기 마그넷 지지판의 길이방향의 중앙부분과 멀어질수록상기중심마그넷배치되는것을특징으로 하는마그네트론 스퍼터링 장치. [청구항 14] 제12항에 있어서,상기 중심 마그넷과 상기 주변 마그넷의 크기가 모두 동일하고,상기 마그넷 모듈의 길이방향의 길이는 상기 마그넷 모듈의 길이방향에 대응되는 상기 스퍼터링 타겟의 길이보다 상기 주변 마그넷의 두 개의 크기가 작은 것특징으로 하는마그네트론 스퍼터링 장치.