프로브 테스트 장치 document_id 1020080052519

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 지지 프레임의 상면과 하면 사이에 주입되어 형성된 플라스틱 구조체더 포함하는,프로브 테스트 장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 지지 프레임은 일체성형된구조체인, 프로브 테스트 장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 지지 프레임은 금속 재료형성된,프로브 테스트 장치. [청구항 5] 제3항에 있어서,상기 지지 프레임은 스테인레스 재료형성된,프로브 테스트 장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 지지 프레임의 제1 지지부는 하나 이상의 링부와 다수의 경로부를 포함하며, 상기 링부 및 상기 다수의 경로부로 이루어진 구성의 단면 범위는 상기 회로층의 가로 방향 단면 범위에 상응하고, 또한 상기 회로층과 수평접촉하는,프로브 테스트 장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 회로층은 절연 특성을 가진 단일 층 인쇄회로판으로 이루어진,프로브 테스트 장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 회로층에는 각각의 상기 테스트 접점 하부에 대응하여 설치된 다수의 도전성 관통 구멍이 형성되고, 상기 각각의 관통 구멍의 양단은 각각 상기 테스트 접점과 상기 신호 선에 전기적연결된,프로브 테스트 장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 프로브 베이스는 상기 지지 프레임의 제2 지지부 하부형성된,프로브 테스트 장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 프로브 유닛은 상기 지지 프레임 하면에서 상기 제1 지지부와 상기 제2 지지부 사이에 위치하는 중계판을 더 포함하며, 상기 다수의 프로브는 상기 중계판과 전기적연결된,프로브 테스트 장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 중계판은 절연 특성을 가진 단일 층 인쇄회로판으로 이루어지고 다수의 도전성 관통 구멍을 포함하며, 상기 각 관통 구멍의 양단은 각각 상기 신호 선과 상기 프로브에 전기적연결된,프로브 테스트 장치. [청구항 12] 제9항에 있어서,프로브는 상기 프로브 베이스를 관통하고, 그 일단은 상기 팁부이고, 타단은 상기 신호 선연결된,프로브 테스트 장치. [청구항 13] 제1항에 있어서,상기 회로층에는, 각각 상기 각 테스트 접점 하부에 대응 형성되고 상기 각각의 신호 선이 관통되어 상기 테스트 접점에 전기적으로 연결되도록 하는 다수의 관통 구멍형성된,프로브 테스트 장치. [청구항 14] 제1항에 있어서,상기 회로층은 다수의 신호 솔더부를 포함하고, 상기 다수의 신호 솔더부는 상기 회로층에서 상기 다수의 테스트 접점과 동일 평면에 형성되고, 상기 다수의 신호 선은 상기 각 신호 솔더부에 각각 전기적연결된,프로브 테스트 장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 프로브 베이스는 상기 지지 프레임의 제2 지지부의 내측 둘레에 형성되고, 상기 각각의 프로브는 상기 프로브 베이스에 관통 설치되며, 그 일단은 상기 팁부이고, 타단은 상기 신호 선연결된,프로브 테스트 장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,프로브 유닛은 상기 지지 프레임의 제2 지지부의 내측 둘레에 형성된 고정 베이스를 더 포함하며, 상기 프로브 베이스는 상기 고정 베이스 하부에 설치되고, 상기 다수의 신호 선은 상기 고정 베이스관통하는,프로브 테스트 장치. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기 제1 지지부는 링형으로 형성되고 다수의 관통 구멍이 형성되며, 상기 다수의 신호 선은 상기 다수의 관통 구멍을 관통하여 상기 회로층의 테스트 접점과 전기적연결된,프로브 테스트 장치. [청구항 19] 제17항에 있어서,상기 제1 지지부와 제2 지지부 사이에 다수의 갭이 형성되고, 상기 다수의 신호 선은 상기 프로브 유닛의 상측으로부터 상기 다수의 갭을 관통하여 상기 프로브 유닛의 프로브와 전기적연결된,프로브 테스트 장치. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 제1 지지부는 내측 프레임을 포함하고, 상기 제2 지지부는 상기 제1 지지부의 내측 프레임에 고정된 외측 프레임을 포함하고, 상기 제2 지지부의 외측 프레임과 상기 제1 지지부의 내측 프레임 사이에 상기 갭형성된,프로브 테스트 장치. [청구항 21] 제17항에 있어서,상기 지지 프레임의 상기 제1 지지부와 상기 제2 지지부 사이에 주입되어 형성된 플라스틱 구조체더 포함하는,프로브 테스트 장치. [청구항 22] 제17항에 있어서,상기 다수의 신호 선은 상기 회로층 하측에서 상기 회로층의 테스트 접점과 전기적으로 연결되며, 상기 회로층은 절연 특성을 가진 단일 층 인쇄회로판구성된,프로브 테스트 장치. [청구항 23] 제17항에 있어서,상기 다수의 프로브는 마이크로 전기기계 집적 공정을 통해 상기 프로브 베이스 상에 형성되고, 상기 프로브 베이스에는 다수의 도선이 배치되고, 각 도선의 양단은 상기 신호 선과 상기 프로브에 전기적으로 대응연결되는,프로브 테스트 장치. [청구항 24] 제23항에 있어서,상기 다수의 도선은 상기 프로브 베이스 상부로부터 상기 프로브 베이스의 하부로 연장되며, 서로 인접한 도선 간의 간격은 위로부터 아래로 갈수록 점차 좁아지며, 상기 다수의 신호 선은 상기 프로브 베이스 상부에서, 상기 다수의 프로브는 상기 프로브 베이스 하부에서 각각 상기 각 도선과 전기적연결된,프로브 테스트 장치. [청구항 25] 제24항에 있어서,상기 프로브 베이스는 다중 유기 구조층 또는 다중 세라믹 구조층형성된,프로브 테스트 장치. [청구항 26] 제17항에 있어서,프로브는 위로부터 아래 방향으로 상기 프로브 베이스를 관통하고 그 일단은 상기 신호 선에 전기적으로 연결되고, 타단은 상기 프로브 베이스하부에 매달린,프로브 테스트 장치. [청구항 27] 제17항에 있어서,상기 프로브 유닛은 상기 지지 프레임의 제2 지지부 하부에 설치된 중계판을 더 포함하고, 상기 프로브 베이스는 상기 중계판에 고정되고, 상기 다수의 프로브는 상기 중계판 상부에서 상기 다수의 신호 선에 대응하여 전기적연결된,프로브 테스트 장치. [청구항 28] 제27항에 있어서,상기 중계판은 절연 특성을 가진 단일 층 인쇄회로판 구성을 가지고, 상기 다수의 신호 선은 상기 중계판 상부에 솔더링되고, 상기 다수의 프로브는 상기 중계판 하부에 전기적으로 연결되고, 상기 각 신호 선과 이에 전기적으로 연결된 대응 프로브는 상기 중계판 내에서 세로방향도통되는,프로브 테스트 장치. [청구항 29] 제27항에 있어서,중계판은 상기 신호 선과 프로브를 전기적으로 연결하는 하나 이상의 전자 소자포함하는,프로브 테스트 장치. [청구항 30] 제27항에 있어서,상기 중계판은 절연 특성을 가진 재료로 형성되고, 그 내부에 상기 중계판 상부로부터 상기 중계판 하부로 연장된 다수의 도선이 배치되며, 서로 인접한 상기 도선 간의 간격은 위로부터 아래로 갈수록 점차 좁아지며, 상기 다수의 신호 선은 상기 중계판 상부에서, 상기 다수의 프로브는 상기 중계판 하부에서 각각 상기 각 도선에 전기적연결된,프로브 테스트 장치. [청구항 31] 제30항에 있어서,상기 중계판은 다중 유기 구조층 또는 다중 세라믹 구조층형성된,프로브 테스트 장치. [청구항 32] 제30항에 있어서,프로브는 위로부터 아래 방향으로 상기 프로브 베이스를 관통하며, 그 일단은 상기 신호 선에 전기적으로 연결되고, 타단은 상기 프로브하부에 매달린,프로브 테스트 장치. [청구항 33] 제30항에 있어서,상기 다수의 프로브는 마이크로 전기기계 집적 공정으로 상기 프로브 베이스 상에 형성되고, 상기 프로브 베이스에는 다수의 도전성 관통 구멍이 형성되고, 상기 각 관통 구멍의 상부 및 하부 양단은 각각 상기 중계판의 도선과 상기 프로브에 전기적으로 대응연결된,프로브 테스트 장치. [청구항 34] 제33항에 있어서,프로브는 위로부터 아래 방향으로 상기 프로브 베이스에 관통 설치되고, 그 일단은 상기 신호 선에 전기적으로 연결되고, 타단은 상기 프로브하부에 매달린,프로브 테스트 장치.