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탑재대 및 그것을 이용한 플라즈마 처리 장치 document_id 1020080054848

출원번호
1020080054848
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 가압 기구는, 인접하는 분할편을 연결하여, 이들을 서로 끌어 당기는 방향으로 가압하는가압부재갖는것을특징으로 하는탑재대. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 기판은 직사각형 기판이며, 상기 실드 부재는 액자 형상으로 되어 있고, 상기 각 분할편은 각 모서리부를 포함하고 크랭크 형상으로4개형성되어있는것을특징으로 하는탑재대. [청구항 4] 제 2 항에 있어서,상기 기재는 상기 탑재부가 마련된 볼록부를 갖고, 상기 실드 부재는상기볼록부및상기탑재부마련되어있는것을특징으로 하는탑재대. [청구항 5] 제 2 항에 있어서,상기 가압 기구는 상기 가압 부재를 덮는커버부재갖는것을특징으로 하는탑재대. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 기재는 상기 탑재부가 마련된 볼록부를 갖고, 상기 실드 부재는 상기 탑재부 및 상기 볼록부를 둘러싸도록 마련되고, 상기 가압 기구는, 상기 분할편에 마련된 오목부와, 상기 오목부에 삽입되어 상기 분할편과 상기 기재를 체결하는 나사 부재와, 상기 나사 부재와 상기 분할편의 상기 오목부 내의 벽부의 사이에 마련되어 상기 분할편을 상기 기재의 볼록부 측으로 가압하는가압부재갖는것을특징으로 하는탑재대. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,상기 기재는 상기 탑재부가 마련된 볼록부를 갖고, 상기 실드 부재는 상기 볼록부를 둘러싸도록 설치되고, 상기 가압 기구는, 상기 분할편에 마련된 그릇 형상의 오목부와, 상기 오목부에 삽입된 테이퍼 워셔와, 상기 테이퍼 워셔를 개재시켜서 상기 분할편과 상기 기재를 체결하는 나사 부재와, 상기 나사 부재와 상기 테이퍼 워셔의 사이에 개재된 가압 부재를 갖고, 냉각 과정에서 상기 기재와 상기 분할편의 사이에 열팽창 차가 생겼을 때에, 상기 가압 부재는 상기 테이퍼 워셔를 거쳐서상기분할편을상기기재의볼록부측가압하는것을특징으로 하는탑재대. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 나사 부재의 두부와 상기 기재의 사이에 개재되어, 상기 나사 부재를 고정하는고정부재갖는것을특징으로 하는탑재대. [청구항 9] 제 6 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판은 직사각형 기판이며, 상기 실드 부재는 액자 형상으로 되어 있고, 상기 각 분할편은 각 모서리부를 포함하고 크랭크 형상으로 4개 형성되어, 상기 가압 기구는 각 분할편의 모서리부에 마련되고, 각 분할편의 인접부에는 상기 가압 기구에 의한 가압력에 의해 상기 분할편이 변위했을 때에 인접하는 분할편을 내측으로 변위시키도록단차형성되어있는것을특징으로 하는탑재대. [청구항 10] 제 6 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가압 기구는 상기 오목부를 덮는커버부재갖는것을특징으로 하는탑재대. [청구항 11] 제 2 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가압 부재는스프링부재인것을특징으로 하는탑재대. [청구항 12] 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 탑재부는 기판을 정전 흡착하는정전척갖는것을특징으로 하는탑재대. [청구항 13] 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기재에 플라즈마 생성용의 고주파 전력을 공급하는고주파전력 공급전원더갖는것을특징으로 하는탑재대. [청구항 15] 제 14 항에 있어서,상기 플라즈마 생성 기구는 상기 기재에 플라즈마 생성용의 고주파 전력을 공급하는고주파전력 공급전원갖는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
냉각 과정에서 기재와 분할편 사이에 열팽창 차가 발생했을 때, 가압 기구가 분할편을 기재의 볼록부 측으로 가압하기 위해 구성되는 요소들은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    냉각 시 열팽창 차가 발생할 때 분할편을 기재의 볼록부 측으로 가압하기 위해 구성되는 가압 기구의 구성 요소들을 추출해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 7에서 냉각 과정 중 열팽창 차가 생겼을 때 가압 부재가 분할편을 기재의 볼록부 측으로 가압하는 구체적인 메커니즘과 구성 요소가 기술되어 있다.

    • 냉각 과정에서 상기 기재와 상기 분할편의 사이에 열팽창 차가 생겼을 때에, 상기 가압 부재는 상기 테이퍼 워셔를 거쳐서상기분할편을상기기재의볼록부측가압하는것을특징으로 하는탑재대
  3. 3근거 선택evidence_selection

    가압 기구의 구성 요소로 명시된 '분할편에 마련된 그릇 형상의 오목부', '오목부에 삽입된 테이퍼 워셔', '나사 부재', '가압 부재'를 선택한다.

    • 상기 분할편에 마련된 그릇 형상의 오목부와, 상기 오목부에 삽입된 테이퍼 워셔와, 상기 테이퍼 워셔를 개재시켜서 상기 분할편과 상기 기재를 체결하는 나사 부재와, 상기 나사 부재와 상기 테이퍼 워셔의 사이에 개재된 가압 부재를 갖고
  4. 4논리 통합logical_integration

    가압 기구는 오목부, 테이퍼 워셔, 나사 부재, 가압 부재로 구성되며, 이들이 상호 작용하여 열팽창 차 발생 시 분할편을 볼록부 측으로 가압한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    질문에서 요구하는 가압 기구의 구성 요소들을 리스트 형식으로 정리한다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 구성 요소들을 나열하여 최종 답변을 생성한다.

최종 답변 (final_answer)
분할편에 마련된 그릇 형상의 오목부, 상기 오목부에 삽입된 테이퍼 워셔, 상기 테이퍼 워셔를 개재시켜서 상기 분할편과 상기 기재를 체결하는 나사 부재, 상기 나사 부재와 상기 테이퍼 워셔의 사이에 개재된 가압 부재
핵심 해석 (core_interpretation)
냉각 시 발생하는 기재와 분할편 사이의 열팽창 차를 보상하기 위해, 나사 부재와 테이퍼 워셔 및 가압 부재를 이용하여 분할편을 기재의 볼록부 방향으로 밀착시키는 가압 기구의 구성에 관한 것이다.