기판처리장치 document_id 1020080060084

[청구항 2] 제1항에 있어서,기판처리열에 있어서의 주반송기구 및 처리유닛의 배치는 평면에서 봤을 때대략 동일한기판처리장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 주반송기구가 설치된 반송스페이스에 청정한 기체를 공급하는 기체공급구와,상기 반송스페이스로부터 기체를 배출하는 기체배출구갖춘기판처리장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 반송스페이스의 분위기는 기판처리열마다 차단되어 있으며,상기 기체공급구 및 상기 기체배출구는, 기판처리열마다 별개설치되어 있는기판처리장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 기체공급구가 형성되어 있는 취출유닛과,상기 기체배출구가 형성되어 있는 배출유닛을 갖추며,상기 취출유닛 또는 배출유닛의 적어도 어느 것이 기판처리열마다 분위기차단하고 있는기판처리장치. [청구항 6] 제3항에 있어서,상기 기체공급구는 상기 기체배출구보다 높은 위치배치되어 있는기판처리장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 기체공급구는 상기 반송스페이스의 상부에 배치되고, 상기 기체배출구는 상기 반송스페이스의 하부배치되어 있는기판처리장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,복수 매의 기판을 수용하는 카셋트에 대해서 기판을 반송하는 인덱서용 반송기구를 구비하고,상기 인덱서용 반송기구는, 각 기판처리열의 일단측의 주반송기구인 일단반송기구와의 사이에서 기판의 주고받기를 행하면서, 각 일단반송기구 중 위쪽의 일단반송기구와의 사이에서는 그 하부 부근의 높이 위치에서 기판의 주고받기를 행하고, 각 일단반송기구 중 아래쪽의 일단반송기구와의 사이에서는 상부 부근의 높이 위치에서 기판행하는기판처리장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기인덱서용 반송기구와 각 일단반송기구의 사이에 각각 설치되어 기판을 재치하는 재치부를 갖추며,상기 인덱서용 반송기구는 각 재치부를 통해서 기판받는기판처리장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,하나의 처리블록에 포함되는 복수의 처리유닛 및 복수의 주반송기구를 모아서 수용하는 케이스를 처리블록구비하고 있는기판처리장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,처리블록은,각 계층 사이에 설치되는 차폐판(遮蔽板)과,각 계층의 주반송기구의 반송스페이스에 청정한 기체를 공급하는 기체공급구와,각 계층의 주반송기구의 반송스페이스로부터 기체를 배출하는 기체배출구구비하고 있는기판처리장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 기체공급구가 형성되어 있는 취출유닛과,상기 기체배출구가 형성되어 있는 배출유닛,을 구비하며,상기 취출유닛 또는 배출유닛의 적어도 어느 것이 상기 차폐판있는기판처리장치. [청구항 14] 제12항에 있어서,반송스페이스의 기체공급구는, 그 반송스페이스의 기체배출구보다 높은 위치배치되어 있는기판처리장치. [청구항 15] 제10항에 있어서,복수 매의 기판을 수용하는 카셋트에 대해서 기판을 반송함과 아울러, 일측단의 처리블록에 있어서의 각 계층의 주반송기구와의 사이에 기판의 주고받기를 행하는 인덱서용 반송기구를 갖추고,일측단의 처리블록에 있어서의 각 계층의 주반송기구와의 사이에서 상기 인덱서용 반송기구가 기판의 주고받기를 행하는 각 위치근접하고 있는기판처리장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,일측단의 처리블록에 있어서의 각 계층의 주반송기구와 상기 인덱서용 반송기구와의 사이에 각각 설치되어 기판을 재치하는 재치부를 구비하고,상기 인덱서용 반송기구는 각 재치부를 통해서 기판받는기판처리장치. [청구항 18] 제17항에 있어서,인덱서용 반송기구가 카셋트로부터 기판을 꺼낸 순서와 같은 순서로, 인터페이스용반송기구가 기판을 노광기(露光機)로 보내도록 제어하는 제어부구비하고 있는기판처리장치. [청구항 19] 제18항에 있어서,인터페이스부에 구비되어, 기판을 일시적으로 수납하는 버퍼부를 구비하고, 상기 제어부는, 인덱서용 반송기구가 카셋트로부터 기판을 꺼낸 순서와 다른 순서로, 현상처리블록으로부터 기판이 인출된 경우에는, 인터페이스용반송기구가 이 기판을 받아버퍼부반송하도록제어하는기판처리장치. [청구항 20] 제17항에 있어서,기판에 레지스트막을 형성하기 위한 도포처리유닛은, 레지스트막재료를 기판에 도포하는 레지스트막용 도포처리유닛과 반사방지막용의 처리액을 기판에 도포하는 반사방지막용 도포처리유닛포함한기판처리장치.