기판 반송 모듈 및 기판 처리 시스템 document_id 1020080061061

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 격절 장치는 적어도 상기 보지부 및 상기 보지부에 보지된 상기 기판의 주위를 둘러싸는주변유닛인것을특징으로 하는기판 반송 모듈. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 주변 유닛은 내식성수지로이루어지는것을특징으로 하는기판 반송 모듈. [청구항 4] 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 주변 유닛은 분리가능한 복수의 파트로 이루어지고, 상기 복수의 파트가 분리되었을 때에 상기 보지부 및 상기 보지부에 보지된상기기판노출시키는것을특징으로 하는기판 반송 모듈. [청구항 5] 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 주변 유닛은 개구부 및 상기 개구부를 개폐 가능한 도어부를 갖고, 상기 도어부가 상기 개구부를 개구시켰을 때에 상기 보지부 및 상기 보지부에 보지된상기기판노출시키는것을특징으로 하는기판 반송 모듈. [청구항 6] 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 주변 유닛은 상기 주변 유닛의 내부에 퍼지 가스를 도입하는 퍼지 가스 도입부와, 상기 내부를 배기하는배기부갖는것을특징으로 하는기판 반송 모듈. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기 주변 유닛은 적어도 상기 보지부를 향해서 세정 물질을 분사하는세정장치갖는것을특징으로 하는기판 반송 모듈. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 세정 물질은 불활성 가스와, 불활성 가스 및 액체의 에어로졸로 이루어지는 군으로부터 선택되는하나인것을특징으로 하는기판 반송 모듈. [청구항 9] 제 7 항에 있어서,상기 세정 장치는 상기 보지부를주사하는것을특징으로 하는기판 반송 모듈. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 세정 장치는상기이동부주사하는것을특징으로 하는기판 반송 모듈. [청구항 11] 제 7 항에 있어서,상기 세정 장치는 적어도 상기 보지부에 대향하는 복수의 분출구를 갖는샤워헤드로이루어지는것을특징으로 하는기판 반송 모듈. [청구항 12] 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 반송실로 외부 분위기를 도입하는 외부 분위기 도입 장치를 구비하고, 상기 외부 분위기 도입 장치는 상기 도입되는 외부 분위기에 혼재되어 있는 파티클을 대전(帶電)시켜서 소정의 극성 전위를 발생시키는 파티클 대전부를 가지며, 상기 보지부는 상기 기판의 표면에 상기 소정의 극성과 동일 극성의 전위를 발생시키는전위발생부갖는것을특징으로 하는기판 반송 모듈. [청구항 13] 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 격절 장치는 상기 격절 장치가 격절하는 공간에 상기 반송실의 내부 분위기를 도입하는 실내 분위기 도입 장치를 갖고, 상기 실내 분위기 도입 장치는 상기 도입되는 실내 분위기에 혼재되어 있는 파티클을 대전시켜서 소정의 극성 전위를 발생시키는 파티클 대전부를 가지며, 상기 보지부는 상기 기판의 표면에 상기 소정의 극성과 동일 극성의 전위를 발생시키는전위발생부갖는것을특징으로 하는기판 반송 모듈. [청구항 14] 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 반송실에 외부 분위기를 도입하는 외부 분위기 도입 장치와, 상기 기판처리 모듈 또는 상기 기판을 수용하고 또한 상기 반송실에 접속되는 기판 수용기로 반입 반출되는 상기 기판을 대전시키는 기판 대전 장치를 구비하며, 상기 외부 분위기 도입 장치는 도입되는 상기 외부 분위기에 혼재되어 있는 파티클을 대전시켜서 소정의 극성 전위를 발생시키는 파티클 대전부를 갖고,상기 기판 대전 장치는 상기 기판을 대전시켜서상기소정의극성과동일극성의전위발생시키는것을특징으로 하는기판 반송 모듈. [청구항 15] 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 격절 장치의 내부에 있어서 상기 보지부에 보지된 상기 기판의 주연부를 향해서 레이저광을 조사하는 동시에 반응성 가스를 공급하는주연생성물제거장치구비하는것을특징으로 하는기판 반송 모듈. [청구항 16] 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 격절 장치의 내면은광촉매로덮이는것을특징으로 하는기판 반송 모듈. [청구항 17] 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 격절 장치는 상기 격절 장치를 대전시켜서 소정의 극성 전위를 발생시키는전위발생장치갖는것을특징으로 하는기판 반송 모듈. [청구항 18] 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 격절 장치는 상기 격절 장치를 진동시키는진동 발생장치갖는것을특징으로 하는기판 반송 모듈. [청구항 19] 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 격절 장치는 상기 격절 장치의 내부에 배치되고 또한 상기 내부에 수용된 상기 기판의 위치를 조정하는위치조정부갖는것을특징으로 하는기판 반송 모듈. [청구항 20] 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 격절 장치의 내부에 노출되어 배치되고 또한 상기 내부의 분위기보다 온도가 낮은저온장치구비하는것을특징으로 하는기판 반송 모듈. [청구항 21] 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 격절 장치의 내부에 있어서 상기 보지부에 보지된 상기 기판을 가열하는가열장치구비하는것을특징으로 하는기판 반송 모듈. [청구항 22] 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,복수의 상기 기판 반송 장치와, 각 상기 기판 반송 장치에 대응하는복수의상기격절장치구비하는것을특징으로 하는기판 반송 모듈.