기판처리를 위한 클러스터 document_id 1020080061577

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 기판이송장치는 상기 다수의 기판을 공급하기 위한 다수의 제 1 롤러와, 상기 트레이를 이송시키는다수의제2롤러포함하는것을특징으로 하는클러스터. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 다수의 제 2 롤러는 상기 다수의 제 1 롤러의 하부로 하강할 수 있도록, 상기 다수의 제 2 롤러 사이에상기다수의제1롤러위치하는것을특징으로 하는클러스터. [청구항 4] 제 2 항에 있어서,상기 로드락 챔버 내부에서 상기 트레이를 반출입하기 위하여, 상기 로드락 챔버의 내부에는 하나의 상기 트레이가 적재되는1층의다수의제3롤러설치되는것을특징으로 하는클러스터. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 다수의 제 3 롤러는 2층 이상으로 설치되어, 2 개 이상의 상기 트레이를 적재할 수있는것을특징으로 하는클러스터. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기 다수의 제 3 롤러는 상하로이동가능한것을특징으로 하는클러스터. [청구항 7] 제 2 항에 있어서,상기 트레이는 다수의 관통부를 정의하기 위한 외부 및 내부 프레임을 포함하고, 상기 다수의 관통부의 각각에 대응되는 부분과, 상기 트레이의 외곽부에상기다수의제1롤러설치되는것을특징으로 하는클러스터. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,상기 트레이는,외부 및 내부 프레임에 의해 정의되고, 상기 다수의 기판을 수용하기 위한 다수의 관통부;상기 다수의 관통부의 각각의 측면에서 설치되며, 상기 다수의 기판의 각각을 정렬하기 위한 정렬부;상기 정렬부의 하부에 설치되며, 상기 다수의 관통부의 각각의 측면에서 돌출되어 상기 다수의 기판의 각각을 지지하기 위한 지지대;상기 지지대의 하부에 위치하며, 상기 다수의 관통부의 각각의 측면에 설치되어, 안치수단의 돌출부와 정합되는정합부포함하는것을특징으로 하는클러스터. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 다수의 기판이 수용된 상기 트레이에서, 상기 다수의 기판과 상기 외부 및 내부 프레임은 동일한평면유지하는것을특징으로 하는클러스터. [청구항 10] 제 8 항에 있어서,상기 정렬부는 양경사부를 가지고, 상기 정합부는 음경사부가지는것을특징으로 하는클러스터. [청구항 11] 제 1 항에 있어서,상기 공정챔버는,반응공간을 정의하는 하우징;상기 하우징 내에 반응가스를 공급하는 가스 분배판;가스 분배판과 대향하는 안치수단;상기 안치수단 상에 위치하고, 다수의 기판을 수용하는트레이포함하는것을특징으로 하는클러스터. [청구항 12] 제 11 항에 있어서,상기 트레이는 상기 다수의 기판의 각각을 수용하는 다수의 관통부를 포함하고, 상기 안치수단은 상기 다수의 관통부의 각각과 정합되는다수의돌출부포함하는것을특징으로 하는클러스터. [청구항 13] 제 12 항에 있어서,상기 다수의 돌출부 사이의 상기 안치수단에는 상기 트레이를 안착 및 분리시키기 위한다수의리프트핀설치되는것을특징으로 하는클러스터. [청구항 14] 제 12 항에 있어서,상기 다수의 기판의 각각의 에지 영역을 차폐하기 위하여, 상기 트레이 상에에지프레임설치하는것을특징으로 하는클러스터.