기판에 식각 영역을 만들기 위한 장치 document_id 1020080061926

[청구항 1] 내부 공간을 구비한 작업대 상기 작업대의 내부 공간 하부에 배치되며 기판과 스템프를 합착하는 합착부 상기 합착부 위쪽에 배치되며 유브이를 조사하여 기판의 레진층을 경화하는 경화부 상기 경화부 위쪽에 배치되며 기판과 스템프의 합착 상태를 분리하는 분리부 상기 작업대와 이격 배치되어 상기 합착부 또는 경화부, 분리부 측으로 기판 또는 스템프를 이송하는 이송수단 을 포함하는 기판에 식각 영역을 만들기 위한 장치 [청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 작업대는,다층(多層) 상태로 배치된 복수 개의 내부 공간을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판에 식각 영역위한장치. [청구항 3] 청구항 1에 있어서,상기 합착부는,챔버케이스;상기 챔버케이스 내부에 배치되며 스템프를 분리 가능하게 고정하는 합착용 홀더;상기 합착용 홀더 하측에 배치되며 기판을 로딩하는 제1 스테이지;상기 제1 스테이지 또는 상기 합착용 홀더를 상/하 방향으로 구동하는 합착구동부;를 포함하며,상기 제1 스테이지 또는 상기 합착용 홀더가 상기 합착구동부의 구동에 의해 업/다운되면서 임프린트 동작으로 기판과 스템프를 합착할 수 있도록 셋팅되는 기판에 식각 영역위한장치. [청구항 4] 청구항 3에 있어서,상기 챔버케이스는,진공펌프와 연결되어 이 진공펌프의 구동에 의해 진공압 상태 또는 대기압 상태로 전환 가능하게 이루어지는 기판에 식각 영역위한장치. [청구항 5] 청구항 1에 있어서,상기 경화부는,기판을 로딩하는 제2 스테이지;상기 제2 스테이지 위쪽에 배치되는 유브이 램프;상기 유브이 램프를 좌/우 방향으로 구동하는 경화구동부;를 포함하며,상기 유브이 램프가 상기 경화구동부의 구동에 의해 기판의 일측에서 타측으로 이동하면서 기판의 레진층을 경화할 수 있도록 셋팅되는 기판에 식각 영역위한장치. [청구항 6] 청구항 1에 있어서,상기 분리부는,기판을 로딩하는 제3 스테이지;상기 제3 스테이지 위쪽에 배치되는 분리용 홀더;상기 분리용 홀더를 상/하 방향으로 구동하는 분리구동부;를 포함하며,상기 분리용 홀더가 상기 분리구동부의 구동에 의해 상기 제3 스테이지 측으로 업/다운되면서 기판으로부터 스템프를 잡아당겨서 분리할 수 있도록 셋팅되는 기판에 식각 영역위한장치. [청구항 7] 청구항 1에 있어서,상기 이송수단은,수직 방향의 이송 구간을 제공하는 제1 레일부;상기 제1 레일부의 이송 구간을 따라 이동 가능하게 설치되며 수평 방향의 이송 구간을 제공하는 제2 레일부;상기 제2 레일부를 따라 이동되며 기판을 거치하는 거치대;상기 거치대와 대응하여 기판을 인수/인계할 수 있도록 상기 작업대 내부에 배치되는 리프터;를 포함하며,상기 거치대가 상기 제1 레일부와 제2 레일부를 따라 수직 및 수평 방향으로 이동하면서 상기 합착부 또는 경화부, 분리부로/로부터 기판 또는 스템프를 공급/인출하는 것을 특징으로 하는 기판에 식각 영역위한장치. [청구항 8] 청구항 7에 있어서,상기 리프터는,상/하 방향으로 이동 가능한 리프트 핀으로 구성되며,상기 작업대 내부공간의 기판 로딩 지점에 각각 배치되어 업/다운 동작에 의해 기판을 들어올리거나 내려놓을 수 있도록 셋팅되는 기판에 식각 영역위한장치. [청구항 9] 청구항 1에 있어서,상기 기판에 식각 영역을 만들기 위한 장치는, 검사부를 더 포함하며,상기 검사부는,기판을 로딩하는 제4 스테이지;상기 제4 스테이지에 로딩된 기판의 패턴을 촬영하는 카메라;상기 카메라와 연결되어 패턴의 화상을 구현하는 모니터;를 포함하며,상기 작업대 상에서 상기 분리부 위쪽에 제공되는 것을 특징으로 하는 기판에 식각 영역위한장치. [청구항 10] 청구항 1에 있어서,상기 기판에 식각 영역을 만들기 위한 장치는, 보조이송수단을 더 포함하며,상기 보조이송수단은,흡착구를 구비한 로봇 아암으로 구성되며,상기 작업대 외부에서 기판 또는 스템프를 직접 로딩 또는 언로딩하면서 상기 작업대로/로부터 공급/인출할 수 있도록 셋팅되는 기판에 식각 영역위한장치.