문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 음극부가 상기 기판을 바라보도록 하는 윈도우를 갖는 하우징더욱 포함하는금속촉매도핑장비.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 차폐부는, 선형운동을 하는 스크린포함하는금속촉매도핑장비.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,상기 스크린은, 상기 음극부와 상기 윈도우 사이 또는 상기 윈도우와 상기 기판 사이위치하는금속촉매도핑장비.
[청구항 5]
제 2 항에 있어서,상기 차폐부는, 회전운동을 하는 판형상의 적어도 하나의 살포함하는금속촉매도핑장비.
[청구항 6]
제 5 항에 있어서,상기 윈도우에마련된금속촉매도핑장비.
[청구항 7]
제 2 항에 있어서,상기 윈도우에 마련된 창살포함하는금속촉매도핑장비.
[청구항 8]
제 2 항에 있어서,상기 하우징과 상기 차폐부 중 적어도 하나는, 접지되거나 전압인가받는금속촉매도핑장비.
[청구항 9]
제 1 항에 있어서,상기 음극부는, 상기 공정챔버의 높이방향을 따라 배치된 다수의 부음극부포함하는금속촉매도핑장비.
[청구항 10]
제 9 항에 있어서,상기 다수의 부음극부 중 적어도 하나에 대해, 상기 기판과의 이격거리와 상기 기판에 투사되는 투사면적 중 적어도 하나조절되는금속촉매도핑장비.
[청구항 11]
제 10 항에 있어서,상기 이격거리의 조절은, 상기 다수의 부음극부 중 적어도 하나가 상기 기판을 향하는 방향으로 전진하거나, 상기 기판을 향하는 방향과 반대방향후진하여 이루어지는금속촉매도핑장비.
[청구항 12]
제 10 항에 있어서,상기 투사면적의 조절은, 상기 다수의 부음극부 중 적어도 하나회전하여 이루어지는금속촉매도핑장비.
[청구항 13]
제 10 항에 있어서,상기 다수의 부음극부에 대해, 상기 이격거리와 상기 투사면적 중 적어도 하나에 대한 조절이, 서로 독립적이루어지는금속촉매도핑장비.
[청구항 14]
제 1 항에 있어서,상기 다수의 챔버들은, 상기 캐리어가 연속적으로 이동하는 기판이송로따라배치된금속촉매도핑장비.
[청구항 15]
제 14 항에 있어서,상기 공정챔버는, 상기 음극부가 설치된 도핑부와, 상기 도핑부 양측에 각각 위치하여 상기 기판을 수용하는2예비부를포함하는금속촉매도핑장비.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
금속촉매도핑장비에서 다수의 부음극부를 이용하여 기판과의 이격거리를 조절하는 구체적인 방법은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation금속촉매도핑장비에서 다수의 부음극부를 통해 기판과의 이격거리를 조절하는 구체적인 방법을 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 9항에서 다수의 부음극부가 존재함을 확인하고, 청구항 11항에서 이격거리 조절 방법을 확인한다.
- 상기 다수의 부음극부 중 적어도 하나가 상기 기판을 향하는 방향으로 전진하거나, 상기 기판을 향하는 방향과 반대방향후진하여 이루어지는
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3근거 선택
evidence_selection이격거리 조절 방식에 대해 직접적으로 기술된 청구항 11항의 구절을 선택한다.
- 상기 다수의 부음극부 중 적어도 하나가 상기 기판을 향하는 방향으로 전진하거나, 상기 기판을 향하는 방향과 반대방향후진하여 이루어지는
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4논리 통합
logical_integration다수의 부음극부 중 적어도 하나를 기판 방향으로 전진시키거나 반대 방향으로 후진시킴으로써 이격거리가 조절됨을 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 부음극부의 전진 및 후진 동작을 통한 이격거리 조절 방법을 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 문구를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
상기 다수의 부음극부 중 적어도 하나가 상기 기판을 향하는 방향으로 전진하거나, 상기 기판을 향하는 방향과 반대방향후진하여 이루어진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
다수의 부음극부를 기판 방향으로 전진 또는 후진시킴으로써 기판과의 이격거리를 조절할 수 있는 기술적 수단을 제공한다.