현상 장치, 현상 방법 및 기억 매체 document_id 1020080073889

[청구항 2] 제1항에 있어서,제2 현상액 노즐은 각 기판 보유 지지부에 대응하여 복수 설치되고, 서로 독립적으로 각 기판 보유 지지부에현상액공급하는것을특징으로 하는현상 장치. [청구항 3] 제1항 또는 제2항에 있어서,제1 현상액 노즐은 편평 형상으로 개구된제1토출구구비하는것을특징으로 하는현상 장치. [청구항 4] 제1항 또는 제2항에 있어서,제2 현상액 노즐은 원형으로 개구된제2토출구구비하는것을특징으로 하는현상 장치. [청구항 5] 제1항 또는 제2항에 있어서,기판 보유 지지부의 회전과, 제1 현상액 노즐의 이동과, 제1 현상액 노즐 및 제2 현상액 노즐로부터의 현상액의 공급을 제어하는제어부설치되어있는것을특징으로 하는현상 장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 제어부는 하나의 현상 처리부에서 제1 현상액 노즐로부터 기판에 현상액을 공급시킨 후, 제1 현상액 노즐을 다른 현상 처리부로 이동시키고, 그 현상 처리부에서 대기시킨 후에 그 현상 처리부의 기판에 현상액을 공급시키는기능갖는것을특징으로 하는현상 장치. [청구항 7] 제1항 또는 제2항에 있어서,제2 현상액 노즐로부터 공급되는 현상액의 유량은 제1 현상액 노즐로부터 공급되는 현상액의 유량보다도 작은 것특징으로 하는현상 장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 제1 노즐을 대기시키기 위한 대기부와,상기 구동기구의 동작을 제어하기 위해 제어 신호를 출력하는 제어부를 구비하고,상기 구동기구는 상기 대기부와 각 현상 처리부 사이에서 상기 제1 노즐을 이동시키고,상기 제어부는, 제1 노즐이 하나의 기판 처리부의 기판에 현상액을 공급한 후, 다른 기판 처리부에 해당 제1 노즐로부터 현상액의 공급을 받지 않은 기판이 반송되는 경우에는, 해당 제1 노즐을 다른 기판 처리부에 반송하도록 제어 신호를 출력하고,제1 노즐이 하나의 기판 처리부의 기판에 현상액을 공급한 후, 다른 기판 처리부에 해당 제1 노즐로부터 현상액의 공급을 받지 않은 기판이 반송되지 않는 경우에는, 해당 제1 노즐을 상기 대기부에 반송하도록제어신호출력하는것을특징으로 하는현상 장치. [청구항 14] 제12항 또는 제13항에 있어서,상기 제1 노즐은 상기 기판 유지부에 보유 지지된 기판의 표면에 현상액을 띠 형상으로 공급하고,상기 구동 기구는, 각 현상 처리부에서 당해 제1 노즐로부터 토출된 현상액의 띠 형상 영역의 일단부측이 기판의 중앙을 향한 상태에서, 기판의 표면에 있어서의 중앙부 및 주연부의 한쪽으로부터 다른 쪽으로 이동하도록제1노즐이동시키는것을특징으로 하는현상 장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 제2 노즐은 제1 노즐에 의해 현상액의 액막이 형성된 기판의 중심부에, 원 형상 또는 상기 띠 형상 영역보다도 길이가 짧은 띠 형상으로현상액공급하는것을특징으로 하는현상 장치. [청구항 16] 제12항 또는 제13항에 있어서,제1 노즐은 편평 형상으로 개구된제1토출구구비하는것을특징으로 하는현상 장치. [청구항 17] 제12항 또는 제13항에 있어서,제2 노즐은 원형으로 개구된제2토출구구비하는것을특징으로 하는현상 장치. [청구항 18] 제12항 또는 제13항에 있어서,제2 노즐로부터 공급되는 현상액의 유량은 제1 노즐로부터 공급되는 현상액의 유량보다 작은 것특징으로 하는현상 장치.