극단 자외광 광원 장치 및 극단 자외광 발생 방법 document_id 1020080074629

[청구항 1] 용기와, 이 용기 내에 극단 자외광을 방사시키기 위한, 액체 또는 고체의 원료를 공급하는 원료 공급 수단과, 에너지 빔을 상기 원료에 조사하여 당해 원료를 기화하는 에너지 빔 조사 수단과, 기화된 상기 원료를 방전에 의해 상기 용기 내에서 가열 여기하여 고온 플라즈마를 발생시키기 위한, 소정 거리만큼 이간된 한 쌍의 전극과, 전극에 펄스 전력을 공급하는 펄스 전력 공급 수단과, 상기 한 쌍의 전극에 의한 방전의 방전 영역 내에서 생성된 상기 고온 플라즈마로부터 방사되는 극단 자외광을 집광하는 집광 광학 수단과, 상기 집광되는 극단 자외광을 취출하는 극단 자외광 취출부를 갖는 극단 자외광 광원 장치에 있어서, 상기 에너지 빔 조사 수단은, 상기 방전 영역을 제외한 공간이며, 상기 기화된 원료가 방전 영역에 도달할 수 있는 공간 내에 공급된 원료에 대해, 전력이 인가된 전극 사이를 통해 레이저 빔을 조사하는 것으로서, 상기 에너지 빔 조사 수단은, 전력이 인가된 전극 사이를 통과하는 상기 레이저 빔에 의해, 상기 방전 영역 내에서 방전을 시동하고, 또한, 방전 영역의 소정의 위치에 방전 채널을 획정하는 것을 특징으로 하는 극단 자외광 광원 장치 [청구항 2] 청구항 1에 있어서,에너지 빔 조사 수단으로부터 에너지 빔을 조사하였을 때, 공간 밀도 분포가 소정의 분포인 기화된 원료의 적어도 일부가 방전 영역에 도달한 타이밍에서, 방전 영역에서 발생한 방전의 방전 전류가 소정의 임계치 이상이 되도록, 에너지 빔이 방전 영역을 통과할 때의 타이밍과 고온 플라즈마 원료에 조사되는 타이밍, 방전 영역에 있어서의 에너지 빔의 에너지, 고온 플라즈마 원료에 조사되는 위치에서의 에너지 빔의 에너지, 에너지 빔의 조사 방향, 및 방전 영역에 대한고온플라즈마원료의공급위치설정되어있는것을특징으로 하는극단 자외광 광원 장치. [청구항 3] 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 원료 공급 수단에 의한 원료 공급은, 상기 원료를 드롭렛형상으로 하여 중력 방향으로 적하함으로써 행해지는것을특징으로 하는극단 자외광 광원 장치. [청구항 4] 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 원료 공급 수단에 의한 원료 공급은, 상기 원료를 선형상 원료로 하고, 당해 선형상 원료를 연속적으로 이동함으로써 행해지는것을특징으로 하는극단 자외광 광원 장치. [청구항 5] 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 원료 공급 수단은 원료 공급 원반을 구비하고,상기 원료 공급 수단에 의한 원료 공급은, 상기 원료를 액체 원료로 하고, 당해 액체 원료를 상기 원료 공급 원반에 공급하고, 상기 액체 원료가 공급된 원료 공급 원반을 회전시켜 상기 원료 공급 원반의 액체 원료의 공급부를 에너지 빔의 조사 위치까지 이동시킴으로써 행해지는것을특징으로 하는극단 자외광 광원 장치. [청구항 6] 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 원료 공급 수단은 캐필러리를 구비하고,상기 원료 공급 수단에 의한 원료 공급은, 상기 원료를 액체 원료로 하고, 당해 액체 원료를 상기 캐필러리를 통해 에너지 빔의 조사 위치에 공급함으로써 행해지는것을특징으로 하는극단 자외광 광원 장치. [청구항 7] 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 원료의 에너지 빔 조사 위치에 관형상 노즐을 설치하고,에너지 빔의 조사에 의해 기화된 원료의 적어도 일부가상기관형상노즐분출되는것을특징으로 하는극단 자외광 광원 장치. [청구항 8] 청구항 7에 있어서,상기 관형상 노즐 내부의 일부에협착부설치한것을특징으로 하는극단 자외광 광원 장치. [청구항 9] 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 있어서,상기 방전 영역에 대해, 상기 한 쌍의 전극 사이에서 발생하는 방전 방향과 대략 평행하게 자장을 인가하는 자장 인가수단더설치한것을특징으로 하는극단 자외광 광원 장치. [청구항 10] 청구항 1 내지 청구항 9 중 어느 한 항에 있어서,쌍의 전극은 원반형상의 전극이고, 전극 표면에 있어서의 방전 발생 위치가 변화하도록회전 구동있는것을특징으로 하는극단 자외광 광원 장치. [청구항 11] 청구항 10에 있어서,상기 원반형상인한 쌍의 전극은, 양 전극의 둘레 가장자리부의 에지 부분이, 소정 거리만큼 이간되어배치되어있는것을특징으로 하는극단 자외광 광원 장치. [청구항 12] 청구항 1 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 있어서,상기 에너지 빔이레이저빔인것을특징으로 하는극단 자외광 광원 장치.