원자층 증착 장치 document_id 1020080075189

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 히터 승강부는,상기 히터 하부에 구비된 승강축; 및상기 승강축에 구비되어 상기 히터를 승강 이동시키는히터구동부포함하는것을특징으로 하는원자층 증착 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,셉터는 상기 회전축에 구비되어 상기 서셉터의 승강 이동 및 회전시키는 서셉터 구동부를 포함하고,상기 히터 승강부는 상기 히터 구동부와 상기 서셉터 구동부에 연결되어 상기 히터와 상기 서셉터를 동시에 이동시키는승강제어부더구비하는것을특징으로 하는원자층 증착 장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 승강축은,상기 히터 구동부에 연결되어 상기 히터를 승강 이동시키는 주 승강축; 및상기 히터 구동부에 연결되지 않고 상기 히터의 승강 이동을 보조하는가이드축포함하는것을특징으로 하는원자층 증착 장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 주 승강축은 상기 히터의 가장자리 하부를 지지하도록구비된것을특징으로 하는원자층 증착 장치. [청구항 6] 제4항에 있어서,상기 주 승강축nan은상기히터의중심과가장자리사이의중간위치구비된것을특징으로 하는원자층 증착 장치. [청구항 7] 제4항에 있어서,상기 주 승강축은 상기 회전축을 중심으로서로대칭되게복수개의주승강축구비된것을특징으로 하는원자층 증착 장치. [청구항 8] 제4항에 있어서,상기 가이드축은 상기 히터의 가장자리 하부를 지지할 수 있도록 구비되며 상기 회전축을 중심으로서로대칭되게복수개의가이드축구비된것을특징으로 하는원자층 증착 장치. [청구항 9] 제4항에 있어서,복수의 주 승강축에각각히터구동부구비된것을특징으로 하는원자층 증착 장치. [청구항 10] 제2항에 있어서,상기 히터 승강부는 상기 히터 하부에 구비되어 상기 히터를 지지하는지지플레이트더포함하는것을특징으로 하는원자층 증착 장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 지지 플레이트는 상기 히터보다 같거나 큰크기갖는것을특징으로 하는원자층 증착 장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 지지 플레이트는세라믹 재질형성된것을특징으로 하는원자층 증착 장치. [청구항 13] 제1항에 있어서,상기 히터의 온도를 제어하는온도제어부더포함하는것을특징으로 하는원자층 증착 장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 온도 제어부는,상기 프로세스 챔버를 관통하여, 상기 온도 제어부와 상기 히터를 전기적으로 연결하는 제어 와이어; 및상기 제어 와이어를 수용하여 상기 제어 와이어를 보호하는와이어수용축포함하는것을특징으로 하는원자층 증착 장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 와이어 수용축은 상기 히터의 승강 이동에 따라 승강 이동 가능하도록형성된것을특징으로 하는원자층 증착 장치. [청구항 16] 제14항에 있어서,상기 와이어 수용축은 상기 히터의 승강 이동에 따라 신축 가능하게형성된것을특징으로 하는원자층 증착 장치. [청구항 17] 제1항에 있어서,상기 히터는 원형 플레이트 형태를 갖고, 상기 회전축이 상기 히터의 중심 부분을 관통하여결합되는것을특징으로 하는원자층 증착 장치.