플라즈마 발생 장치 document_id 1020080076562

[청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 제2 차 코일의 일단의 상기 유도 코일부의 일단에 전기적으로 연결되고, 상기 제2 차 코일의 타단은 상기 유도코일부의 타단에전기적연결되는것을특징으로 하는플라즈마 발생 장치. [청구항 4] 제 1항에 있어서,상기 유도 코일부는 원 턴 안테나, 복수 턴 안테나, 스파이얼 안테나 및 안장형 안테나 중에서적어도하나포함하는것을특징으로 하는플라즈마 발생 장치. [청구항 5] 전력을 공급하는 제1 전원부 상기 제1 전원부와 직렬 연결되는 제1 정합회로부 제1 차 코일 및 제2 차 코일을 포함하는 변압부 플라즈마를 를 감금하는 챔버부 상기 챔버부의 내부에 배치되는 유도 코일부; 및 상기 유도 코일부와 상기 변압부를 연결하는 유도 코일 연결부를 포함하고, 상기 제1 차 코일은 상기 제1 정합회로부와 전기적으로 연결되고, 상기 제2차 코일은 상기 유도 코일부와 전기적으로 연결되고, 상기 챔버부는 챔버 몸통 및 챔퍼 상판을 포함하고, 상기 유도 코일 연결부는 상기 챔버 상판 또는 상기 챔버 몸통을 관통하여 배치되고, 상기 유도 코일 연결부는 상기 유도 코일부와 결합하는 것을 특징으로 하는 는 플라즈마 발생 장치 [청구항 6] 제 1항에 있어서,상기 유도 코일부는 제1 유도 코일부 및 제2 유도 코일부를 포함하되,상기 제1 유도 코일부의 내 반경은 상기 제2 유도 코일부의 외 반경보다 큰 것특징으로 하는플라즈마 발생 장치. [청구항 7] 제 6항에 있어서,상기 제1 유도 코일부와 상기 제2 유도 코일부의 전류의 방향 또는 반대 방향으로 흐르도록전기적연결되는것을특징으로 하는플라즈마 발생 장치. [청구항 8] 제 6항에 있어서,상기 변압부의 2차 코일은 제1 결합부 및 제2 결합부를 포함하되,상기 제1 결합부는 상기 제1 유도 코일부와 전기적으로 연결되고, 상기 제2 결합부는상기제2유도코일부전기적연결되는것을특징으로 하는플라즈마 발생 장치. [청구항 9] 제 1항에 있어서,상기 유도 코일부는 복수의 권선수를 가지는 안테나이고, 상기 권선수가 증가함에 따라 안테나의 반경이 증가하거나감소하는것을특징으로 하는플라즈마 발생 장치. [청구항 10] 제 1항에 있어서,전극부를 더 포함하되,상기 제2 차 코일의 일단은 상기 유도 코일부의 일단과 전기적으로 연결되고, 상기 제2 차 코일의 타단은상기유도코일부의타단및상기전극부와전기적연결되는것을특징으로 하는플라즈마 발생 장치. [청구항 11] 제 1항에 있어서,전극부 및 축전기를 더 포함하되,상기 제2 차 코일의 일단은 상기 유도 코일부의 일단과 전기적으로 연결되고, 상기 유도 코일부의 타단은 상기 축전기와 전기저으로 연결되고, 상기 제2 차 코일의 타단은 상기 전극부와 전기적으로 연결되고, 상기 전극부는상기챔버부의내부배치되는것을특징으로 하는플라즈마 발생 장치. [청구항 12] 제 1 항에 있어서,전력을 공급하는 제2 전원부,상기 제2 전원부와 직렬연결되는 제2 정합회로부; 및상기 제2 정합회로부와 직렬 연결되는 전극부를 더 포함하되,상기 전극부는상기챔버부내부배치되는것을특징으로 하는플라즈마 발생 장치. [청구항 13] 제 1 항에 있어서,상기 변압부의 상기 제1 차 코일 및 제2차 코일은 솔레노이드 형태이고, 상기 제2 차 코일은 상기 제1 차 코일을 덮도록 감겨있는것을특징으로 하는플라즈마 발생 장치. [청구항 14] 제 13 항에 있어서,상기 제 1차 코일 내부에자성코어더포함하는것을특징으로 하는플라즈마 발생 장치. [청구항 15] 제 1 항에 있어서,상기 변압부의 제2차 코일은 상기 제1 차 코일과 중심축이 일치하도록 배치되고, 상기 제1 코일과 상기 제2 차 코일 사이에절연체배치되는것을특징으로 하는플라즈마 발생 장치. [청구항 16] 제 15 항에 있어서,상기 제1 차 코일 및 상기 제2 차 코일은 솔레노이드형태인것을특징으로 하는플라즈마 발생 장치.