문맥 (context)
[청구항 14]
제12항에 있어서,상기 마커는, 상기 4개의 끝면에서 공통인 공통 마커 부분과, 상기 4개의 끝면의 각각에 서로 다른고유마커부분으로이루어지는것을특징으로 하는마스크 블랭크용 기판.
[청구항 15]
제12항에 있어서,상기 4개의 끝면 중, 1개의 끝면에는원점마크형성되어있는것을특징으로 하는마스크 블랭크용 기판.
[청구항 16]
제12항에 있어서,상하의 어느 쪽인가의 상기 주표면에는,목시용마커형성되어있는것을특징으로 하는마스크 블랭크용 기판.
[청구항 18]
제12항에 있어서,상기 마커는, 상기 4개의 면취면에서 공통인 공통 마커 부분과, 상기 4개의 면취면의 각각에 서로 다른 고유 마커 부분을 갖는마커형성하는것을특징으로 하는마스크 블랭크용 기판.
[청구항 21]
제19항에 있어서,상기 마커는, 상기 4개의 끝면에서 공통인 공통 마커 부분과, 상기 4개의 끝면의 각각에 서로 다른고유마커부분으로이루어지는것을특징으로 하는마스크 블랭크.
[청구항 22]
제19항에 있어서,상기 4개의 끝면 중, 1개의 끝면에는원점마크형성되어있는것을특징으로 하는마스크 블랭크.
[청구항 23]
제19항에 있어서,상하의 어느 쪽인가의 상기 주표면에는,목시용마커형성되어있는것을특징으로 하는마스크 블랭크.
[청구항 25]
제19항에 있어서,상기 마커는, 상기 4개의 면취면에서 공통인 공통 마커 부분과, 상기 4개의 면취면의 각각에 서로 다른 고유 마커 부분을 갖는마커형성하는것을특징으로 하는마스크 블랭크.
[청구항 28]
제26항에 있어서,상기 마커는, 상기 4개의 끝면에서 공통인 공통 마커 부분과, 상기 4개의 끝면의 각각에 서로 다른고유마커부분으로이루어지는것을특징으로 하는마스크.
[청구항 29]
제26항에 있어서,상기 4개의 끝면 중, 1개의 끝면에는원점마크형성되어있는것을특징으로 하는마스크.
[청구항 30]
제26항에 있어서,상하의 어느 쪽인가의 상기 주표면에는,목시용마커형성되어있는것을특징으로 하는마스크.
[청구항 32]
제26항에 있어서,상기 마커는, 상기 4개의 면취면에서 공통인 공통 마커 부분과, 상기 4개의 면취면의 각각에 서로 다른 고유 마커 부분을 갖는마커형성하는것을특징으로 하는마스크.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
마스크 블랭크용 기판, 마스크 블랭크, 및 마스크에 공통적으로 적용되는 마커의 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation마스크 블랭크용 기판, 마스크 블랭크, 마스크에 공통적으로 적용되는 마커의 구성 요소를 찾는 과업이다.
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2정보 추출
information_extraction각 청구항에서 마커의 구성을 설명하는 부분을 추출한다.
- 상기 마커는, 상기 4개의 끝면에서 공통인 공통 마커 부분과, 상기 4개의 끝면의 각각에 서로 다른고유마커부분으로이루어지는것
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3근거 선택
evidence_selection세 대상(기판, 블랭크, 마스크) 모두에 공통적으로 기술된 마커의 구성 요소를 선택한다.
- 상기 마커는, 상기 4개의 끝면에서 공통인 공통 마커 부분과, 상기 4개의 끝면의 각각에 서로 다른고유마커부분으로이루어지는것
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4논리 통합
logical_integration청구항 14(기판), 청구항 21(블랭크), 청구항 28(마스크)의 내용을 종합하여 공통 구성 요소를 도출한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation마커는 공통 마커 부분과 고유 마커 부분으로 구성됨을 결론짓는다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 답변을 리스트 형식으로 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
공통 마커 부분, 고유 마커 부분
핵심 해석 (core_interpretation)
마스크 블랭크용 기판, 마스크 블랭크 및 마스크에 적용되는 마커는 4개의 끝면에서 공통되는 부분과 각 끝면마다 서로 다른 고유한 부분으로 구성된다.