문맥 (context)
[청구항 6]
용기와, 이 용기 내에 설치되고, 소정 거리만큼 이간한 한 쌍의 전극과, 그 전극에 펄스 전력을 공급하는 펄스 전력 공급 수단과,
상기 전극간에 형성된 방전 경로에, 극단 자외광을 방사시키기 위한 기화된 원료 가스를 공급하는 원료 공급 수단과,
상기 방전 경로에서 생성되는 고온 플라즈마로부터 방사되는 극단 자외광을 집광하는 집광 광학 수단과,
상기 집광되는 극단 자외광을 취출하는 극단 자외광 취출부를 갖는 극단 자외광 광원 장치로서,
상기 펄스 전력 공급 수단은, 상기 전극간에 1㎲ 이상의 펄스 전력을 공급하여 방전 경로를 형성하고,
상기 원료 공급 수단은,
상기 방전 경로 외의 공간으로서, 기화된 원료가 방전 경로에 도달할 수 있 는 공간 내에 배치된 원료에 에너지 빔을 조사하여, 그 원료를 기화시키는 에너지 빔 조사 수단을 구비하고, 상기 방전 경로에, 이온 밀도가 극단 자외광 방사 조건에 있어서의 이온 밀도와 거의 같은 원료 가스를 공급하는 것을 특징으로 하는 극단 자외광 광원 장치
[청구항 7]
청구항 6에 있어서,의 에너지 빔 조사 수단을 구비하고, 상기 방전 경로에, 제2의 에너지 빔 조사 수단으로부터 방전 경로 고정용 에너지 빔을 조사하여, 그 에너지 빔에 의해방전경로고정하는것을특징으로 하는극단 자외광 광원 장치.
[청구항 8]
청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,시동용의 원료를 상기 전극의 가까이에 배치하고, 방전에 앞서 시동용의 원료를 상기 방전이 발생하는영역공급하는것을특징으로 하는극단 자외광 광원 장치.
[청구항 9]
청구항 6, 7 또는 청구항 8에 있어서,상기 에너지 빔이레이저빔인것을특징으로 하는극단 자외광 광원 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
극단 자외광 광원 장치에서 원료 공급 수단이 기화된 원료 가스를 방전 경로에 공급하기 위해 구비하는 구성 요소와 그 작동 방식은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation극단 자외광 광원 장치의 원료 공급 수단이 갖는 구성 요소와 기화된 원료 가스를 방전 경로에 공급하는 작동 방식을 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 6에서 원료 공급 수단이 에너지 빔 조사 수단을 구비하고 있다는 점과 그 작동 방식을 추출한다.
- 상기 원료 공급 수단은, 상기 방전 경로 외의 공간으로서, 기화된 원료가 방전 경로에 도달할 수 있 는 공간 내에 배치된 원료에 에너지 빔을 조사하여, 그 원료를 기화시키는 에너지 빔 조사 수단을 구비하고
-
3근거 선택
evidence_selection원료 공급 수단의 구성 요소인 '에너지 빔 조사 수단'과 작동 방식인 '원료에 에너지 빔을 조사하여 기화시키는 것'을 핵심 근거로 선택한다.
- 에너지 빔 조사 수단을 구비하고, 상기 방전 경로에, 이온 밀도가 극단 자외광 방사 조건에 있어서의 이온 밀도와 거의 같은 원료 가스를 공급하는 것
-
4논리 통합
logical_integration원료 공급 수단은 에너지 빔 조사 수단을 포함하며, 이 수단이 방전 경로 외의 공간에 있는 원료에 에너지를 조사하여 기화시킨 후, 특정 이온 밀도를 가진 원료 가스를 방전 경로에 공급하는 구조임을 통합한다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation원료 공급 수단은 에너지 빔 조사 수단을 구비하며, 방전 경로 외의 공간에 배치된 원료에 에너지 빔을 조사하여 기화시킨 후, 방전 경로에 적절한 이온 밀도를 가진 원료 가스를 공급한다.
-
6답변 생성
answer_generation질문에 대해 구성 요소와 작동 방식을 명확히 기술하여 최종 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
원료 공급 수단은 에너지 빔 조사 수단을 구비한다. 작동 방식은 방전 경로 외의 공간으로서 기화된 원료가 방전 경로에 도달할 수 있는 공간 내에 배치된 원료에 에너지 빔을 조사하여 원료를 기화시키고, 상기 방전 경로에 극단 자외광 방사 조건에서의 이온 밀도와 거의 같은 원료 가스를 공급하는 것이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
원료 공급 수단이 에너지 빔 조사 수단을 통해 원료를 기화시키고, 방전 경로에 최적화된 이온 밀도를 가진 원료 가스를 공급하는 메커니즘을 설명하고 있다.