미세패턴 형성장치 및 이를 이용한 미세패턴 형성방법 document_id 1020080081505

[청구항 2] 제1 항에 있어서,상기 스탬프 승강부는상기 처리공간으로 반입된 상기 스탬프의 하측에서 승강되는복수의스탬프승강핀구비하는것을특징으로 하는미세패턴 형성장치. [청구항 3] 제2 항에 있어서,상기 스탬프 승강부는복수의 상기 스탬프 승강핀에 결합되며, 상기 스탬프가 안착되는 단턱이 형성되는스탬프가이드더구비하는것을특징으로 하는미세패턴 형성장치. [청구항 4] 제3 항에 있어서,상기 스탬프 가이드는점착고무포함하는것을특징으로 하는미세패턴 형성장치. [청구항 5] 제1 항에 있어서,상기 스탬프 가압부는상기 스탬프의 상측에서 승강되는복수의스탬프가압핀구비하는것을특징으로 하는미세패턴 형성장치. [청구항 6] 제5 항에 있어서,복수의 상기 스탬프 가압핀은상기 스탬프를 향한 끝단부가각각점착고무로이루어지는것을특징으로 하는미세패턴 형성장치. [청구항 7] 제1 항에 있어서,상기 챔버는 하부에 상기 처리공간의 외부로 관통되는 관통홀이 형성되며,상기 스테이지는 상기 관통홀의 내측에서 슬라이딩 가능하도록배치되는것을특징으로 하는미세패턴 형성장치. [청구항 8] 제7 항에 있어서,상기 처리공간을 배기시켜 상기 처리공간의 진공을 형성하는 진공배기부와, 선택적으로 상기 스테이지의 승강을 구속하는스테이지구속부더구비하는것을특징으로 하는미세패턴 형성장치. [청구항 9] 제8 항에 있어서,상기 스테이지 구속부는상기 처리공간의 진공이 형성되고 상기 스탬프가 상기 기판에 접촉되면,상기스테이지의구속상태해제하는것을특징으로 하는미세패턴 형성장치. [청구항 10] 제8 항에 있어서,상기 스테이지의 구속상태에서 상기 스테이지에 접촉되어 상기 스테이지를 평면 상에서 이동시키며,상기 스테이지의 구속상태의 해제시, 상기 스테이지에서 이격되는 것을 특징으로 하는복수의위치조절유닛더구비하는것을특징으로 하는미세패턴 형성장치. [청구항 11] 제1 항에 있어서,상기 스테이지에 마련되며, 상기 스테이지에 지지되는 상기 기판을 상기 스테이지에 진공 흡착시키는 기판 진공척과,상기 챔버의 상부에 마련되어, 상기 챔버의 상부에 접촉되는 상기 스탬프를 상기 챔버에 진공 흡착시키는스탬프진공척더구비하는것을특징으로 하는미세패턴 형성장치. [청구항 12] 제11 항에 있어서,상기 챔버의 상측에 배치되며, 자외선을 조사하는 자외선 모듈을 더 구비하며,상기 패턴막은 자외선 경화성 수지로 이루어지며,상기 챔버는 상부에 투과창이 형성되며,상기 스탬프 진공척과 상기 스탬프는 투명한재료로이루어지는것을특징으로 하는미세패턴 형성장치.