문맥 (context)
[청구항 1]
도포 및 현상 장치에 있어서,
캐리어에 의해 기판이 반입되는 캐리어 블록과,
상기 캐리어 블록에 반입된 상기 기판이 전달되는 동시에, 상기 기판에 대해 레지스트막을 포함하는 도포막을 형성하는 처리 블록과,
상기 처리 블록에 의해 상기 도포막이 형성된 상기 기판을 노광 장치에 반송하는 인터페이스 블록을 구비하고,
상기 처리 블록은 각각 상기 캐리어 블록측으로부터 상기 인터페이스 블록측을 향해 형성된 복수의 레지스트막 형성 블록과, 상기 캐리어 블록측으로부터 상기 인터페이스 블록측을 향해 형성된 현상 처리 블록을 갖고,
상기 캐리어 블록에 상기 캐리어로부터의 상기 기판을 각 레지스트막 형성 블록으로 반송하는 처리 블록 반입용 반송 수단이 마련되고,
상기 인터페이스 블록에 상기 기판을 상기 노광 장치에 반입하고 또한 상기 노광 장치로부터 상기 기판을 반출하여 상기 현상 처리 블록으로 보내기 위한 노광 장치 반입용 반송 수단이 마련되고,
상기 처리 블록 반입용 반송 수단은 상기 캐리어로부터의 상기 기판을 각 레지스트막 형성 블록에 1매씩 차례로 주기적으로 반송하는 동시에, 상기 노광 장치 반입용 반송 수단은 상기 처리 블록 반입용 반송 수단에 의해 각 레지스트막 형성 블록에 반송된 순서로 각 레지스트막 형성 블록으로부터 상기 노광 장치에 상기 기 판을 반입하는 것을 특징으로 하는 도포 및 현상 장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,레지스트막 형성 블록 및 상기 현상 처리 블록은서로적층되어있는것을특징으로 하는도포 및 현상 장치.
[청구항 3]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 레지스트막 형성 블록은 2개 설치되고, 상기 처리 블록 반입용 반송 수단은 상기 캐리어로부터의 상기 기판을 각 레지스트막 형성 블록에 1매씩 교대로 반송하고, 상기 노광 장치 반입용 반송 수단은 각 상기 레지스트막 형성 블록으로부터의 상기 기판을 상기 캐리어로부터 각 레지스트막 형성 블록으로 반입된 순서로 교대로상기노광 장치반입하는것을특징으로 하는도포 및 현상 장치.
[청구항 4]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 현상 처리 블록은 복수 설치되고, 상기 노광 장치 반입용 반송 수단은 상기 노광 장치로부터 각 현상 처리 블록에 노광 완료된상기기판을1매씩주기적반송하는것을특징으로 하는도포 및 현상 장치.
[청구항 5]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 레지스트막 형성 블록은 레지스트를 상기 기판에 도포하는 도포 모듈과, 상기 기판을 가열하는 가열 모듈과, 상기 기판을 냉각하는냉각모듈각각복수갖는것을특징으로 하는도포 및 현상 장치.
[청구항 6]
제3항에 있어서,상기 현상 처리 블록은 복수 설치되고, 상기 노광 장치 반입용 반송 수단은 상기 노광 장치로부터 각 현상 처리 블록에 노광 완료된상기기판을1매씩주기적반송하는것을특징으로 하는도포 및 현상 장치.
[청구항 7]
제3항에 있어서,상기 레지스트막 형성 블록은 레지스트를 상기 기판에 도포하는 도포 모듈과, 상기 기판을 가열하는 가열 모듈과, 상기 기판을 냉각하는냉각모듈각각복수갖는것을특징으로 하는도포 및 현상 장치.
[청구항 8]
제4항에 있어서,상기 레지스트막 형성 블록은 레지스트를 상기 기판에 도포하는 도포 모듈과, 상기 기판을 가열하는 가열 모듈과, 상기 기판을 냉각하는냉각모듈각각복수갖는것을특징으로 하는도포 및 현상 장치.
[청구항 9]
제6항에 있어서,상기 레지스트막 형성 블록은 레지스트를 상기 기판에 도포하는 도포 모듈과, 상기 기판을 가열하는 가열 모듈과, 상기 기판을 냉각하는냉각모듈각각복수갖는것을특징으로 하는도포 및 현상 장치.
[청구항 13]
도포 및 현상 장치를 이용하여 기판에 대해 레지스트를 도포하는 동시에 노광된 후의 상기 기판에 대해 현상 처리를 행하는 도포 및 현상 방법에 사용되고, 컴퓨터상에서 동작하는 컴퓨터 프로그램을 저장한 기억 매체이며,
상기 도포 및 현상 장치는,
캐리어에 의해 기판이 반입되는 캐리어 블록과,
상기 캐리어 블록에 반입된 상기 기판이 전달되는 동시에, 상기 기판에 대해 레지스트막을 포함하는 도포막을 형성하는 처리 블록과,
상기 처리 블록에 의해 상기 도포막이 형성된 상기 기판을 노광 장치에 반송하는 인터페이스 블록을 구비하고,
상기 처리 블록은 각각 상기 캐리어 블록측으로부터 상기 인터페이스 블록측을 향해 형성된 복수의 레지스트막 형성 블록과, 상기 캐리어 블록측으로부터 상기 인터페이스 블록측을 향해 형성된 현상 처리 블록을 갖고,
상기 캐리어 블록에 상기 캐리어로부터의 상기 기판을 각 레지스트막 형성 블록으로 반송하는 처리 블록 반입용 반송 수단이 마련되고,
상기 인터페이스 블록에 상기 기판을 상기 노광 장치에 반입하고 또한 상기 노광 장치로부터 상기 기판을 반출하여 상기 현상 처리 블록으로 보내기 위한 노광 장치 반입용 반송 수단이 마련되고,
상기 도포 및 현상 방법은,
상기 처리 블록 반입용 반송 수단에 의해, 상기 캐리어로부터 각 레지스트막 형성 블록에 상기 기판을 1매씩 차례로 주기적으로 반송하는 공정과,
상기 노광 장치 반입용 반송 수단에 의해, 상기 처리 블록 반입용 반송 수단에 의해 각 레지스트막 형성 블록에 반송된 순서로, 각 레지스트막 형성 블록으로부터 상기 노광 장치에 상기 기판을 반입하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 기억 매체
[청구항 14]
제13항에 있어서,상기 레지스트막 형성 블록은 2개 설치되고, 상기 처리 블록 반입용 반송 수단은 상기 캐리어로부터의 상기 기판을 각 레지스트막 형성 블록에 1매씩 교대로 반송하고, 상기 노광 장치 반입용 반송 수단은 각 상기 레지스트막 형성 블록으로부터의 상기 기판을 상기 캐리어로부터 각 레지스트막 형성 블록으로 반입된 순서로 교대로상기노광 장치반입하는것을특징으로 하는기억 매체.
[청구항 15]
제13항 또는 제14항에 있어서,상기 현상 처리 블록은 복수 설치되고, 상기 도포 및 현상 방법은 상기 노광 장치 반입용 반송 수단에 의해 상기 노광 장치로부터 각 현상 처리 블록에 노광 완료된 상기 기판을 1매씩 주기적으로 반송하는공정더포함하는것을특징으로 하는기억 매체.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
도포 및 현상 장치에서 처리 블록 반입용 반송 수단과 노광 장치 반입용 반송 수단은 각각 기판을 어떤 순서와 방식으로 반송하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation도포 및 현상 장치 내의 두 가지 반송 수단(처리 블록 반입용, 노광 장치 반입용)이 기판을 반송하는 구체적인 순서와 방식을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1과 13에서 각 반송 수단의 동작 방식을 추출한다. 처리 블록 반입용은 캐리어로부터 각 레지스트막 형성 블록으로 1매씩 차례로 주기적으로 반송하며, 노광 장치 반입용은 반송된 순서대로 노광 장치에 반입한다.
- 상기 처리 블록 반입용 반송 수단은 상기 캐리어로부터의 상기 기판을 각 레지스트막 형성 블록에 1매씩 차례로 주기적으로 반송하는 동시에, 상기 노광 장치 반입용 반송 수단은 상기 처리 블록 반입용 반송 수단에 의해 각 레지스트막 형성 블록에 반송된 순서로 각 레지스트막 형성 블록으로부터 상기 노광 장치에 상기 기판을 반입하는 것
-
3근거 선택
evidence_selection질문에 직접적으로 대응하는 반송 방식에 관한 구절을 선택한다.
- 상기 처리 블록 반입용 반송 수단은 상기 캐리어로부터의 상기 기판을 각 레지스트막 형성 블록에 1매씩 차례로 주기적으로 반송하는 동시에, 상기 노광 장치 반입용 반송 수단은 상기 처리 블록 반입용 반송 수단에 의해 각 레지스트막 형성 블록에 반송된 순서로 각 레지스트막 형성 블록으로부터 상기 노광 장치에 상기 기판을 반입하는 것
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4논리 통합
logical_integration처리 블록 반입용 반송 수단은 캐리어에서 레지스트막 형성 블록으로 1매씩 차례로 주기적 반송을 수행하고, 노광 장치 반입용 반송 수단은 그 반송된 순서를 따라 레지스트막 형성 블록에서 노광 장치로 기판을 반입함을 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation두 반송 수단의 동작을 정리하여 질문에 대한 답변을 구성한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
처리 블록 반입용 반송 수단은 캐리어로부터 각 레지스트막 형성 블록으로 기판을 1매씩 차례로 주기적으로 반송하며, 노광 장치 반입용 반송 수단은 처리 블록 반입용 반송 수단에 의해 각 레지스트막 형성 블록에 반송된 순서대로 각 레지스트막 형성 블록으로부터 노광 장치에 기판을 반입한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 처리 블록 반입용 반송 수단과 노광 장치 반입용 반송 수단 간의 반송 순서를 동기화하여, 기판이 레지스트막 형성 블록에 반입된 순서에 따라 노광 장치로 효율적으로 전달되도록 하는 반송 제어 기술을 핵심으로 한다.