문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 내부 에지를 지나는 상기 가스 주입 경로는 상기 제품 지지 표면을 면하는 연속적인슬릿개구포함하는것을특징으로 하는플라즈마 반응기.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 내부 에지를 지나는 상기 가스 주입 경로는다수의가스주입오리피스들포함하는것을특징으로 하는플라즈마 반응기.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 가스인젝터는 상기 프로세스 링 내에서 상기 프로세스 링을 상부 및 하부 프로세스 링들로 분리하는갭포함하는것을특징으로 하는플라즈마 반응기.
[청구항 5]
제 4 항에 있어서,상기 프로세스 링과 상기 캐소드 라이너에 의해 경계설정되는 내부 공급 채널을 더 포함하며, 상기 다수의 내부 가스 흐름 채널들은 상기 상부 표면에서 상기 공급 채널과 결합되며, 상기 공급 채널은 상기 프로세스 링에서상기갭결합되는것을특징으로 하는플라즈마 반응기.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 내부 에지는 상기 제품 지지 표면의 직경의 약 1% 미만의 간격에 의해상기제품지지표면의주변부이격되는것을특징으로 하는플라즈마 반응기.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 실링에서 상기 가스 공급 시스템과 결합되는 프로세스 가스 분배기를 더 포함하며, 상기 프로세스 가스 분배기는 내부 및 외부 가스 주입 구역들 및 상기 내부 및 외부 가스 주입 구역들에 대해 각각 독립적인가스 흐름채널들포함하는것을특징으로 하는플라즈마 반응기.
[청구항 8]
제 7 항에 있어서,상기 프로세스 링의 상기 가스인젝터, (b) 상기 가스 분배기의 상기 내부 가스 주입 구역 및 (c) 상기 가스 분배기의 상기 외부 가스 주입 구역에 대한 가스 유량들은 독립적으로제어가능한것을특징으로 하는플라즈마 반응기.
[청구항 9]
제 8 항에 있어서,상기 가스 공급 시스템은 상기 가스 분배기에 결합된 제 1 프로세스 가스의 소스 및 상기 프로세스 링의 상기 가스 인젝터에 결합된제2프로세스가스의소스포함하는것을특징으로 하는플라즈마 반응기.
[청구항 11]
제 10 항에 있어서,상기 웨이퍼 지지체는 상기 웨이퍼 지지체 표면상에서 지지되는 웨이퍼의 주변 에지와 대응하는 주변 에지를 가지며, 상기 환형 슬릿은 상기 제품 지지 표면 직경의 약 1% 미만의 간격에 의해상기주변에지이격되는것을특징으로 하는플라즈마 반응기.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마 반응기에서 프로세스 가스 분배기가 내부 및 외부 가스 주입 구역에 대해 각각 독립적인 가스 흐름 채널을 포함할 때, 가스 인젝터와 각 가스 주입 구역의 가스 유량은 어떻게 제어되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation프로세스 가스 분배기가 독립적인 채널을 가질 때, 가스 인젝터와 각 가스 주입 구역의 유량이 어떻게 제어되는지 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 7에서 가스 분배기가 내부 및 외부 가스 주입 구역에 대해 각각 독립적인 가스 흐름 채널을 포함함을 확인한다.
- 상기 프로세스 가스 분배기는 내부 및 외부 가스 주입 구역들 및 상기 내부 및 외부 가스 주입 구역들에 대해 각각 독립적인가스 흐름채널들포함
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3근거 선택
evidence_selection유량 제어 방식에 대한 직접적인 근거인 청구항 8의 내용을 선택한다.
- 상기 프로세스 링의 상기 가스인젝터, (b) 상기 가스 분배기의 상기 내부 가스 주입 구역 및 (c) 상기 가스 분배기의 상기 외부 가스 주입 구역에 대한 가스 유량들은 독립적으로제어가능한
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4논리 통합
logical_integration가스 분배기가 독립적인 채널을 가짐으로써, 가스 인젝터, 내부 가스 주입 구역, 외부 가스 주입 구역의 유량을 각각 별개로 제어할 수 있는 구조임을 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation가스 인젝터와 내부 및 외부 가스 주입 구역의 가스 유량은 모두 독립적으로 제어 가능하다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 독립적 제어가 가능하다는 점을 명시하여 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
가스 인젝터, 가스 분배기의 내부 가스 주입 구역, 그리고 가스 분배기의 외부 가스 주입 구역에 대한 가스 유량들은 각각 독립적으로 제어 가능하다.
핵심 해석 (core_interpretation)
프로세스 가스 분배기가 내부 및 외부 구역에 대해 독립적인 채널을 제공함으로써, 가스 인젝터와 각 주입 구역의 유량을 개별적으로 정밀하게 제어할 수 있는 구조를 제공한다.