문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 린스액공급이동기구는 기판의 중심부로부터 소정거리 떨어진 위치에 린스액이 공급되는 상태에서 상기 린스액공급부의 이동을 일시적정지시키는기판처리장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 건조처리유닛은 상기 린스액공급부에 의해 기판의 중심으로부터 떨어진 위치에 린스액이 공급되는 상태에서, 기판의 중심부에 가스를 불어내는 가스공급부더 포함하는기판처리장치.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 건조처리유닛은 기판 위에서의 가스의 공급 위치가 상기 린스액공급부에 의한 린스액의 공급 위치보다 기판의 중심부에 가까운 위치에서, 기판의 중심부로부터 기판의 주연부로 이동하도록 상기 가스공급부를 이동시키는 가스공급이동기구더 포함하는기판처리장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 처리부는,노광처리 전의 기판에 감광성 재료로 이루어지는 감광성막을 형성하는 감광성막형성유닛과,노광처리 후의 기판에 현상처리를 행하는 현상처리유닛을 더 포함하고,상기 건조처리유닛은 상기 노광장치에 의한 노광처리 후로서 상기 현상처리유닛에 의한 현상처리 전에 기판의 건조처리행하는기판처리장치.
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기 린스액공급이동기구는 기판의 중심부로부터 소정거리 떨어진 위치에 린스액이 공급되는 상태에서 상기 린스액공급부의 이동을 일시적정지시키는기판처리장치.
[청구항 8]
제6항에 있어서,상기 건조처리유닛은 상기 린스액공급부에 의해 기판의 중심으로부터 떨어진 위치에 린스액이 공급되는 상태에서, 기판의 중심부에 가스를 불어내는 가스공급부더 포함하는기판처리장치.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 건조처리유닛은 기판 위에서의 가스의 공급 위치가 상기 린스액공급부에 의한 린스액의 공급 위치보다도 기판의 중심부에 가까운 위치에서, 기판의 중심부로부터 기판의 주연부로 이동하도록 상기 가스공급부를 이동시키는 가스공급이동기구더 포함하는기판처리장치.
[청구항 10]
제6항에 있어서,상기 처리부는,노광처리 전의 기판에 감광성 재료로 이루어지는 감광성막을 형성하는 감광성막형성유닛과,노광처리 후의 기판에 현상처리를 행하는 현상처리유닛을 더 포함하고,상기 건조처리유닛은 상기 노광장치에 의한 노광처리 후로서 상기 현상처리유닛에 의한 현상처리 전에 기판의 건조처리행하는기판처리장치.
[청구항 12]
제11항에 있어서,상기 린스액공급이동기구는 기판의 중심부로부터 소정거리 떨어진 위치에 린스액이 공급되는 상태에서 상기 린스액공급부의 이동을 일시적정지시키는기판처리장치.
[청구항 13]
제11항에 있어서,상기 건조처리유닛은 상기 린스액공급부에 의해 기판의 중심으로부터 떨어진 위치에 린스액이 공급되는 상태에서, 기판의 중심부에 가스를 불어내는 가스공급부더 포함하는기판처리장치.
[청구항 14]
제13항에 있어서,상기 건조처리유닛은 기판 위에서의 가스의 공급 위치가 상기 린스액공급부에 의한 린스액의 공급 위치보다도 기판의 중심부에 가까운 위치에서, 기판의 중심부로부터 기판의 주연부로 이동하도록 상기 가스공급부를 이동시키는 가스공급이동기구더 포함하는기판처리장치.
[청구항 15]
제11항에 있어서,상기 처리부는,노광처리 전의 기판에 감광성 재료로 이루어지는 감광성막을 형성하는 감광성막형성유닛과,노광처리 후의 기판에 현상처리를 행하는 현상처리유닛을 더 포함하고,상기 건조처리유닛은 상기 노광장치에 의한 노광처리 후로서 상기 현상처리유닛에 의한 현상처리 전에 기판의 건조처리행하는기판처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판처리장치의 건조처리유닛 내에서 가스공급부의 가스 공급 위치와 린스액공급부에 의한 린스액 공급 위치 사이의 상대적인 관계는 어떠하며, 가스공급이동기구는 어떤 경로로 이동하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation가스공급부와 린스액공급부의 상대적 위치 관계 및 가스공급이동기구의 이동 경로를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction가스 공급 위치는 린스액 공급 위치보다 기판 중심부에 가깝고, 가스공급부는 중심부에서 주연부로 이동한다는 정보를 추출한다.
- 가스의 공급 위치가 상기 린스액공급부에 의한 린스액의 공급 위치보다 기판의 중심부에 가까운 위치에서, 기판의 중심부로부터 기판의 주연부로 이동하도록 상기 가스공급부를 이동시키는 가스공급이동기구
- 가스의 공급 위치가 상기 린스액공급부에 의한 린스액의 공급 위치보다도 기판의 중심부에 가까운 위치에서, 기판의 중심부로부터 기판의 주연부로 이동하도록 상기 가스공급부를 이동시키는 가스공급이동기구
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3근거 선택
evidence_selection질문에 직접적으로 대응하는 청구항 4, 9, 14의 내용을 근거로 선택한다.
- 가스의 공급 위치가 상기 린스액공급부에 의한 린스액의 공급 위치보다도 기판의 중심부에 가까운 위치에서, 기판의 중심부로부터 기판의 주연부로 이동하도록 상기 가스공급부를 이동시키는 가스공급이동기구
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4논리 통합
logical_integration가스 공급 위치는 린스액 공급 위치보다 중심부에 더 가깝다는 관계를 도출하고, 이동 경로는 중심부에서 주연부 방향임을 결합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation가스 공급 위치는 린스액 공급 위치보다 기판 중심부에 더 가깝게 위치하며, 가스공급이동기구는 기판의 중심부로부터 기판의 주연부로 이동한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
가스공급부의 가스 공급 위치는 린스액공급부에 의한 린스액의 공급 위치보다 기판의 중심부에 더 가까운 위치에 있으며, 가스공급이동기구는 기판의 중심부로부터 기판의 주연부로 이동한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
건조처리 과정에서 가스 공급 위치를 린스액 공급 위치보다 중심부에 가깝게 설정하고, 중심부에서 주연부 방향으로 가스를 공급하며 이동함으로써 효율적인 건조를 수행하는 기술이다.