문맥 (context)
[청구항 2]
제 1항에 있어서,상기 기판 지지대는 상기 챔버의 하부측에 설치되고, 상기 전원인가용 전극은 상기 기판 지지대에 대향되는상기챔버의상부측설치되는것을특징으로 하는다결정 실리콘 박막 제조장치.
[청구항 3]
제 2항에 있어서,상기 기판 지지대에 연결되고, 상기 기판 지지대 상에 위치한 기판의 도전성 박막이 상기 전원인가용 전극에 접촉될 수 있도록 상기 기판 지지대를 상기 전원인가용 전극 측으로 상승시키는기판승강유닛더포함하는것을특징으로 하는다결정 실리콘 박막 제조장치.
[청구항 4]
제 1항에 있어서,상기 기판 지지대는 상호 일정간격 이격된 한 쌍으로 이루어지고, 그 상면에 상기 기판이 위치되도록상기챔버의하측부설치되는것을특징으로 하는다결정 실리콘 박막 제조장치.
[청구항 5]
제 4항에 있어서,쌍의 기판 지지대에는 각각 그 상면에 위치되는 기판을 흡착 고정하기 위하여 진공이 제공되는적어도하나의흡착홀형성되는것을특징으로 하는다결정 실리콘 박막 제조장치.
[청구항 6]
제 5항에 있어서,상기 흡착홀에 진공라인을 매개로 연결되며, 상기 흡착홀로 상기 기판을 흡착 고정하기 위한 진공을 제공하는진공유닛더포함하는것을특징으로 하는다결정 실리콘 박막 제조장치.
[청구항 7]
제 1항에 있어서,상기 기판 지지대의 측면들에 설치되어 상기 기판 지지대 상에 위치되는 기판을 얼라인하는얼라인유닛더포함하는것을특징으로 하는다결정 실리콘 박막 제조장치.
[청구항 8]
제 7항에 있어서,상기 얼라인 유닛은 상기 기판 지지대 상에 위치되는 기판이 얼라인되도록 상기 기판 지지대의 전ㆍ후 및 좌ㆍ우 방향에 위치한 측면들에 각각 설치되어 상기 기판의 전면과 후면 및 좌ㆍ우측면얼라인하는것을특징으로 하는다결정 실리콘 박막 제조장치.
[청구항 9]
제 1항에 있어서,상기 기판 로딩/언로딩 유닛은 상기 기판 로딩부와 상기 기판 언로딩부를 상호 일정간격 이격되게 연결하는 지지플레이트를 더 구비하고, 상기 기판 로딩/언로딩 유닛은 상기 지지플레이트를 이동시킴으로 상기 기판 로딩부와 상기 기판 언로딩부를동시이동시키는것을특징으로 하는다결정 실리콘 박막 제조장치.
[청구항 10]
제 9항에 있어서,상기 기판 로딩/언로딩 유닛은 리니어 모터 방식을 이용하여상기지지플레이트이동시키는것을특징으로 하는다결정 실리콘 박막 제조장치.
[청구항 11]
제 1항에 있어서,상기 챔버는 기판 로딩 영역과 전원 인가 영역 및 기판 언로딩 영역으로 순차적으로 구획되고, 상기 기판 로딩/언로딩 유닛은 상기 기판 로딩부와 상기 기판 언로딩부를 동시에 이동시키되, 상기 기판 로딩부는 상기 기판 로딩 영역과 상기 전원 인가 영역의 사이를 왕복 이동시키고, 상기 기판 언로딩부는 상기 기판 로딩부를 왕복 이동시킬 때 상기 전원 인가 영역과 상기 기판 언로딩 영역의사이를왕복이동시키는것을특징으로 하는다결정 실리콘 박막 제조장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
다결정 실리콘 박막 제조장치에서 기판의 도전성 박막이 전원인가용 전극에 접촉될 수 있도록 하는 기판승강유닛의 구성 및 동작 방식은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation기판의 도전성 박막이 전원인가용 전극에 접촉될 수 있도록 하는 기판승강유닛의 구성과 동작 방식을 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 기판승강유닛의 구성과 동작에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 기판 지지대에 연결되고, 상기 기판 지지대 상에 위치한 기판의 도전성 박막이 상기 전원인가용 전극에 접촉될 수 있도록 상기 기판 지지대를 상기 전원인가용 전극 측으로 상승시키는기판승강유닛
-
3근거 선택
evidence_selection기판승강유닛이 기판 지지대에 연결되어 있다는 구성과, 기판 지지대를 전원인가용 전극 측으로 상승시킨다는 동작 방식을 근거로 선택한다.
- 상기 기판 지지대에 연결되고, 상기 기판 지지대 상에 위치한 기판의 도전성 박막이 상기 전원인가용 전극에 접촉될 수 있도록 상기 기판 지지대를 상기 전원인가용 전극 측으로 상승시키는기판승강유닛
-
4논리 통합
logical_integration기판승강유닛은 기판 지지대에 연결된 구성이며, 기판 지지대를 전원인가용 전극 방향으로 상승시킴으로써 기판의 도전성 박막이 전극에 접촉되게 하는 동작을 수행함을 통합한다.
- 상기 기판 지지대에 연결되고, 상기 기판 지지대 상에 위치한 기판의 도전성 박막이 상기 전원인가용 전극에 접촉될 수 있도록 상기 기판 지지대를 상기 전원인가용 전극 측으로 상승시키는기판승강유닛
-
5결론 도출
conclusion_formulation기판승강유닛은 기판 지지대에 연결되어 있으며, 기판 지지대를 전원인가용 전극 측으로 상승시켜 기판의 도전성 박막이 전극에 접촉되도록 한다.
- 상기 기판 지지대에 연결되고, 상기 기판 지지대 상에 위치한 기판의 도전성 박막이 상기 전원인가용 전극에 접촉될 수 있도록 상기 기판 지지대를 상기 전원인가용 전극 측으로 상승시키는기판승강유닛
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
- 상기 기판 지지대에 연결되고, 상기 기판 지지대 상에 위치한 기판의 도전성 박막이 상기 전원인가용 전극에 접촉될 수 있도록 상기 기판 지지대를 상기 전원인가용 전극 측으로 상승시키는기판승강유닛
최종 답변 (final_answer)
기판승강유닛은 기판 지지대에 연결되어 구성되며, 기판 지지대 상에 위치한 기판의 도전성 박막이 전원인가용 전극에 접촉될 수 있도록 기판 지지대를 전원인가용 전극 측으로 상승시키는 방식으로 동작한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
기판승강유닛을 통해 기판 지지대를 전원인가용 전극 방향으로 이동시킴으로써 기판의 도전성 박막과 전극 간의 전기적 접촉을 구현하는 기술이다.