문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 진동 헤드는,초음파를 이용하여 진동을 발생시키며, 하면에 상기 홀더가 결합되는 초음파 진동부; 및상기 초음파 진동부가 내장되고, 하면에 개구부가 제공되며, 외측면에 상기 요철 패턴이 형성된커버포함하는것을특징으로 하는스크라이버.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 커버는,상판;상기 상판과 마주하고, 상기 개구부를 제공하는 하판;상기 하판 및 상기 상판과 연결되어 상기 초음파 진동부를 내장하기 위한 공간을 형성하는 내측판; 및상기 하판 및 상기 상판과 연결되고, 상기 내측판을 둘러싸며, 상기 내측판으로부터 이격되어 위치하고, 외면에 상기 요철 패턴이 형성된외측판구비하는것을특징으로 하는스크라이버.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 커버는 상기 내측판과 상기 외측판이 이격된 공간은 냉각 유체가충진된것을특징으로 하는스크라이버.
[청구항 5]
제2항에 있어서,상기 커버는,상판;상기 상판과 마주하고, 상기 개구부를 제공하는 하판; 및상기 하판 및 상기 상판과 연결되어 상기 초음파 진동부를 내장하기 위한 공간을 형성하고, 외면에 상기 요철 패턴이 형성된 측판을 포함하고,상기 진동 헤드는 상기 커버의 측판에 설치되고 냉각 유체가 충진되는냉각배관더포함하는것을특징으로 하는스크라이버.
[청구항 6]
제5항에 있어서,상기 냉각 배관nan은상기측판의내측설치되는것을특징으로 하는스크라이버.
[청구항 7]
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 진동 헤드에 설치되고, 상기 진동 헤드의 온도를 센싱하는센싱부더포함하는것을특징으로 하는스크라이버.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 진동 헤드는,초음파를 이용하여 진동을 발생시키며, 하면에 상기 홀더가 결합되는 초음파 진동부; 및상기 초음파 진동부가 내장되고, 하면에 개구부가 제공되며, 외측면에 상기 요철 패턴이 형성된커버포함하는것을특징으로 하는기판 절단 장치.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 커버는,상판;상기 상판과 마주하고, 상기 개구부를 제공하는 하판;상기 하판 및 상기 상판과 연결되어 상기 초음파 진동부를 내장하기 위한 공간을 형성하는 내측판; 및상기 하판 및 상기 상판과 연결되고, 상기 내측판을 둘러싸며, 상기 내측판으로부터 이격되어 위치하고, 외면에 상기 요철 패턴이 형성된 외측판을 구비하며,상기 내측판과 상기 외측판이 이격된 공간에 냉각 유체가충진된것을특징으로 하는기판 절단 장치.
[청구항 11]
제9항에 있어서,상기 커버는,상판;상기 상판과 마주하고, 상기 개구부를 제공하는 하판; 및상기 하판 및 상기 상판과 연결되어 상기 초음파 진동부를 내장하기 위한 공간을 형성하고, 외면에 상기 요철 패턴이 형성된 측판을 포함하고,상기 진동 헤드는 상기 커버의 측판에 설치되고, 냉각 유체가 충진되는냉각배관포함하는것을특징으로 하는기판 절단 장치.
[청구항 12]
제8항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,상기 스크라이버는,상기 진동 헤드에 설치되고, 상기 진동 헤드의 온도를 센싱하는센싱부더포함하는것을특징으로 하는기판 절단 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
스크라이버의 진동 헤드에 포함되는 커버의 구성 요소 중, 상판 및 하판과 연결되어 초음파 진동부를 내장하기 위한 공간을 형성하면서 외측판과 이격되어 위치하는 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation커버의 구성 요소 중 상판/하판과 연결되어 초음파 진동부 공간을 형성하고, 외측판과 이격되어 위치하는 구성 요소를 찾는 과업이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 커버의 구성 요소인 상판, 하판, 내측판, 외측판에 대한 정의를 추출한다.
- 상기 커버는,상판;상기 상판과 마주하고, 상기 개구부를 제공하는 하판
- 상기 하판 및 상기 상판과 연결되어 상기 초음파 진동부를 내장하기 위한 공간을 형성하는 내측판
- 상기 하판 및 상기 상판과 연결되고, 상기 내측판을 둘러싸며, 상기 내측판으로부터 이격되어 위치하고, 외면에 상기 요철 패턴이 형성된 외측판을 구비
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3근거 선택
evidence_selection질문의 조건(상판/하판 연결, 진동부 공간 형성, 외측판과 이격)을 모두 만족하는 '내측판' 관련 구절을 선택한다.
- 상기 커버는,상판;상기 상판과 마주하고, 상기 개구부를 제공하는 하판
- 상기 하판 및 상기 상판과 연결되어 상기 초음파 진동부를 내장하기 위한 공간을 형성하는 내측판
- 상기 하판 및 상기 상판과 연결되고, 상기 내측판을 둘러싸며, 상기 내측판으로부터 이격되어 위치하고, 외면에 상기 요철 패턴이 형성된 외측판을 구비
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4논리 통합
logical_integration내측판은 상판 및 하판과 연결되어 공간을 형성하며, 외측판이 내측판을 둘러싸며 이격되어 위치한다는 점을 통해 내측판이 정답임을 도출한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 모든 기술적 특징을 충족하는 구성 요소는 '내측판'이다.
- 상기 하판 및 상기 상판과 연결되어 상기 초음파 진동부를 내장하기 위한 공간을 형성하는 내측판
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6답변 생성
answer_generation추출된 정답인 '내측판'을 최종 답변으로 생성한다.
- 내측판
최종 답변 (final_answer)
내측판
핵심 해석 (core_interpretation)
스크라이버의 진동 헤드 커버는 상판, 하판, 내측판, 외측판으로 구성되며, 내측판은 초음파 진동부를 수용하는 공간을 형성하고 외측판과 이격되어 배치되는 구조를 가진다.