절단 장치 및 이를 이용한 기판 절단 방법 document_id 1020080105433

[청구항 1] 컷팅 대상물을 소정 깊이로 식각하여 상기 대상물에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이빙부 상기 스크라이빙부를 상기 대상물측으로 가압하는 가압부 상기 가압부와 상기 스크라이빙부 사이에 설치되고, 상기 스크라이빙부가 상기 대상물과 접점시 상기 스크라이빙부로부터 상기 대상물에 가해지는 압력을 측정하여 상기 스크라이빙부의 출력 압력값을 출력하며, 상기 스크라이빙부가 상기 대상물에 접점된 위치를 측정하는 압력 측정부; 및 상기 압력 측정부로부터 상기 출력 압력값을 수신하고, 수신된 출력 압력값에 근거하여 상기 가압부에 입력되는 입력 압력값을 조절하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 절단 장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 제어부는 상기 압력 측정부로부터 수신된 출력 압력값을 상기 가압부의 입력 압력값에 대한 적정 출력 압력 범위과 비교하여상기가압부의입력압력값조절하는것을특징으로 하는절단 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 압력 측정부는 상기 대상물의 표면에 수직하는 제1 축에 대한상기스크라이빙부의위치측정하는것을특징으로 하는절단 장치. [청구항 4] 제2항에 있어서,상기 스크라이빙부는,회전 가능하고, 상기 대상물에 접촉된 상태로 회전하여 상기 대상물의 표면에 상기 스크라이브 라인을 형성하는 컷팅 휠;상기 컷팅 휠의 상부에 설치되고, 상기 가압부에 의해 상기 컷팅 휠을 상기 대상물측으로 가압하며, 진동을 발생하여 상기 컷팅 휠을 진동시키는 진동 헤드; 및상기 컷팅 휠 및 상기 진동 헤드와 결합하고, 상기 컷팅 휠을 상기 진동 헤드의 고정시키는홀더포함하는것을특징으로 하는절단 장치. [청구항 5] 제2항에 있어서,상기 스크라이빙부 및 상기 가압부의 일측에 위치하고, 상기 스크라이빙부 및 상기 가압부와 결합하며, 상기 대상물의 표면에 대해 수평 이동이 가능한수평이동부더포함하는것을특징으로 하는절단 장치. [청구항 6] 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 압력 측정부는로드셀인것을특징으로 하는절단 장치. [청구항 7] 평판표시패널 형성용 모기판이 안착되는 지지유닛; 및 상기 지지유닛에 안착된 모기판을 상기 평판표시패널을 형성하는 각 단위셀별로 컷팅하는 컷팅유닛을 포함하고, 상기 컷팅유닛은, 상기 지지유닛의 상부에 설치되고, 상기 모기판을 소정 깊이로 식각하여 상기 모기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이빙부 상기 스크라이빙부의 상부에 설치되고, 상기 스크라이빙부를 상기 모기판측으로 가압하는 가압부 상기 가압부와 상기 스크라이빙부 사이에 설치되고, 상기 스크라이빙부가 상기 모기판과 접점시 상기 스크라이빙부로부터 상기 모기판에 가해지는 압력을 측정하여 상기 스크라이빙부의 출력 압력값을 출력하며, 상기 스크라이빙부가 상기 모기판에 접점된 위치를 측정하는 압력 측정부; 및 상기 압력 측정부로부터 상기 출력 압력값을 수신하고, 수신된 출력 압력값에 근거하여 상기 가압부에 입력되는 입력 압력값을 조절하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 절단 장치 [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 제어부는 상기 압력 측정부로부터 출력된 출력 압력값을 상기 가압부의 입력 압력값에 대한 적정 출력 압력값과 비교하여상기가압부의입력압력값조절하는것을특징으로 하는절단 장치.