문맥 (context)
[청구항 1]
반도체 기판 상에 형성된 다수의 게이트
상기 게이트들 사이의 반도체 기판 상에 형성되며, 상단부가 상기 게이트보다 돌출된 랜딩 플러그; 및
상기 랜딩 플러그의 돌출된 상단부를 감싸도록 형성된 콘택 플러그
를 포함하는 반도체 소자
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 게이트는 산화막 및 질화막의 적층 구조를 갖는하드마스크구비한것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 게이트의 양측면에 형성된스페이서더포함하는것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,상기 스페이서는질화막형성된것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 랜딩 플러그는폴리실리콘막형성된것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 콘택 플러그는비트라인콘택플러그또는스토리지노드 콘택 플러그인것을특징으로 하는반도체 소자.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 1의 반도체 소자에서 랜딩 플러그의 상단부와 콘택 플러그는 서로 어떠한 구조적 관계를 갖는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 1을 바탕으로 랜딩 플러그의 상단부와 콘택 플러그 사이의 구조적 관계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 랜딩 플러그의 상단부는 게이트보다 돌출되어 있으며, 콘택 플러그는 이 상단부를 감싸도록 형성되어 있다.
- 상단부가 상기 게이트보다 돌출된 랜딩 플러그; 및 상기 랜딩 플러그의 돌출된 상단부를 감싸도록 형성된 콘택 플러그
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3근거 선택
evidence_selection두 구성 요소의 관계를 직접적으로 설명하는 '상기 랜딩 플러그의 돌출된 상단부를 감싸도록 형성된 콘택 플러그' 구절을 선택한다.
- 상기 랜딩 플러그의 돌출된 상단부를 감싸도록 형성된 콘택 플러그
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4논리 통합
logical_integration랜딩 플러그의 돌출된 상단부가 콘택 플러그에 의해 감싸지는 형태임을 논리적으로 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation콘택 플러그가 랜딩 플러그의 돌출된 상단부를 감싸는 구조적 관계를 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
콘택 플러그는 랜딩 플러그의 돌출된 상단부를 감싸도록 형성되어 있다.
핵심 해석 (core_interpretation)
랜딩 플러그의 돌출된 상단부를 콘택 플러그가 감싸는 구조를 통해 반도체 소자의 연결 구조를 정의하고 있다.