문맥 (context)
[청구항 1]
진공 챔버;
상기 진공 챔버에 처리가스를 주입하는 가스 주입부
상기 가스 주입부에 구비되어 성막공정 또는 에칭공정에 따라 상기 처리가스의 종류를 선택적으로 상기 진공챔버내부로 투입하는 밸브
상기 진공 챔버 내부에 배치되며, 기판이 안착되는 서셉터
상기 서셉터 와 마주하는 스퍼터링 타겟부
상기 스퍼터링 타겟부가 안착되며 상기 스퍼터링 타겟부에 전압을 인가하는 전압 소스부; 및
상기 스퍼터링 타겟부와 상기 서셉터 사이에 배치되며, 상기 성막공정 또는 에칭공정에 따라 선택적으로 개폐되는 셔터부
를 포함하는 인쇄회로기판 제조장치
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 인쇄회로기판 제조장치는 상기 셔터부를 구동시켜 개폐하는 셔터 구동부더 포함하는인쇄회로기판 제조장치.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,셉터는접지되어 있는인쇄회로기판 제조장치.
[청구항 13]
제 1 항에 있어서,상기 처리가스는 상기 에칭공정을 위한 에칭가스 또는 상기 성막공정을 위한 비활성 가스 및 반응가스 중하나인인쇄회로기판 제조장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
인쇄회로기판 제조장치에서 성막공정 또는 에칭공정의 진행 여부에 따라 선택적으로 동작하며, 스퍼터링 타겟부와 서셉터 사이에 위치하는 구성요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation인쇄회로기판 제조장치에서 성막 또는 에칭 공정에 따라 선택적으로 동작하며, 스퍼터링 타겟부와 서셉터 사이에 위치하는 구성요소를 찾는 작업이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 스퍼터링 타겟부, 서셉터, 그리고 그 사이에 위치한 구성요소에 대한 설명을 추출한다.
- 상기 스퍼터링 타겟부와 상기 서셉터 사이에 배치되며, 상기 성막공정 또는 에칭공정에 따라 선택적으로 개폐되는 셔터부
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 위치 조건(타겟부와 서셉터 사이)과 기능 조건(공정에 따라 선택적 동작)을 모두 만족하는 구절을 선택한다.
- 상기 스퍼터링 타겟부와 상기 서셉터 사이에 배치되며, 상기 성막공정 또는 에칭공정에 따라 선택적으로 개폐되는 셔터부
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4논리 통합
logical_integration선택된 구절을 통해 해당 구성요소의 명칭이 '셔터부'임을 확인한다.
- 상기 스퍼터링 타겟부와 상기 서셉터 사이에 배치되며, 상기 성막공정 또는 에칭공정에 따라 선택적으로 개폐되는 셔터부
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 직접적인 답변으로 '셔터부'를 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정답인 '셔터부'를 최종 답변으로 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
셔터부
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 성막공정과 에칭공정 사이에서 스퍼터링 타겟부와 서셉터 사이를 선택적으로 차단하거나 개방함으로써 공정의 효율성을 높이는 셔터부를 포함하는 제조장치에 관한 것이다.