기판 검사 장치 및 이를 갖는 공정 설비 document_id 1020080116286

[청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 검사부는 제 1검사부와, 제 2검사부를 구비하되,상기 제 1검사부는 상기 기판의 에지 일측에 배치되어 레이저를 조사하는 제 1레이저 발생기와, 상기 기판의 에지 타측에 배치되어 상기 기판의 에지를 통과한 레이저를 입사시키어 대응되는 측으로 출사되는 레이저의 광량값을 검출하여 상기 기판의 에지에서의 크랙과 파티클의 유무 판단 및 구별하는 제 1검사 모듈과, 상기 기판의 외면을 촬상하는 촬상 모듈을 구비하고,상기 제 2검사부는 상기 이송되는 기판의 측부에 배치되어 상기 기판의 길이 방향을 따라 레이저를 조사하는 제 2레이저 발생기와, 상기 제 2레이저 발생기와 연결되어 레이저의 조사 위치를 일정 위치로 승강시키는 승강 실린더와, 상기 기판의 상부에 배치되며 상기 기판에서 산란되는 레이저를 검출하는제2검사모듈구비하는것을특징으로 하는기판 검사 장치. [청구항 3] 제 2항에 있어서,상기 제 1레이저 발생기는 상기 기판의 에지 저부에 배치되고,상기 제 1검사 모듈은 상기 제 1레이저 발생기의 맞은 쪽에 위치되도록상기기판의에지상부배치되는것을특징으로 하는기판 검사 장치. [청구항 4] 제 2항에 있어서,상기 제 1레이저 발생기는 상기 기판의 에지 상부에 배치되고,상기 제 1검사 모듈은 상기 제 1레이저 발생기의 맞은 쪽에 위치되도록상기기판의에지저부배치되는것을특징으로 하는기판 검사 장치. [청구항 5] 제 2항에 있어서,상기 기판의 에지 측부면에는 볼록한 형상의 구면부가 형성되고,상기 구면부로 레이저를 조사하는 상기 제 1레이저 발생기와, 상기 기판의 구면부를 통과한 레이저를 입사시키어 대응되는 측으로 출사되는 레이저의 광량값을 검출하여 상기 기판의 구면부에서의 크랙과 파티클의 유무 판단 및 구별하는 상기 제 1검사 모듈은 한 쌍으로 구성되고,상기 한 쌍의 제 1레이저 발생기는 서로 일정 거리 이격되고 상기 기판의 에지를 경계로 교차되도록 배치되고,상기 한 쌍의 제 1검사 모듈은 상기 한 쌍의 제 1레이저 발생기에 대응되는 위치에 배치되도록 서로 일정 거리 이격되고 상기 기판의 에지를 경계로 교차되도록배치되는것을특징으로 하는기판 검사 장치. [청구항 6] 제 2항에 있어서,상기 검사부는 이송 장치를 구비하되,상기 이송 장치는 상기 제 1검사 모듈 및 상기 제 2검사 모듈과 전기적으로 연결되어 상기 기판의 에지에서 크랙이 있거나 상기 제 2검사 모듈에 레이저가 검출되는 경우에 상기 기판을 다른이송경로반출시키는것을특징으로 하는기판 검사 장치. [청구항 7] 제 2항에 있어서,상기 제 1검사 모듈은 광 입사부와 상기 광 입사부와 대응되는 측에 마련되는 광 출사부를 갖고, 상기 광 입사부와 상기 광 출사부의 사이에 위치되고 상기 광 입사부로부터 입사되어 산란된 광이 확산 출사되는 확산광 출사부를 갖고, 내부공간을 형성하는 몸체와, 상기 확산광 출사부에 마련되며 상기 확산 출사되는 산란되는 광의 광량값을 검출하는 제 1광 검출부와, 상기 광 출사부에 마련되며, 상기 광 입사부로부터 입사되어 상기 광 출사부로 출사되는 광의 광량값을 검출하는 제 2광 검출부와, 상기 제 1광 검출부 및 상기 제 2광 검출부와 전기적으로 연결되어 상기 검출되는 광량값으로 상기 크랙 및 파티클의 유무 판단 및 구별하는 모니터링 모듈을 구비하는 적분체이고,상기 촬상 모듈은 상기 기판을 기준으로 일측에 배치되어 상기 기판으로 조명을 제공하는 광원과, 상기 기판을 기준으로 타측에 배치되어 상기 기판의 외면을 촬상하는카메라구비하는것을특징으로 하는기판 검사 장치. [청구항 8] 제 2항에 있어서,상기 제 1검사 모듈은 상기 기판의 근방에 배치되어 상기 레이저를 집광하는 렌즈와, 상기 렌즈의 근방에 배치되어 상기 레이저의 광량값을 검출하는 포토 다이오드를 구비하는광학계인것을특징으로 하는기판 검사 장치. [청구항 9] 제 7항에 있어서,상기 몸체는원통형상이루는것을특징으로 하는기판 검사 장치. [청구항 10] 제 2항에 있어서,상기 제 2검사 모듈은 상기 기판의 상부에 배치되며,다수개의포토다이오드들구성되는것을특징으로 하는기판 검사 장치. [청구항 11] 제 2항에 있어서,상기 제 2검사 모듈은 광 입사부와 상기 광 입사부와 대응되는 측에 마련되는 광 출사부를 갖고, 상기 광 입사부와 상기 광 출사부의 사이에 위치되고 상기 광 입사부로부터 입사되어 산란된 광이 확산 출사되는 확산광 출사부를 갖고, 내부공간을 형성하는 몸체와, 상기 확산광 출사부에 마련되며 상기 확산 출사되는 산란되는 광의 광량값을 검출하는 제 1광 검출부와, 상기 광 출사부에 마련되며, 상기 광 입사부로부터 입사되어 상기 광 출사부로 출사되는 광의 광량값을 검출하는 제 2광 검출부와, 상기 제 1광 검출부 및 상기 제 2광 검출부와 전기적으로 연결되어 상기 검출되는 광량값으로 상기 크랙 및 파티클의 유무 판단 및 구별하는 모니터링 모듈을 구비하는 적분체인것을특징으로 하는기판 검사 장치. [청구항 12] 제 7항에 있어서,상기 내부 공간은 일정 길이를 갖고 서로 평행하게 이루어지는 제 1공간과, 상기 제 1공간의 양측에 마련되어 반구 형상을 이루고 상기 제 1공간과 연통되는 제 2공간으로 이루어지고,상기 제 1공간과 상기 제 2공간은상기광 입사부및상기광출사부연통되는것을특징으로 하는기판 검사 장치. [청구항 13] 제 7항에 있어서,상기 광 입사부와 상기 광 출사부는 일정 길이를 갖는 홀로 이루어지고, 서로 동일 길이로 형성되고, 상기 몸체의 길이 방향을 따라 선형을 이루고,상기 확산광 출사부는 다수개의 관통홀로 이루어지고 상기 몸체의 길이 방향을 따라비선형형성되는것을특징으로 하는기판 검사 장치. [청구항 14] 제 7항에 있어서,상기 몸체는 상기 내부 공간에 끼워지는 탈착 몸체를 구비하되,상기 탈착 몸체는 일정 길이를 갖고 서로 평행하게 이루어지는 제 3공간과, 상기 제 3공간의 양측에 마련되어 반구 형상을 이루고 상기 제 3공간과 연통되는 제 4공간으로 이루어지고, 상기 제 3공간과 상기 제 4공간이 상기 광 입사부 및 상기 광 출사부와 연통되도록 보조 광 입사부와 보조 광 출사부를구비하는것을특징으로 하는기판 검사 장치. [청구항 15] 제 7항에 있어서,상기 제 1광 검출부와 상기 제 2광 검출부는포토다이오드들구성되는것을특징으로 하는기판 검사 장치. [청구항 16] 제 7항 또는 제 11항에 있어서,상기 모니터링 모듈은,상기 몸체에 설치되면서 상기 제 1광 검출부 및 상기 제 2광 검출부와 전기적으로 연결되며, 상기 검출되는 광의 광량값이 기설정되는 기준 광량값의 범위에 포함되는지의 여부와, 상기 산란되는 광의 광량값이 기설정되는 기준 산란 광량값의 범위에 포함되는지의 여부를 판단하여 크랙 및 파티클의 유무 판단 및 구별하는 제어기와,상기 몸체에 설치되면서 상기 제어기와 전기적으로 연결되며, 상기 검출되는 광의 광량값과 산란되는 광의 광량값, 그리고 기설정되는 기준 광량값 범위와 기준 산란 광량값 범위를 표시함은 물론, 상기 검출되는 광의 광량값이 기설정되는 기준 광량값의 범위에 포함되는지의 여부와, 상기 산란되는 광의 광량값이 기설정되는 기준 산란 광량값의 범위에 포함되는지의 여부를 가시적으로 표시하는 표시부를 구비하되,상기 기준 광량값 범위에는 상기 크랙을 구별하는 제 1기준 광량값 범위와 상기 파티클을 구별하는 제 2기준 광량값 범위를 포함하고,상기 기준 산란 광량값 범위에는 상기 크랙을 구별하는 제 1기준 산란 광량값 범위와 상기 파티클을 구별하는제2기준산란광량값범위포함하는것을특징으로 하는기판 검사 장치. [청구항 18] 제 17항에 있어서,상기 검사부는 제 1검사부와, 제 2검사부를 구비하되,상기 제 1검사부는 상기 기판의 에지 일측에 배치되어 레이저를 조사하는 제 1레이저 발생기와, 상기 기판의 에지 타측에 배치되어 상기 기판의 에지를 통과한 레이저를 입사시키어 대응되는 측으로 출사되는 레이저의 광량값을 검출하여 상기 기판의 에지에서의 크랙과 파티클의 유무 판단 및 구별하는 제 1검사 모듈과, 상기 기판의 외면을 촬상하는 촬상 모듈을 구비하고,상기 제 2검사부는 상기 이송되는 기판의 측부에 배치되어 상기 기판의 길이 방향을 따라 레이저를 조사하는 제 2레이저 발생기와, 상기 제 2레이저 발생기와 연결되어 레이저의 조사 위치를 일정 위치로 승강시키는 승강 실린더와, 상기 기판의 상부에 배치되며 상기 기판에서 산란되는 레이저를 검출하는 제 2검사 모듈을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치갖는공정 설비. [청구항 19] 제 18항에 있어서,상기 제 1레이저 발생기는 상기 기판의 에지 저부에 배치되고,상기 제 1검사 모듈은 상기 제 1레이저 발생기의 맞은 쪽에 위치되도록상기기판의에지상부배치되는것을특징으로 하는기판 검사 장치. [청구항 20] 제 18항에 있어서,상기 제 1레이저 발생기는 상기 기판의 에지 상부에 배치되고,상기 제 1검사 모듈은 상기 제 1레이저 발생기의 맞은 쪽에 위치되도록상기기판의에지저부배치되는것을특징으로 하는기판 검사 장치. [청구항 21] 제 18항에 있어서,상기 기판의 에지 측부면에는 볼록한 형상의 구면부가 형성되고,상기 구면부로 레이저를 조사하는 상기 제 1레이저 발생기와, 상기 기판의 구면부를 통과한 레이저를 입사시키어 대응되는 측으로 출사되는 레이저의 광량값을 검출하여 상기 기판의 구면부에서의 크랙과 파티클의 유무 판단 및 구별하는 상기 제 1검사 모듈은 한 쌍으로 구성되고,상기 한 쌍의 제 1레이저 발생기는 서로 일정 거리 이격되고 상기 기판의 에지를 경계로 교차되도록 배치되고,상기 한 쌍의 제 1검사 모듈은 상기 한 쌍의 제 1레이저 발생기에 대응되는 위치에 배치되도록 서로 일정 거리 이격되고 상기 기판의 에지를 경계로 교차되도록배치되는것을특징으로 하는기판 검사 장치. [청구항 22] 제 18항에 있어서,상기 검사부는 이송 장치를 구비하되,상기 이송 장치는 상기 제 1검사 모듈 및 상기 제 2검사 모듈과 전기적으로 연결되어 상기 기판의 에지에서 크랙이 있거나 상기 제 2검사 모듈에 레이저가 검출되는 경우에 상기 기판을 다른 이송 경로로 반출시키는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치갖는공정 설비. [청구항 23] 제 18항에 있어서,상기 제 1검사 모듈은 광 입사부와 상기 광 입사부와 대응되는 측에 마련되는 광 출사부를 갖고, 상기 광 입사부와 상기 광 출사부의 사이에 위치되고 상기 광 입사부로부터 입사되어 산란된 광이 확산 출사되는 확산광 출사부를 갖고, 내부공간을 형성하는 몸체와, 상기 확산광 출사부에 마련되며 상기 확산 출사되는 산란되는 광의 광량값을 검출하는 제 1광 검출부와, 상기 광 출사부에 마련되며, 상기 광 입사부로부터 입사되어 상기 광 출사부로 출사되는 광의 광량값을 검출하는 제 2광 검출부와, 상기 제 1광 검출부 및 상기 제 2광 검출부와 전기적으로 연결되어 상기 검출되는 광량값으로 상기 크랙 및 파티클의 유무 판단 및 구별하는 모니터링 모듈을 구비하는 적분체이고,상기 촬상 모듈은 상기 기판을 기준으로 일측에 배치되어 상기 기판으로 조명을 제공하는 광원과, 상기 기판을 기준으로 타측에 배치되어 상기 기판의 외면을 촬상하는 카메라를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치갖는공정 설비. [청구항 24] 제 18항에 있어서,상기 제 1검사 모듈은 상기 기판의 근방에 배치되어 상기 레이저를 집광하는 렌즈와, 상기 렌즈의 근방에 배치되어 상기 레이저의 광량값을 검출하는 포토 다이오드를 구비하는 광학계인 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치갖는공정 설비. [청구항 25] 제 23항에 있어서,상기 몸체는 원통 형상을 이루는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치갖는공정 설비. [청구항 26] 제 18항에 있어서,상기 제 2검사 모듈은 상기 기판의 이동 방향을 가로 지르도록 상기 기판의 상부에 배치되는 일정 길이의 지지 로드와, 상기 기판의 상면을 향하여 상기 지지 로드의 저면에 배치되는 다수개의 포토 다이오드들을 갖는 포토 다이오드 구조체이고,상기 포토 다이오드들은 원형으로 이루어지고 서로 지그 재그 형상으로 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치갖는공정 설비. [청구항 27] 제 18항에 있어서,상기 제 2검사 모듈은 광 입사부와 상기 광 입사부와 대응되는 측에 마련되는 광 출사부를 갖고, 상기 광 입사부와 상기 광 출사부의 사이에 위치되고 상기 광 입사부로부터 입사되어 산란된 광이 확산 출사되는 확산광 출사부를 갖고, 내부공간을 형성하는 몸체와, 상기 확산광 출사부에 마련되며 상기 확산 출사되는 산란되는 광의 광량값을 검출하는 제 1광 검출부와, 상기 광 출사부에 마련되며, 상기 광 입사부로부터 입사되어 상기 광 출사부로 출사되는 광의 광량값을 검출하는 제 2광 검출부와, 상기 제 1광 검출부 및 상기 제 2광 검출부와 전기적으로 연결되어 상기 검출되는 광량값으로 상기 크랙 및 파티클의 유무 판단 및 구별하는 모니터링 모듈을 구비하는 적분체인 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치갖는공정 설비. [청구항 28] 제 23항에 있어서,상기 내부 공간은 일정 길이를 갖고 서로 평행하게 이루어지는 제 1공간과, 상기 제 1공간의 양측에 마련되어 반구 형상을 이루고 상기 제 1공간과 연통되는 제 2공간으로 이루어지고,상기 제 1공간과 상기 제 2공간은 상기 광 입사부 및 상기 광 출사부와 연통되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치갖는공정 설비. [청구항 29] 제 23항에 있어서,상기 광 입사부와 상기 광 출사부는 일정 길이를 갖는 홀로 이루어지고, 서로 동일 길이로 형성되고, 상기 몸체의 길이 방향을 따라 선형을 이루고,상기 확산광 출사부는 다수개의 관통홀로 이루어지고 상기 몸체의 길이 방향을 따라 비선형을 이루어 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치갖는공정 설비. [청구항 30] 제 23항에 있어서,상기 몸체는 상기 내부 공간에 끼워지는 탈착 몸체를 구비하되,상기 탈착 몸체는 일정 길이를 갖고 서로 평행하게 이루어지는 제 3공간과, 상기 제 3공간의 양측에 마련되어 반구 형상을 이루고 상기 제 3공간과 연통되는 제 4공간으로 이루어지고, 상기 제 3공간과 상기 제 4공간이 상기 광 입사부 및 상기 광 출사부와 연통되도록 보조 광 입사부와 보조 광 출사부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치갖는공정 설비. [청구항 31] 제 23항에 있어서,상기 제 1광 검출부와 상기 제 2광 검출부는 포토 다이오드들로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치갖는공정 설비. [청구항 32] 제 23항 또는 제 27항에 있어서,상기 모니터링 모듈은,상기 몸체에 설치되면서 상기 제 1광 검출부 및 상기 제 2광 검출부와 전기적으로 연결되며, 상기 검출되는 광의 광량값이 기설정되는 기준 광량값의 범위에 포함되는지의 여부와, 상기 산란되는 광의 광량값이 기설정되는 기준 산란 광량값의 범위에 포함되는지의 여부를 판단하여 크랙 및 파티클의 유무 판단 및 구별하는 제어기와,상기 몸체에 설치되면서 상기 제어기와 전기적으로 연결되며, 상기 검출되는 광의 광량값과 산란되는 광의 광량값, 그리고 기설정되는 기준 광량값 범위와 기준 산란 광량값 범위를 표시함은 물론, 상기 검출되는 광의 광량값이 기설정되는 기준 광량값의 범위에 포함되는지의 여부와, 상기 산란되는 광의 광량값이 기설정되는 기준 산란 광량값의 범위에 포함되는지의 여부를 가시적으로 표시하는 표시부를 구비하되,상기 기준 광량값 범위에는 상기 크랙을 구별하는 제 1기준 광량값 범위와 상기 파티클을 구별하는 제 2기준 광량값 범위를 포함하고,상기 기준 산란 광량값 범위에는 상기 크랙을 구별하는 제 1기준 산란 광량값 범위와 상기 파티클을 구별하는 제 2기준 산란 광량값 범위를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치갖는공정 설비. [청구항 33] 제 2항에 있어서,상기 기판의 에지 측부면에는 볼록한 형상의 구면부가 형성되고,상기 제 1레이저 발생기는 상기 기판과 평행하도록 배치되어 상기 구면부로 레이저를 조사하고,상기 제 1검사 모듈은 한 쌍으로 이루어지며, 상기 구면부로 조사되는 레이저의 조사 경로와 일정 각도 경사지도록상기기판의상부및하부각각배치되는것을특징으로 하는기판 검사 장치. [청구항 34] 제 33항에 있어서,상기 기판의 에지와 상기 제 1레이저 발생기와의 사이에 형성되는 상기 레이저의 조사 경로 상에는 상기 레이저의 조사 영역을 조절하는 개구가 형성되는슬릿더배치되는것을특징으로 하는기판 검사 장치.